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1. 发明专利

JP2016049506A シリコン粉回収方法及びシリコン粉回収装置有权
标题翻译：硅粉回收方法和硅粉回收系统
公开(公告)号：JP2016049506A
公开(公告)日：2016-04-11
申请号：JP2014177131
申请日：2014-09-01
申请人：株式会社ディスコ
发明人：藤田敦史 , 吉田幹 , 内田正喜
IPC分类号： B03C5/02 , B03C5/00
摘要：【課題】水分が除去されたシリコン粉を効率的に回収すること。【解決手段】シリコンウエーハ(S)に砥石(103d)を当接させ加工する加工装置(100)から排出されるシリコン粉(P)を含む廃液(L)にシリコン吸着板(32)とシリコン通過規制板(33d)とを着水させ、これらに通電させプラスに帯電したシリコン吸着板にシリコン粉を付着させる。次に、シリコン吸着板を廃液から引き上げシリコン吸着板に付着したシリコン粉と廃液とを含むシリコン溶液(SF)をシリコン吸着板から削ぎ取り回収する。次に、シリコン吸着板から削ぎ取られたシリコン溶液の水分を乾燥手段(6)で乾燥させる。【選択図】図3
摘要翻译：要解决的问题：有效回收除去水分的硅粉末。解决方案：硅吸盘（32）和硅通过调节板（33d）落在含有硅粉（P）的废液（L）上，从将研磨石（103d）与硅晶片（S）接触的处理装置（100）排出并处理硅晶片，并且硅功率粘附到通过导电而被带正电的硅吸附板上。接下来，从废液中拉出硅吸附板，从硅吸附板除去含有附着在硅吸附板上的硅粉末和废液的硅溶液（SF）。然后，通过干燥装置（6）干燥从硅吸附板去除的硅溶液的水分。选择的图：图3

2. 发明专利

JP5835731B2 湿式分級方法及び湿式分級装置有权
标题翻译：湿式分级法和湿式分级系统
公开(公告)号：JP5835731B2
公开(公告)日：2015-12-24
申请号：JP2011217834
申请日：2011-09-30
申请人：日立化成株式会社 , 国立大学法人広島大学
发明人：吉田英人 , 山本徹也 , 高井健次
IPC分类号： B03C5/02 , B03B13/04

3. 发明专利

JP5700598B2 微粒子分離装置及び方法有权
标题翻译：颗粒分离的设备和方法
公开(公告)号：JP5700598B2
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：JP2013542759
申请日：2011-11-09
申请人：株式会社日立製作所
发明人：塚田修大 , 竹中啓
IPC分类号： B03C5/02 , B01D57/02 , B01J19/08 , C01B35/02 , B03C5/00
CPC分类号： B03C5/005 , B01L3/502753 , B03C5/026 , B01L2300/0681 , B01L2400/0421 , B01L2400/0424 , B01L2400/086

4. 发明专利

JP5628971B1 マイクロ流体デバイス及び誘電泳動装置有权
标题翻译：微流体装置和介电电泳装置
公开(公告)号：JP5628971B1
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：JP2013124624
申请日：2013-06-13
申请人：日本写真印刷株式会社
发明人：麻子阪下 , 麻子阪下 , 鉄矢中山 , 鉄矢中山
IPC分类号： B01J19/00 , B03C5/02 , B81B1/00 , G01N27/00
CPC分类号： G01N27/447 , B01L3/502707 , B01L3/502761 , B01L2200/0668 , B01L2300/0832 , B01L2400/0424 , B03C5/026 , G01N30/6095
摘要：【課題】大量の粒子を精度よく分離するのに適したマイクロ流体デバイス及び誘電泳動装置を提供する。【解決手段】マイクロ流体デバイス10は、絶縁性の透明フィルム12とスペーサ18と第1電極、第2電極及び接地電極を備えている。透明フィルム12は、導体軸11、つまり中心軸の周りに巻回され、中心軸に垂直な断面における形状が渦巻状である。スペーサ18によって、透明フィルム12の所定の周とその外側の周との間に配置されて所定の周と外側の周にある透明フィルム12の間に隙間が設けられる。スペーサ18による隙間で、中心軸に垂直な断面における形状が渦巻状であって中心軸に沿って延びる流路2が形成される。第1電極、第2電極及び接地電極は透明フィルム12上に形成されており、これら電極に高周波電圧が印加されることによって流路2を流れる流体内で誘電泳動が生じる。【選択図】図11
摘要翻译：提供一种微流体装置，适用于精确地分离颗粒的大量介电电泳装置。一种微流体装置10包括绝缘透明膜12和间隔件18和第一电极，第二电极和接地电极。透明膜12，导体轴11，即绕中心轴卷绕，在一横截面垂直于中心轴的形状是螺旋形的。通过间隔件18，在透明薄膜12之间设置有介于所述外侧的一个预定的圆周和圆周上的预定圆周和外圆周上的透明膜12之间的间隙。在由间隔件18中的间隙，形状的横截面垂直于沿中心轴形成有螺旋形延伸的中心轴线流动路径2。在透明膜12上形成第一电极，第二电极和接地电极，介电电泳发生在流过流路2由高频电压的流体被施加到电极上。 .The 11

