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2. 发明专利

JP2017537500A 発振器およびリアルタイムクロック用途のための複合バネＭＥＭＳ共振器审中-公开
公开(公告)号：JP2017537500A
公开(公告)日：2017-12-14
申请号：JP2017519315
申请日：2015-10-16
申请人：マイクロチップ・テクノロジー・インコーポレーテッド
发明人：クラーク・ジョン・ライアン
IPC分类号： H03H9/24 , B81B3/00
CPC分类号： H03H9/2405 , H02N1/008 , H03H9/02244 , H03H9/2431 , H03H9/2452 , H03H2009/02251 , H03H2009/02283 , H03H2009/02307 , H03H2009/0233 , H03H2009/02496
摘要：【課題】【解決手段】複合バネMEMS共振器が、共振器本体を形成する複合バネブロック(55、95)ならびに1または複数の複合バネブロック(54a)を形成する1または複数のバネユニットセルを用いて構築された共振器本体を備える。各複合バネブロックは、高い品質係数を保障するために節点に固定される(56、58)。共振器本体は、さらに、複合バネブロックの開放端に取り付けられ、駆動/検知電極(66、68)に容量結合されたマス(60a、60b、94a、94b)を備える。バネユニットセルの寸法、複合バネブロックのバネユニットセルの数、マスのサイズおよび重さ、ならびに、支持ビームの長さおよび幅が、所望の共振周波数を実現するように選択される。共振器本体(90)を形成するために、複数の共振器ユニットが、並列に接続されてもよい。一方、複合バネブロックの数が、MEMS共振器の所望の電気的特性(インピーダンスなど)を調整するために選択される。リリース穴(94)が、共振器本体の重さを調整するために用いられてもよい。【選択図】図3

3. 发明专利

JP2015080012A 振動子、発振器、電子機器及び移動体审中-公开
标题翻译：振动器，振荡器，电子设备和可移动体
公开(公告)号：JP2015080012A
公开(公告)日：2015-04-23
申请号：JP2013214421
申请日：2013-10-15
申请人：セイコーエプソン株式会社
发明人：木原竜児
IPC分类号： H03B5/30 , H03H9/24
CPC分类号： H02N1/006 , H01L41/053 , H01L41/0913 , H03B5/32 , H03H9/02338 , H03H9/05 , H03H9/2405 , H03H9/2447 , H03H2009/02283
摘要：【課題】信頼性品質が高く、振動特性が安定で、高いQ値を有する振動子を提供する。【解決手段】MEMS振動子100は、基板1と、基板1上に配置されている基部22と、基部22から互いに異なる方向に延出している複数の振動部24と、を備え、隣り合う振動部24の間に曲面40を有している。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供具有高可靠性质量，稳定的振动特性和高Q值的振动器。解决方案：MEMS振动器100包括：基板1; 设置在基板1上的基部22; 多个振动部24，其从基部22沿彼此不同的方向延伸; 以及彼此相邻的多个振动部24之间的曲面40。

4. 发明专利

JP2017533646A 発振器およびリアルタイムクロック用途のための複数コイルバネＭＥＭＳ共振器有权
公开(公告)号：JP2017533646A
公开(公告)日：2017-11-09
申请号：JP2017519316
申请日：2015-10-16
申请人：マイクロチップ・テクノロジー・インコーポレーテッド
发明人：スー・ワン−タイ , クラーク・ジョン・ライアン
IPC分类号： H03H9/24 , B81B3/00
CPC分类号： H03H9/2431 , B81B2201/0271 , H03H9/02244 , H03H9/02259 , H03H9/02338 , H03H9/2452 , H03H2009/02251 , H03H2009/02283 , H03H2009/02307 , H03H2009/0233 , H03H2009/02346 , H03H2009/02496
摘要：【課題】【解決手段】複数コイルバネMEMS共振器が、中央アンカと、中央アンカから外側閉リング(104)まで渦巻きパターンで伸びる2以上のコイルバネ(102a、102b)を備えた共振器本体(106)とを備える。各ペアのコイルバネは、中央アンカ上の両側の点から始まり、外側リング上の両側の点まで渦巻きパターンで伸びる。コイルバネの数、コイルバネの長さおよび幅、ならびに、外側リングの重さが、所望の共振周波数を実現するように選択される。外側リング(104)は、垂直の変換器(108)を備えており、外側リング(104)の重さを調整するための穴(130)を備えてもよい。1セットの駆動電極(110)および検知電極(112)が、基板に取り付けられる。【選択図】図10

