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1. 发明专利

JP6163442B2 半導体製造装置及び半導体装置の製造方法有权
公开(公告)号：JP6163442B2
公开(公告)日：2017-07-12
申请号：JP2014043220
申请日：2014-03-05
申请人：株式会社東芝
发明人：須黒恭一 , 宮下直人
IPC分类号： H05B6/80 , H01L21/265 , H01L21/324 , H01L21/20
CPC分类号： H01L21/67115 , H01L21/02381 , H01L21/02447 , H01L21/02458 , H01L21/02532 , H01L21/0254 , H01L21/02667 , H01L21/324 , H01L21/67248 , H05B6/645 , H05B6/707 , H05B6/80

2. 发明专利

JP2017087722A マイクロ波エネルギを使用して３次元印刷物体から支持構造を除去するシステム及び方法审中-公开
公开(公告)号：JP2017087722A
公开(公告)日：2017-05-25
申请号：JP2016212011
申请日：2016-10-28
申请人：ゼロックスコーポレイションXerox Corporation , Xerox Corp , ゼロックスコーポレイションXerox Corporation
发明人： RON E DUFORT , ERWIN RUIZ , HOOVER LINN C , DAVID K AHL , PATRICK J HOWE , HAYS ANDREW W
IPC分类号： B29C67/00 , B33Y10/00 , B33Y30/00 , B33Y80/00
CPC分类号： B29C35/0805 , B29C64/112 , B29C64/20 , B29C64/40 , B29C71/0009 , B29C71/04 , B29C2035/0855 , B29C2071/0045 , B33Y10/00 , B33Y30/00 , B33Y50/02 , B33Y80/00 , H05B6/645 , H05B6/80 , H05B2214/04
摘要：【課題】物体からの支持材料の除去を容易とする3次元物体を製造する方法を提供する。【解決手段】マイクロ波放射器516に対向する位置まで物体を移動させることと、固体から液体へと支持材料を相変化させるようにマイクロ波放射器を動作させることとを含む。コントローラ580は、マイクロ波放射器の動作が終了するときを判定するために所定期間の期限又は物体の温度のいずれかを監視する。支持材料は、物体の誘電損率よりも大きい誘電損率を有することから、マイクロ波放射器は物体を損傷しない。【選択図】図2A

3. 发明专利

JPWO2015118868A1 マイクロ波加熱装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2015118868A1
公开(公告)日：2017-03-23
申请号：JP2015561221
申请日：2015-02-05
申请人：パナソニックIpマネジメント株式会社
发明人：林　孝宏 , 孝宏林 , 大槻　裕一 , 裕一大槻 , 誠一山下 , 誠一山下 , 幹男福井 , 幹男福井 , 神谷　利文 , 利文神谷
IPC分类号： H05B6/74 , H05B6/70
CPC分类号： H05B6/642 , H05B6/645 , H05B6/6476 , H05B6/707 , H05B2206/044
摘要：本開示のマイクロ波加熱装置において、インバータ部(4)は、第1および第2マイクロ波生成装置(3)を駆動する。冷却部(5)は、第1および第2マイクロ波生成装置(3)およびインバータ部(4)を冷却する。第1および第2導波管(17)は、第1および第2マイクロ波生成装置(3)が生成したマイクロ波を加熱室(2)に供給する。加熱室(2)の底面より下方において、第1および第2マイクロ波生成装置(3)が左右に並んで配置される。第1および第2マイクロ波生成装置(3)から前方に向かってインバータ部(4)、冷却ファン(5)が順に配置され、第1および第2導波管(17)が、第1および第2マイクロ波生成装置(3)からそれぞれ前後方向に延在するように設けられる。本開示によれば、マイクロ波加熱装置を左右方向により小型化することができる。

