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1. 发明专利

JP6088587B2 閉ループ線形駆動加速度計を用いて面外線形加速度を検出するためのシステムおよび方法有权
标题翻译：一种用于通过使用闭环线性驱动加速度计检测出的面内的线性加速度的系统和方法
公开(公告)号：JP6088587B2
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：JP2015128582
申请日：2015-06-26
申请人：ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド
发明人：マイケル・ジェイ・フォスター
IPC分类号： G01P15/13 , G01P15/08 , H01L29/84 , B81B3/00 , G01P15/125
CPC分类号： G01P15/125 , G01P15/131 , G01P2015/0831 , G01P2015/0834 , G01P2015/0882

2. 发明专利

JP2010038903A System and method for detecting out-of-plane linear acceleration with closed loop linear drive accelerometer 有权
标题翻译：用闭环线性驱动加速度计检测平面外线性加速度的系统和方法
公开(公告)号：JP2010038903A
公开(公告)日：2010-02-18
申请号：JP2009128940
申请日：2009-05-28
申请人： Honeywell Internatl Inc , ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド
发明人： FOSTER MICHAEL J
IPC分类号： G01P15/13
CPC分类号： G01P15/125 , G01P15/131 , G01P2015/0831 , G01P2015/0834 , G01P2015/0882
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a system and a method for sensing out-of-plane linear acceleration to substantially prevent and/or control the movement of a rotor with respect to a stator so that nonlinear changes in force between the rotor and the stator are minimized.
SOLUTION: An out-of-plane linear accelerometer 100 is accelerated in an out-of-plane direction wherein the acceleration generates rotational torque in an unbalanced proof mass 102. A rebalancing force is applied to at least one of a plurality of rotor comb tines 116, 120 and stator comb tines 124, 126 which are alternately arranged, wherein the rebalancing force resists against the rotational torque, the rotor comb tines are disposed at an end of the unbalanced proof mass 102, and the stator comb tines are disposed on a stator 104, 106 adjacent to the end of the unbalanced proof mass. An amount of the acceleration is then determined based on the applied rebalancing force.
COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于感测平面外线性加速度的系统和方法，以基本上防止和/或控制转子相对于定子的运动，使得转子之间的非线性变化并且定子被最小化。解决方案：平面外线性加速度计100在平面外的方向被加速，其中加速度在不平衡证明质量102中产生旋转扭矩。重新平衡力被施加到多个转子梳齿116,120和定子梳齿124,126交替布置，其中重新平衡力抵抗旋转扭矩，转子梳齿布置在不平衡证明块102的端部，定子梳齿是设置在与不平衡检验质量块的端部相邻的定子104,106上。然后基于所应用的重新平衡力来确定加速度的量。版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

3. 发明专利

JP6295435B2 MEMSデバイス有权
公开(公告)号：JP6295435B2
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：JP2014560677
申请日：2014-02-03
申请人：パナソニックIPマネジメント株式会社
发明人：江田和夫 , 田浦巧 , 岸本慎一 , 上田英喜 , 森岳志
IPC分类号： G01P15/125 , H01L29/84 , B81B3/00 , G01P15/08
CPC分类号： B81B3/0008 , B81B2201/0235 , G01P15/125 , G01P2015/0834 , H01L29/84

4. 发明专利

JP5972965B2 加速度計システムおよび方法有权
标题翻译：加速度计的系统和方法
公开(公告)号：JP5972965B2
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：JP2014505145
申请日：2012-03-15
申请人：ノースロップグラマンガイダンスアンドエレクトロニクスカンパニーインコーポレイテッド
发明人：スチュワート, ロバートイー. , サカイダ, ダリル , ブラトウィッツ, マイケルディー. , リ, ミン , ダグラス, ジョントーマス
IPC分类号： G01P15/125 , G01P15/08 , G01P15/13
CPC分类号： G01P15/131 , G01C19/5705 , G01P15/125 , G01P2015/0834

5. 发明专利

JP6209270B2 加速度センサ有权
公开(公告)号：JP6209270B2
公开(公告)日：2017-10-04
申请号：JP2016511572
申请日：2015-03-25
申请人：日立オートモティブシステムズ株式会社
发明人：林雅秀 , 鄭希元
IPC分类号： G01P15/08 , H01L29/84 , G01P15/125
CPC分类号： G01P15/125 , G01P2015/0834

6. 发明专利

JP5770968B2 閉ループ線形駆動加速度計を用いて面外線形加速度を検出するためのシステムおよび方法有权
标题翻译：系统和方法，用于通过使用闭环线性驱动加速度计检测出的面内的线性加速度
公开(公告)号：JP5770968B2
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：JP2009128940
申请日：2009-05-28
申请人：ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド
发明人：マイケル・ジェイ・フォスター
IPC分类号： G01P15/125 , G01P15/08 , G01P15/13
CPC分类号： G01P15/125 , G01P15/131 , G01P2015/0831 , G01P2015/0834 , G01P2015/0882

7. 发明专利

JPWO2012102252A1 貫通電極付基板およびその製造方法审中-公开
公开(公告)号：JPWO2012102252A1
公开(公告)日：2014-06-30
申请号：JP2012554791
申请日：2012-01-24
申请人：パナソニック株式会社
发明人：潤一穗積 , 潤一穗積 , 巧田浦 , 巧田浦 , 真奥村 , 真奥村 , 友洋中谷 , 友洋中谷 , 亮友井田 , 亮友井田
IPC分类号： H01L23/15 , H01L23/14
CPC分类号： H01L21/76251 , B81C1/00095 , B81C1/00301 , C03C15/00 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P2015/0834 , H01L21/486 , H01L23/057 , H01L23/10 , H01L23/15 , H01L2224/45144 , H01L2224/48091 , H01L2224/48137 , H01L2224/48247 , H01L2924/1461 , H05K1/0306 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
摘要：貫通電極付基板の製造方法は、シリコン基板51およびガラス基板54のうちいずれか一方の基板に凹部21又は貫通孔21Bを形成する工程と、他方の基板に凸部52を形成する工程と、凸部52が凹部21又は貫通孔21Bに挿入された状態となるように、シリコン基板51とガラス基板54とを重ね合わせる工程と、シリコン基板51とガラス基板54とを接合する工程とを備えている。