5. 发明专利

JP2015080013A 振動子、発振器、電子機器及び移動体审中-公开
标题翻译：振动器，振荡器，电子设备和可移动体
公开(公告)号：JP2015080013A
公开(公告)日：2015-04-23
申请号：JP2013214422
申请日：2013-10-15
申请人：セイコーエプソン株式会社
发明人：木原竜児 , 永田和幸
IPC分类号： H03B5/30 , H03H9/24
CPC分类号： H02N1/006 , H01L41/053 , H01L41/083 , H01L41/0913 , H03B5/30 , H03H9/02338 , H03H9/2405 , H03H9/2447 , H03H2009/02283
摘要：【課題】信頼性品質が高く、振動特性が安定で、高いQ値を有する振動子を提供する。【解決手段】MEMS振動子100は、基板1と、基板1上に配置されている基部22と、基部22から基板の法線と交わる方向に延出している複数の振動部24と、を備え、平面視で、前記振動部が前記基部から延出している方向での長さをL、前記振動部が前記基部から延出している方向と交わる方向での長さをWとしたとき、前記振動部の寸法比(L/W)が、0.2≦(L/W)≦7.0の関係を満たしている。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供具有高可靠性质量，稳定的振动特性和高Q值的振动器。解决方案：MEMS振动器100包括：基板1; 设置在基板1上的基部22; 以及从基部22沿与基板1的法线交叉的方向延伸的多个振动部24。从平面图看，当多个振动部24的每个长度在振动部24的方向上从基部22延伸出的L表示为L，振动部24与振动部24从基部22延伸的方向相交的方向各自的长度由W表示，W的尺寸比（L / W）振动部24满足0.2≤（L / W）≤7.0的关系。

6. 发明专利

JP2013030905A Mems vibrator and oscillator 审中-公开
标题翻译： MEMS振动器和振荡器
公开(公告)号：JP2013030905A
公开(公告)日：2013-02-07
申请号：JP2011164378
申请日：2011-07-27
申请人： Seiko Epson Corp , セイコーエプソン株式会社
发明人： INABA SHOGO
IPC分类号： H03H9/24 , B81B3/00 , H03B5/30 , H03B5/32
CPC分类号： H03H9/2457 , B81B3/007 , B81B2201/014 , H03H3/0072 , H03H2009/02283 , H03H2009/02456 , H03H2009/02511
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an MEMS vibrator having a high frequency accuracy.SOLUTION: An MEMS vibrator 100 includes a substrate 10, a first electrode 20 disposed above the substrate 10, a beam 34 disposed at least partially in a state having a cavity between the first electrode 20 and can oscillate with an electrostatic force in the thickness direction of the substrate 10, and a second electrode 30 having a support 32 disposed above the substrate 10 so as to support one end 34a of the beam 34. The support side face 32a supporting one end 34a of the support 32 has a bent part bending from the thickness direction of the substrate 10 in the plan view, and the one end 34a is supported by the support side face 32a including the bent part.
摘要翻译：要解决的问题：提供具有高频精度的MEMS振动器。解决方案：MEMS振动器100包括基板10，设置在基板10上方的第一电极20，至少部分地设置在第一电极20之间具有空腔的状态的光束34，并且可以以静电力摆动基板10的厚度方向，以及具有设置在基板10上方的支撑体32以支撑梁34的一端34a的第二电极30.支撑支撑体32的一端34a的支撑侧面32a具有弯曲在平面图中从基板10的厚度方向弯曲的部分，一端34a由包括弯曲部的支撑侧面32a支撑。版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

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