专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

JP2018527612A リソグラフィ装置のための抑制フィルタ、放射コレクタ及び放射源、並びに抑制フィルタの少なくとも2つの反射面レベル間の分離距離を決定する方法审中-公开
公开(公告)号：JP2018527612A
公开(公告)日：2018-09-20
申请号：JP2018506611
申请日：2016-08-02
申请人：エーエスエムエルネザーランズビー.ブイ.
发明人：バニエ,バディム,エヴィジェンエビッチ , ニーンフイス,ハン−クワン , スキャカバラロッツィ,ルイージ
IPC分类号： G02B1/118 , H05G2/00 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70191 , G02B5/1861 , G02B5/208 , G02B5/281 , G02B27/4244 , G02B27/4277 , G03F7/70033 , G03F7/70158 , G03F7/70175 , G03F7/70575 , H05G2/008
摘要：それぞれがある分離距離だけ分離された少なくとも2つの反射面レベルを規定する断面を有する抑制フィルタが開示される。分離距離は、反射抑制フィルタが反射抑制フィルタに入射する第1の波長及び第2の波長の放射の鏡面反射を実質的に防止するように動作可能となる距離である。そのような抑制フィルタを備えた放射コレクタ、放射源及びリソグラフィ装置、並びに抑制フィルタの少なくとも2つの反射面レベル間の分離距離を決定する方法も開示される。【選択図】図5

2. 发明专利

JP2014209237A ０次低減のための光学設計有权
标题翻译：用于零级减少的光学设计
公开(公告)号：JP2014209237A
公开(公告)日：2014-11-06
申请号：JP2014086823
申请日：2014-04-18
申请人：プライムセンスリミテッド , Primesense Ltd , プライムセンスリミテッド
发明人： ALEXANDER SHPUNT
IPC分类号： G02B5/18
CPC分类号： G03B35/00 , G02B27/0944 , G02B27/4233 , G02B27/425 , G02B27/4266 , G02B27/4272 , G02B27/4277
摘要：【課題】光学3次元(3D)マッピング等に使用する高コントラスト、高い投影効率、および、パターンを構成する光束間の強度分布の高い均一性が得られるDOEの設計手法を提供する。【解決手段】1つのパターンを投影する装置10であって、1つの0次光線32を有する第1の回折パターン23を1つの表面24の第1の区域22に生成するために1つの入射光20を回折するように構成された第1の回折光学素子(DOE)12(を有する。第2の回折光学素子(DOE)14は第2の回折パターン29を上記表面の第2の区域27に形成するために上記0次光線を回折するように構成される。ここにおいて第1の区域と第2の区域24は共同して上記表面を少なくとも部分的に覆う。【選択図】図1A
摘要翻译：要解决的问题：提供一种设计DOE的方法，其提供构成所使用的图案的子束之间的高对比度，高投影效率和强度分布的高均匀性，例如在光学三维（3D）映射中。解决方案：装置10 为了投影图案，包括被配置为衍射输入光束20的第一衍射光学元件（DOE）12，以便在表面24的第一区域22上产生第一衍射图案23，第一衍射图案包括零级光束32 第二衍射光学元件（DOE）14被配置为衍射零级光束，以便在表面的第二区域27上产生第二衍射图案29，其中第一和第二区域27一起至少部分地覆盖表面。

3. 发明专利

JP5494577B2 Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and electronic device manufacturing method 有权
公开(公告)号：JP5494577B2
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：JP2011141210
申请日：2011-06-24
申请人：株式会社ニコン
发明人：裕市原 , 綾子中村 , 直正白石 , 昭一谷元 , 祐司工藤
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70408 , G02B5/1838 , G02B5/1866 , G02B13/143 , G02B27/4222 , G02B27/4272 , G02B27/4277 , G03B27/42 , G03F7/70283 , G03F7/7035

4. 发明专利

JP5053090B2 An optical head and an optical disk device 有权
公开(公告)号：JP5053090B2
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：JP2007528430
申请日：2006-07-20
申请人：パナソニック株式会社
发明人：定夫水野
IPC分类号： G11B7/135 , G02B5/18 , G02B13/00 , G11B7/125
CPC分类号： G11B7/1353 , G02B5/1814 , G02B27/4238 , G02B27/4277 , G11B7/1275 , G11B7/1374 , G11B2007/0006

5. 发明专利

JP5024047B2 Manufacturing method of a micro structure 有权
公开(公告)号：JP5024047B2
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：JP2007539878
申请日：2006-10-02
申请人：株式会社ニコン
发明人：政俊林
IPC分类号： G02B5/18 , B81B1/00 , B81C1/00 , B81C99/00
CPC分类号： G02B3/0075 , B81B2201/047 , B81C99/0085 , G02B3/0025 , G02B3/0068 , G02B5/1819 , G02B5/1852 , G02B27/4277 , Y10S359/90