8. 发明专利

JP5965934B2 改善されたオフセットおよびノイズ性能を有する傾斜モード加速度計有权
标题翻译：具有改进的倾斜模式加速计的偏移和噪声性能
公开(公告)号：JP5965934B2
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：JP2014041260
申请日：2014-03-04
申请人：アナログ・デバイシズ・インコーポレーテッド
发明人：ジャンシン , ハワードアール. サミュエルズ , マイケルダブリュー. ジュディー
IPC分类号： G01P15/08 , H01L29/84 , B81B3/00 , G01P15/125
CPC分类号： G01P15/125 , G01P15/08 , G01P2015/0834

9. 发明专利

JP2015212701A 閉ループ線形駆動加速度計を用いて面外線形加速度を検出するためのシステムおよび方法有权
标题翻译：使用闭环直线驱动加速度计检测平面线性加速度的系统和方法
公开(公告)号：JP2015212701A
公开(公告)日：2015-11-26
申请号：JP2015128582
申请日：2015-06-26
申请人：ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド
发明人：マイケル・ジェイ・フォスター
IPC分类号： G01P15/13 , G01P15/125 , H01L29/84 , B81B3/00 , G01P15/08
CPC分类号： G01P15/125 , G01P15/131 , G01P2015/0831 , G01P2015/0834 , G01P2015/0882
摘要：【課題】面外線形加速度を感知するシステムおよび方法を提供する。ロータおよびステータ間の力の非線形的変化を最小化するように、ステータに対するロータの運動を実質的に防ぎ、および/または、制御する。【解決手段】例示の実施形態において、面外線形加速度計100は面外方向に加速され、この加速度は不平衡プルーフマス102に回転トルクを発生させる。リバランシング力が、複数の交互配置されたロータ櫛歯116、120およびステータ櫛歯124、126の少なくとも1つに加えられ、このリバランシング力は回転トルクに対抗し、ロータ櫛歯は不平衡プルーフマス102の端部に配置され、ステータ櫛歯は不平衡プルーフマスの端部に隣接したステータ104、106の上に配置される。次いで、加速度の大きさが、加えられたリバランシング力に基づいて求められる。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于感测平面外线性加速度以便基本上防止和/或控制转子相对于定子的运动的系统和方法，使得转子和定子之间的非线性变化是最小化。解决方案：平面外线性加速度计100在平面外的方向上加速，其中加速度在不平衡证明质量块102中产生旋转扭矩。再平衡力施加到多个转子中的至少一个梳齿116和120以及定子梳齿124和126交替布置，其中重新平衡力抵抗旋转扭矩，转子梳齿设置在不平衡保证质量102的端部，并且定子梳齿布置在与不平衡证明块的端部相邻的定子104和106上。然后根据所应用的再平衡力来确定加速度的大小。

10. 发明专利

JP2015021971A 変調波形を使用したＭＥＭＳパラメータ識別审中-公开
标题翻译：使用调制波形的MEMS参数识别
公开(公告)号：JP2015021971A
公开(公告)日：2015-02-02
申请号：JP2014145955
申请日：2014-07-16
申请人：フリースケールセミコンダクターインコーポレイテッド , Freescale Semiconductor Inc , フリースケールセミコンダクターインコーポレイテッド
发明人： RAIMONDO P SESSEGO , TEHMOOR M DAR , BRUNO J DEBEURRE
IPC分类号： G01P21/00 , G01P15/125
CPC分类号： B81B3/0021 , G01P15/125 , G01P21/00 , G01P2015/0834
摘要：【課題】MEMSセンサを利用するシステムに様々な刺激を加える物理的試験は高価かつ手間である。外部から物理的な力を加えることなく、MEMSデバイスパラメータの電気的測定を行うためのシステムおよび方法が必要とされる。【解決手段】電磁信号に応答して運動可能に構成されている可動機械要素と、電磁出力信号を提供するように構成されているセンスコンタクトとを備え、MEMSセンサと、MEMSセンサの可動機械要素と電気的に通信しており、少なくとも2つの発振周波数を含む電磁入力信号をMEMSセンサの可動機械要素に提供するように構成されている制御回路と、MEMSセンサのセンスコンタクトおよび制御回路と電気的に通信しており、可動機械要素の運動に対応する電磁出力信号を復調し、制御回路に復調信号を提供するように構成されている復調回路とを備えるシステムを提供する。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于电气确定MEMS器件参数的系统和方法，而不施加来自外部的物理力，即，不需要使用MEMS传感器的系统对使用各种刺激的昂贵和耗时的物理测试进行各种刺激。解决方案：A 系统包括：MEMS传感器，其包括被配置为可响应于电磁信号而可移动的可移动机械元件，并且包括被配置为提供电磁输出信号的感测触点; 控制电路，与MEMS传感器的可移动机械元件电连通，并且被配置为向MEMS传感器的可移动机械元件提供包括至少两个振荡频率的电磁输入信号; 以及与MEMS传感器和控制电路的感测触点电连通的解调电路，并且被配置为解调对应于可移动机械元件的运动的电磁输出信号，并向控制电路提供解调信号。

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