会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 9. 发明专利
    • プレーナ型異種デバイス
    • 平面异构设备
    • JP2017504951A
    • 2017-02-09
    • JP2016526310
    • 2013-12-18
    • インテル・コーポレーション
    • ジュン、キミンモロー、パトリック
    • H01L21/20H01L21/02H01L21/8238H01L27/08H01L27/092H01L27/12
    • H01L29/1054H01L21/02524H01L21/02538H01L21/02551H01L21/76283H01L21/823412H01L21/8258H01L27/0922H01L27/1207H01L29/16H01L29/20H01L29/22H01L29/267H01L29/78
    • 一実施形態において、第2の半導体層は、第1の半導体層の上に(例えば、複数の層転写技術を用いて)転写される。第2の層は、複数の所望のウェル内にパターニングされる。複数のウェルの間に、第1の層が露出する。S1及びS2の両方を含むプレーナ型異種基板を完成させるべく、露出された第1の層は転写された第2の層のレベルまでエピタキシャルに成長させられる。複数の異種材料は、例えば、III−V族又はIV族材料のうち1つから形成されたPチャネルデバイスが、III−V族又はIV族材料のうち1つから形成されたNチャネルデバイスと同一平面を成すように利用され得る。実施形態は、第1の層の上に転写されようとしている第2の層により、格子パラメータの適合を必要としない。また、バッファ及び/又はヘテロエピタキシーは存在しない(又はほとんど存在しない)。他の複数の実施形態は本明細書で説明される。
    • 在一个实施例中,第二半导体层,所述第一半导体层上(例如,通过使用多个的层转移技术)转移。 第二层中的多个所希望的孔的图案化。 多个孔之间,所述第一层被暴露。 为了完成含有S1和S2,其被暴露外延生长到已传送的第二层的电平的第一层平面异质衬底。 多个不同的材料,例如,从一个形成在相同的P沟道器件是从III-V族或IV族材料的III-V族或IV族材料中的一种形成的N沟道器件 它可以被用于形成一个平面。 实施例中,第二层是约在第一层被转移,并且不需要的晶格参数的自适应。 的缓冲液和/或异质外延不存在(或几乎没有任何)。 本文描述的其他多个实施方案中。