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    • 3. 发明专利
    • 不揮発性半導体記憶装置
    • 非易失性半导体存储器件
    • JP2015170700A
    • 2015-09-28
    • JP2014044000
    • 2014-03-06
    • 株式会社東芝
    • 鳥山 周一
    • H01L45/00H01L49/00G11C13/00H01L27/105
    • G11C5/06G11C13/0002G11C13/0007G11C13/0011G11C13/0069H01L27/249H01L45/08G11C2013/0073G11C2213/18G11C2213/71
    • 【課題】本発明の実施形態は、隣接メモリセルのフィラメント間の電気的・熱的干渉を低減させると共に低電圧動作が可能な不揮発性半導体記憶装置を提供することを目的とする。 【解決手段】本発明の不揮発性半導体記憶装置は、第1方向に延びる複数の第1配線、前記第1方向と交差する第2方向に延びる複数の第2配線、並びに、前記複数の第1配線及び前記複数の第2配線の各交差部に設けられた複数のメモリセルを有するセルアレイを備え、前記複数のメモリセルは、媒質中のフィラメントの状態によって抵抗が変わる可変抵抗膜を有し、前記セルアレイは、前記複数の第1配線及び前記複数の第2配線の各交差部において、前記第1配線及び前記第2配線の間隔が最も狭い第1部分、並びに、前記第1部分よりも前記第1配線及び前記第2配線の間隔が広い第2部分を持つことを特徴とする。 【選択図】図7
    • 要解决的问题:提供一种能够减少相邻存储单元的长丝之间的电和热干扰的非易失性半导体存储装置,并且能够实现低电压操作。解决方案:本实施例的非易失性半导体存储装置包括具有 沿第一方向延伸的多个第一分配线,沿与第一方向交叉的第二方向延伸的多个第二配线以及分别设置在多个第一分配线的各交叉部分上的多个存储单元, 的第二配电线路。 多个存储单元具有各自具有根据介质中的细丝的状态而变化的电阻的可变电阻膜。 电池阵列在多个第一配线和多个第二配电线的每个交叉部分具有第一配电线和第二配电线之间的距离最窄的第一部分和第二配电线之间的距离 第一配电线和第二配电线宽于第一配电线。