6. 发明专利

JP4847351B2 The diffractive optical element and the diffraction grating using the same 有权
$The diffractive optical element and the diffraction grating using the same$
公开(公告)号：JP4847351B2
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：JP2007003597
申请日：2007-01-11
申请人：キヤノン株式会社
发明人：英史岩佐
IPC分类号： C08L101/00 , C08L101/12 , G02B1/04 , G02B5/18
CPC分类号： G02B5/1814 , G02B1/04 , G02B5/1871 , G02B27/0037 , G02B27/0056 , G02B27/4211 , G02B27/4277 , G02B27/4288

7. 发明专利

JP4587418B2 Diffractive optical element and an optical system having a diffractive optical element 有权
$Diffractive optical element and an optical system having a diffractive optical element$
公开(公告)号：JP4587418B2
公开(公告)日：2010-11-24
申请号：JP2000294286
申请日：2000-09-27
申请人：キヤノン株式会社
发明人：中井　　武彦
IPC分类号： G02B5/18 , G02B13/00 , G02B27/00
CPC分类号： G02B5/1895 , G02B5/1814 , G02B5/1876 , G02B27/0037 , G02B27/4211 , G02B27/4272 , G02B27/4277

8. 发明专利

JP4518825B2 Variable wavelength dispersion compensator 有权
公开(公告)号：JP4518825B2
公开(公告)日：2010-08-04
申请号：JP2004102696
申请日：2004-03-31
申请人：富士通株式会社
发明人：康平柴田
IPC分类号： G02B26/06 , G02B6/34 , G02B27/00 , G02B27/10 , G02B27/42
CPC分类号： G02B6/29395 , G02B6/2931 , G02B6/29311 , G02B6/29358 , G02B6/29394 , G02B27/0068 , G02B27/1086 , G02B27/143 , G02B27/145 , G02B27/42 , G02B27/4277

9. 发明专利

JP2010044855A Integrated micro-optical system 审中-公开
标题翻译：集成微光系统
公开(公告)号：JP2010044855A
公开(公告)日：2010-02-25
申请号：JP2009235381
申请日：2009-10-09
申请人： Digital Optics Corp , ディジタル・オプティックス・コーポレイションDigital Optics Corporation
发明人： FELDMAN MICHAEL R , KATHMAN ALAN D , WELCH WILLIAM HUDSON
IPC分类号： G02B5/18 , G02B6/12 , G02B6/42 , G02B6/43 , G02B7/02 , G02B13/00 , G02B27/00 , G11B7/085 , G11B7/12 , G11B7/135 , G11B7/22 , G11B11/105 , G11B11/12
CPC分类号： B82Y10/00 , G02B6/12 , G02B6/4206 , G02B6/43 , G02B7/025 , G02B27/0037 , G02B27/4238 , G02B27/4277 , G02B2006/12104 , G11B7/08564 , G11B7/122 , G11B7/123 , G11B7/1353 , G11B7/1372 , G11B7/1374 , G11B7/1378 , G11B7/139 , G11B7/1392 , G11B7/13922 , G11B7/22 , G11B11/10532 , G11B11/10536 , G11B11/10543 , G11B11/10554 , G11B11/1058
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce a size of a slide block of a magnetic optical head. SOLUTION: An integrated micro-optical system includes at least two wafers with at least two optical elements 71, 73, 75 provided on respective surfaces of the at least two wafers. An active element 63 having a characteristic which changes in response to an applied field may be integrated on a bottom surface of the wafers. The resulting optical system may present a high numerical aperture. Preferably, one of the optical elements is a refractive element formed in a material having a high refractive index. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

10. 发明专利

JP2008169299A Optical material, and optical element, diffractive optical element and multi-layer diffractive optical element formed with this material 有权
$Optical material, and optical element, diffractive optical element and multi-layer diffractive optical element formed with this material$
标题翻译：光学材料和光学元件，衍射光学元件和与该材料形成的多层差分光学元件
公开(公告)号：JP2008169299A
公开(公告)日：2008-07-24
申请号：JP2007003597
申请日：2007-01-11
申请人： Canon Inc , キヤノン株式会社
发明人： IWASA HIDEFUMI
IPC分类号： C08L101/00 , C08L101/12 , G02B1/04 , G02B5/18
CPC分类号： G02B5/1814 , G02B1/04 , G02B5/1871 , G02B27/0037 , G02B27/0056 , G02B27/4211 , G02B27/4277 , G02B27/4288
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical element having stable diffraction efficiency in each working wavelength region in the entire visible region of a diffractive optical element.
SOLUTION: An organic optical material is used in which the relationship between the Abbe number (νd) and the secondary dispersion (θg, F) is expressed by the formula:θg, F≤-2×10-3νd+0.59. As a result, the optical element is obtained which does not cause partial efficiency drops with wavelengths and in which the diffraction efficiency is improved in each working wavelength region in the entire visible region and the chromatic aberration is more precisely corrected.
COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供在衍射光学元件的整个可见区域中的每个工作波长区域具有稳定衍射效率的光学元件。解决方案：使用有机光学材料，其中阿贝数（vd）和二次色散（θg，F）之间的关系由下式表示：θg，F≤2×10-3vd + 0.59。结果，获得的光学元件不会产生波长的部分效率下降，并且其中在整个可见区域中的每个工作波长区域的衍射效率提高，并且更精确地校正色像差。版权所有（C）2008，JPO＆INPIT

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式