5. 发明专利

JP5349044B2 A method and apparatus for the manipulation of particles and / or detection 有权
公开(公告)号：JP5349044B2
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：JP2008522082
申请日：2006-07-19
申请人：シリコン・バイオシステムズ・ソシエタ・ペル・アチオニ
发明人：メドロ，ジャンニ , マナレージ，ニコロ
IPC分类号： B03C5/02 , G01N15/10 , G01N21/17 , G01N27/00 , G01N27/447
CPC分类号： G01N27/44756 , B03C5/026 , B03C2201/24 , G01N15/1031 , G01N15/1459
摘要： Method and apparatus for the manipulation and/or control of the position of particles by means of time-variable fields of force. The fields of force can be of dielectrophoresis (positive or negative), electrophoresis, electrohydrodynamic or electrowetting on dielectric, characterized by a set of stable points of equilibrium for the particles.

6. 发明专利

JP2013119050A Waste liquid treatment apparatus 有权
标题翻译：废液处理设备
公开(公告)号：JP2013119050A
公开(公告)日：2013-06-17
申请号：JP2011267358
申请日：2011-12-06
申请人： Disco Corp , 株式会社ディスコ
发明人： ISHIGURO HIROTAKA , YOSHIDA MIKI , FUJITA ATSUSHI
IPC分类号： B03C5/02 , B01D57/02 , B03C5/00 , C25B9/00
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a waste liquid treatment apparatus capable of efficiently separating a waste liquid containing silicon refuse into silicon refuse and purified water (water) in a state easy to reutilize.SOLUTION: The waste liquid treatment apparatus 1 includes a separation treatment means 20 and a recovery means 50. The separation treatment means 20 is equipped with a waste liquid storage liquid tank 21, a plurality of silicon adsorbing plates 23 arranged at equal intervals, a silicon passing control part 24 including a plurality of silicon passing control plates arranged in opposed relation to the silicon adsorbing plates 23 and an electric field forming part. The silicon passing control plates permit only the liquid of the waste liquid to pass and control the passage of silicon refuse. The silicon passing control part 24 is equipped with a discharge part 31 for discharging the purified water in a housing 30 demarcating a region where the purified water passed through the silicon passing control plates is present. In the electric field forming part, a silicon adsorbing plate 23 is used as an anode and the silicon passing control plate is used as a cathode. A recovery means 50 separates the silicon refuse from the silicon adsorbing plate 23.
摘要翻译：解决的问题：提供一种能够以容易再利用的状态将含有硅垃圾的废液和净化水（水）有效分离的废液处理装置。解决方案：废液处理装置1包括分离处理装置20和回收装置50.分离处理装置20装备有废液储存液罐21，以等间隔布置的多个硅吸附板23 包括与硅吸附板23相对设置的多个硅通过控制板的硅通过控制部24和电场形成部。硅通过控制板仅允许废液的液体通过并控制硅垃圾的通过。硅通过控制部24配备有排出部31，用于在净化水通过硅通过控制板的区域分界的壳体30内排出净化水。在电场形成部中，使用硅吸附板23作为阳极，将硅通过控制板用作阴极。回收装置50将硅垃圾与硅吸附板23分开。版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

7. 发明专利

JP2012110830A FINE PARTICLE COLLECTING DEVICE 审中-公开
公开(公告)号：JP2012110830A
公开(公告)日：2012-06-14
申请号：JP2010261641
申请日：2010-11-24
申请人： CHUO KAKOKI , NAGOYA INST TECHNOLOGY
发明人： SUGIMOTO MASAMITSU , YASUE KOSHICHIRO , FUNATSU KAZUHIRO , FUJI MASATADA , IWATA SHUICHI , SHIRAI TAKASHI
IPC分类号： B03C5/02 , B01D57/02 , B03B1/00
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a fine particle collecting device allowing efficient continuous operation, the device performing aggregation (concentration) treatment using electrophoresis to collect fine particles in a suspension.SOLUTION: This fine particle collecting device continuously or intermittently continuously performs aggregation treatment on the suspension using electrophoresis to collect the fine particles in the suspension. The fine particle collecting device includes: a rotor 11 that is a rotating electrode 11a; and a treatment tank 13 that is a fixed electrode 13a. The fine particle collecting device includes a particle collecting means 34 scraping and collecting the aggregated fine particles adhered to the rotor 11 while rotating the rotor 11. A start point part of flow-down supply liquid of a raw material liquid supply means 17 to the treatment tank 13 and a start point part of flow-down waste liquid of treated liquid from the treatment tank 13 have a droplet formation shape allowing droplets of raw material liquid and treated liquid to flow down.

9. 发明专利

JP4808685B2 Camellia oil purification equipment 有权
公开(公告)号：JP4808685B2
公开(公告)日：2011-11-02
申请号：JP2007213566
申请日：2007-08-20
申请人：株式会社エス・エフ・プラン , 株式会社椿
发明人：克朗中村 , 行隆日原
IPC分类号： C11B3/16 , B01D57/02 , B03C5/00 , B03C5/02 , C11B3/10

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