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    • 8. 发明专利
    • 弾性波デバイス及びその製造方法
    • 弹性波装置及其制造方法
    • JP2015170931A
    • 2015-09-28
    • JP2014043310
    • 2014-03-05
    • 太陽誘電株式会社
    • 松田 隆志
    • H03H3/08H03H9/145
    • H03H3/08H03H3/02H03H9/02992H03H9/131H03H9/02834Y10T29/42
    • 【課題】パッド電極の圧電基板に垂直な方向の電気抵抗を抑えること。 【解決手段】本発明は、圧電基板12と、圧電基板12上に設けられた櫛型電極14と、圧電基板12上に設けられ、櫛型電極14に電気的に接続されたパッド電極16と、を備え、櫛型電極14は、最上層である第3層34の材料の電気抵抗率が最上層よりも一層下の層である第2層32の材料の電気抵抗率よりも大きい積層膜であり、パッド電極16は、櫛型電極14の積層膜のうちの圧電基板12側から第2層32までの膜構成と同じ膜構成を有し、第2層32に相当する層である第2層42の上面が露出している弾性波デバイスである。 【選択図】図5
    • 要解决的问题:为了抑制与焊盘电极的压电基板垂直的方向的电阻。解决方案:弹性波装置包括:压电基板12; 设置在压电基板12上的交叉指状电极14; 以及焊盘电极16,其设置在压电基板12上并电连接到叉指电极14.叉指电极14是层叠膜,其中作为顶层的第一层34的材料的电阻率大于 比顶层低一层的第二层32的材料的电阻率。 焊盘电极16具有与更靠近压电基板12到第二层32的交叉指状电极14的层叠膜中的膜构造相同的膜构造,以及与第二层42相对应的层的第二层42的顶面 第二层32暴露。