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3. 发明专利

KR20210027694A KR20210027694A - A method of manufacturing gravure roll and a gravure roll manufactured by the same 审中-公开
公开(公告)号：KR20210027694A
公开(公告)日：2021-03-11
申请号：KR1020190108122A
申请日：2019-09-02
申请人： (주)한두패키지 , (주)한두첨단소재
发明人： 김성원 , 김병호 , 이상진 , 김진호
IPC分类号： C23C14/16 , B41C1/02 , B41N1/06 , B41N1/20 , C23C14/00 , C23C14/02 , C23C14/04 , C23C14/06 , C23C14/34 , C23C28/00 , C23F4/00
CPC分类号： C23C14/165 , C23C14/0036 , C23C14/022 , C23C14/042 , C23C14/0605 , C23C14/0635 , C23C14/0641 , C23C14/345 , C23C28/322 , C23C28/34 , C23C28/341
摘要： 본 발명은 그라비어(gravure) 인쇄에 사용되는 그라비어 롤의 제조 방법 및 그에 의해 제조된 그라비어 롤에 관한 것으로, 본 발명에 따른 그라비어 롤의 제조 방법은 구리도금층 표면에 스퍼터링 방법에 의해 형성되는 금속증착층을 형성하는 금속증착층 형성 단계를 포함한다.

5. 发明专利

JP2021005579A ドライエッチング方法及びデバイスの製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2021005579A
公开(公告)日：2021-01-14
申请号：JP2019116915
申请日：2019-06-25
申请人：株式会社アルバック
发明人：山本直志 , 森口尚樹
IPC分类号： C23F4/00 , H01L21/3065
摘要：【課題】反応生成物として生成され、真空チャンバ内に存する部品に付着したRuO 2 を効率よく除去して、常時、同等の雰囲気でRu膜をドライエッチングできるドライエッチング方法を提供する。【解決手段】本発明のドライエッチング方法は、真空チャンバ1内にRu膜を備える基板Swを設置し、真空雰囲気の真空チャンバ内に酸素ガスとハロゲン含有ガスとを含むエッチングガスを導入し、プラズマ雰囲気中にてRu膜をドライエッチングするエッチング工程と、真空チャンバ内にクリーニングガスを導入し、プラズマ雰囲気中にて真空チャンバ内に存する部品11をクリーニングするクリーニング工程とを含み、クリーニングガスが、エッチングガスに含まれるハロゲン含有ガスと希ガスとを含み、プラズマ雰囲気中で電離した少なくとも希ガスのイオンが真空チャンバ内に存する部品に引き込まれるようにした。【選択図】図1

7. 发明专利

JP6725176B2 プラズマエッチング方法有权
公开(公告)号：JP6725176B2
公开(公告)日：2020-07-15
申请号：JP2016212459
申请日：2016-10-31
申请人：株式会社日立ハイテク
发明人：石丸亮 , 宇根聡 , 森政士
IPC分类号： H01L21/3213 , H01L21/768 , H01L21/28 , H01L21/3205 , H01L23/532 , H05H1/46 , C23F4/00 , H01L21/3065

9. 发明专利

JP2020501148A 非導電素材からなる外部要素または計時器文字盤审中-公开
公开(公告)号：JP2020501148A
公开(公告)日：2020-01-16
申请号：JP2019530012
申请日：2017-12-14
IPC分类号： G04B19/06 , B23K26/36 , C23C14/04 , C23F4/00
摘要：非導電素材からなる外部要素または計時器文字盤非導電素材からなる外部要素または計時器文字盤を、基本サイクルを実施することまたは繰り返すことによって製造する方法であって、本方法は以下を含む。−(10)非導電素材、またはセラミックまたはガラスまたはサファイヤ基板から、ベース(1)を製造することと、−(20)ベースを少なくとも第1の犠牲防食金属層(2)でドライコーティングすることと、−(30)第1の層(2)の局所的な厚さと等しい深さまで、超短パルスレーザを用いて装飾(3)をエッチングすることと、−(40)装飾(3)および第1の層(2)の残りの部分を、少なくとも第2の金属および/または有色装飾処理層(4)でドライコーティングすることと、−(50)各第1の層(2)を化学的に除去することと、各第1の層(2)の化学的除去(50)の前または後に、このように形成された複合物は、ベース(1)の上部レベル上で機械的に水平にされる(55)こと。【選択図】図1

10. 发明专利

JP2019116653A 金属部材、金属部材の製造方法、ヘッド構成部材、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置审中-公开
公开(公告)号：JP2019116653A
公开(公告)日：2019-07-18
申请号：JP2017250241
申请日：2017-12-26
申请人：株式会社リコー
发明人：新里佳英 , 棟朝賢史朗 , 守田要
IPC分类号： B41J2/14 , C22C19/03 , C22C5/04 , C23C8/80 , C23C8/02 , C23F4/00 , C23C10/28
摘要：【課題】耐腐食性の向上と、表面処理膜との密着性の向上を図る。【解決手段】金属部材1は、パラジウム(Pd)とニッケル(Ni)の合金であり、最表面1aのPd(白金族金属)の割合を、内部1bのPd(白金族金属)の割合よりも高くし、金属部材1の表面1aから5nmまでの深さの部分(最表面1a)では、Pdの割合を90%以上100%未満とし、最表面1aから5nmを超える深さの部分(内部1b)では、Pdの割合を90%未満としている。【選択図】図2

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