4. 发明专利

JP2014192372A Microwave heating apparatus 审中-公开
标题翻译：微波加热装置
公开(公告)号：JP2014192372A
公开(公告)日：2014-10-06
申请号：JP2013067160
申请日：2013-03-27
申请人： Tokyo Electron Ltd , 東京エレクトロン株式会社
发明人： SHIMOMURA KOJI , KITAGAWA JUNICHI , YAMAMOTO NOBUHIKO , HAYASHI HIROYUKI , TANAKA KIYOSHI
IPC分类号： H01L21/268 , H01L21/265 , H05B6/80
CPC分类号： H05B6/642 , H05B6/645 , H05B6/80
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To efficiently cool a processed substrate, relating to heating process in which microwave is introduced into a process container for heating the processed substrate.SOLUTION: A microwave heating processing apparatus 1 includes a support stage 13 for supporting a wafer W in a process container 10, a microwave introducing mechanism 11 for introducing microwave into the process container 10, a coolant flow passage 35 formed inside the support stage 13, and a coolant supply source 34 for supplying coolant to a coolant flow passage 35. At least a surface of the support stage 13 which supports the wafer W is made from a material of which a product of dielectric constant and a dielectric loss angle is less than 0.005. The coolant supplied from the coolant supply source 34 is a liquid which does not have electrical polarity.
摘要翻译：要解决的问题：为了有效地将加热微波加热处理过的衬底有效地冷却到用于加热处理衬底的加工容器中。微波加热处理设备1包括用于支撑晶片W的支撑台13 处理容器10，用于将微波引入处理容器10的微波引入机构11，形成在支撑台13内部的冷却剂流动通道35和用于向冷却剂流动通道35供应冷却剂的冷却剂供给源34.至少支撑晶片W的支撑台13的表面由介电常数和介电损耗角的乘积小于0.005的材料制成。从冷却剂供给源34供给的冷却剂是不具有电极性的液体。

5. 发明专利

JP5244229B2 Heating cooker 有权
公开(公告)号：JP5244229B2
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：JP2011282852
申请日：2011-12-26
申请人：シャープ株式会社
发明人：健太郎岸良 , 昇岩田 , 将樹濱本 , 田鶴子北澤 , 秀樹江藤 , 晃央小谷 , 峻之中 , 善照村上
IPC分类号： F24C7/04 , F24C7/02
CPC分类号： H05B6/80 , H05B6/6447 , H05B6/645 , H05B6/6458

6. 发明专利

JP2013053886A Reaction device 有权
标题翻译：反应装置
公开(公告)号：JP2013053886A
公开(公告)日：2013-03-21
申请号：JP2011191207
申请日：2011-09-02
申请人： Katsuyoshi Tabuse , 克惇田伏 , Sunny Engineering Corp , 株式会社サニーエンヂニアリング
发明人： TABUSE KATSUYOSHI , ONCHI MINORU
IPC分类号： G01N22/00
CPC分类号： H05B6/68 , B01J19/0046 , B01J2219/00283 , B01J2219/00306 , B01J2219/00495 , B01J2219/1218 , B01L3/50853 , B01L9/06 , B01L2200/026 , B01L2200/147 , B01L2300/042 , B01L2300/0832 , C12M35/02 , H05B6/645 , H05B6/806
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a reaction device capable of allowing multiple samples to roughly uniformly react when reacting the multiple samples simultaneously.SOLUTION: A reaction device includes: microwave oscillation means for oscillating microwaves; holding containers 24 for respectively holding multiple samples collected from a human body, etc.; a microwave irradiation container 20 on which the respective holding containers 24 can be placed; a temperature sensor 23 for detecting the temperature of the samples held in the holding containers 24 or the temperature inside the microwave irradiation container 20; and microwave control means for varying microwaves to be oscillated by the microwave oscillation means on the basis of the temperature detected with the temperature sensor 23. The microwave irradiation container 20 includes: microwave introduction ports 22 for introducing the microwaves oscillated by the microwave oscillation means to the inner part of the microwave irradiation container 20; and ring-shaped patterns 21f for respectively irradiating the respective holding containers 24 with the microwaves introduced from the microwave introduction ports 22.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种当多个样品同时反应时能够允许多个样品大致均匀反应的反应装置。解决方案：反应装置包括：用于振荡微波的微波振荡装置; 分别容纳从人体收集的多个样品的容器24; 微波照射容器20，其上可以放置各个保持容器24; 用于检测保持在保持容器24中的样品的温度或微波照射容器20内的温度的温度传感器23; 以及微波控制装置，用于根据由温度传感器23检测到的温度，通过微波振荡装置使微波振荡。微波照射容器20包括：微波引入口22，用于将由微波振荡装置振荡的微波导入微波照射容器20的内部; 以及环状图案21f，用于分别从微波引入口22引入的微波照射各个保持容器24.（C）2013，JPO＆INPIT

7. 发明专利

JP2010112664A Heating cooker 审中-公开
标题翻译：加热烹饪机
公开(公告)号：JP2010112664A
公开(公告)日：2010-05-20
申请号：JP2008287336
申请日：2008-11-10
申请人： Panasonic Corp , パナソニック株式会社
发明人： KONDO RYUTA , KONDO MASAMITSU , SHIMADA RYOJI , NISHITANI HISAHIRO , YAMANE SHINICHI
IPC分类号： F24C7/04 , F24C7/02
CPC分类号： H05B6/6482 , H05B6/645 , H05B6/725
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cooker with satisfaction for preventing from overcooking and cooking deliciously.
SOLUTION: This heating cooker is capable of controlling radiant heat from heaters 2, 3 by directly detecting temperatures of the heaters 2, 3 and directly controlling the temperatures of the heaters 2, 3, and enhancing the effect by the radiant heat by improving the duty factor of the heaters 2, 3, so that the heating cooker stably exhibiting high cooking performance with a short cooking time is provided.
COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一个满意的防止烹饪和烹饪美味的炊具。
解决方案：该加热烹调器能够通过直接检测加热器2,3的温度并直接控制加热器2,3的温度来控制加热器2,3的辐射热，并且通过辐射热增强辐射热的效果提高了加热器2,3的占空比，从而提供了在烹饪时间短的情况下稳定地表现出高烹饪性能的加热烹调器。版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

8. 发明专利

JP2009544005A Medium temperature measuring device 审中-公开
公开(公告)号：JP2009544005A
公开(公告)日：2009-12-10
申请号：JP2009518733
申请日：2007-06-12
申请人：ヴェーエムエフヴュルテンベルギッシェメタルヴァーレンファブリークアクチエンゲゼルシャフトWMF Wuerttembergische Metallwarenfabrik AG
发明人：ゲールテンボートフランク
IPC分类号： G01K1/14 , G01K1/02 , G01K1/12 , G08C17/00
CPC分类号： H05B6/06 , H05B6/645
摘要：本発明は、媒体、特に食品の温度を測定するための装置（１，１′）に関する。この装置は、温度センサ（３）を有する無線の伝送器（４）と、この伝送器（４）の外に設けられた受信兼評価手段（６）とを備えている。このような装置を普遍的に使用できるようにし、かつ温度の一層正確な測定を可能にするために、温度センサ（３）を有する伝送器（４）は媒体内または媒体上で温度を直接測定するための移動可能ユニット（２）として形成され、受信兼評価手段（６）は媒体の外に配置される。

9. 发明专利

JP2004093105A Cooking device provided with heater and its control method 审中-公开
公开(公告)号：JP2004093105A
公开(公告)日：2004-03-25
申请号：JP2003110793
申请日：2003-04-15
申请人： Samsung Electronics Co Ltd , 三星電子株式会社
发明人： LEE WON-WOO
IPC分类号： H05B3/00 , F24C7/02 , F24C7/04 , F24C7/08 , H05B6/64 , H05B6/68
CPC分类号： H05B6/645 , H05B6/6408
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cooking device provided with a heater and its control method capable of a distinguishing type of accessory such as a wire rack or a cram tray by a change in internal temperature in a cooking chamber at the initial time when operation is in cooking mode by use of the heater and performing on/off control method of the heater suitable for the accessory automatically to improve user's convenience.
SOLUTION: The heater 520 for heating food and drink is provided at a first position in the cooking chamber, and the cram tray 714 for storing food and drink is inserted into a second position in the cooking chamber in cooking mode by use of the heater 520. A temperature detection part 522 is provided between the first position and the second position to detect internal temperature in the cooking chamber. When change rate of temperature in the cooking chamber detected by the temperature detection part 522 is larger than a set value, it is determined that the cram tray 714 is used as the cooking accessory to control an on/off condition of the heater 520 to suit to the cooking mode by use of the cram tray 714.
COPYRIGHT: (C)2004,JPO

10. 发明专利

JP6348765B2 マイクロ波加熱処理装置及びマイクロ波加熱処理方法有权
公开(公告)号：JP6348765B2
公开(公告)日：2018-06-27
申请号：JP2014087266
申请日：2014-04-21
申请人：東京エレクトロン株式会社
发明人：芦田光利 , 洪錫亨
IPC分类号： H05B6/74 , H01L21/268 , H05B6/80
CPC分类号： H05B6/80 , H01L21/67115 , H01L21/6875 , H05B6/6408 , H05B6/645

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