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    • 4. 发明专利
    • How to reduce the interference of the gas discharge laser of output light and equipment
    • JP2008505495A
    • 2008-02-21
    • JP2007519267
    • 2005-06-17
    • サイマー インコーポレイテッド
    • スコット ティー スミスロバート ジェイ ラファック
    • H01S3/10G01J1/42G01J3/02G01J3/12G01J3/26G01J9/02G02B5/04G02B5/28G02B27/48G03F7/20H01L21/027H01S3/00H01S3/08H01S3/22
    • G01J3/02G01J1/4257G01J3/0205G01J3/027G01J3/0291G01J3/0297G01J3/1256G01J3/26G01J9/02G01J2009/0249G01J2009/0257G02B5/04G02B5/284G02B27/48G03F7/70025G03F7/70583H01S3/005
    • 【課題】利用ツールへの光源としての送出のために出力レーザ光パルスを含む出力レーザビームをガス放電レーザで生成する方法及び装置を提供する。
      【解決手段】ビーム経路とビーム経路におけるビームホモジナイザーとを含むことができる利用ツールに対する光源として送出するための出力レーザ光パルスを含む出力レーザビームをガス放電レーザで生成する方法及び装置。 ビームホモジナイザーは、空間的干渉セル位置移動機器を含むことができる少なくとも1つのビーム像インバータ又は空間回転子を含むことができる。 ホモジナイザーは、ソースビームの時間的干渉長さよりも長いが、それとほぼ同じ遅延である遅延経路を含むことができる。 ホモジナイザーは、部分反射コーティングを各々の相互接合面に有する一対の相互接合ダブプリズム、ソースビームに面する斜辺面と全反射する隣接する側面とを含む直角三角形プリズム、又はソースビームに面する面と全反射する隣接する側面とを有する二等辺三角形プリズム、又はこれらの組合せを含むことができ、これらは、ソースビーム多重交替反転像作成機構として機能することができる。 ビーム経路は、数十フェムトメートル以内の精度で500フェムトメートル未満の範囲の出力レーザ光を含む出力レーザビームの帯域幅を測定する帯域幅の一部とすることができる。 ホモジナイザーは、エッチングされてもよいグランドグラス拡散器とすることができる回転拡散器を含むことができる。 波長計はまた、拡散光を平行化するビーム経路内のコリメータと、エタロンに入射する平行光に基づいて出力を作成する共焦点エタロンと、共焦点エタロンの出力を検出する検出器とを含むことができ、また、共焦点エタロンにわたって平行光を走査するか又は平行光にわたってエタロンを走査することができる、共焦点エタロンに入射する平行光の入射角を走査する走査機構を含むこともでき、かつ音響光学スキャナを含むことができる。 共焦点エタロンは、測定されているビームのE59幅にほぼ等しい自由スペクトル領域を有することができる。 検出器は、共焦点エタロンの出力の強度パターンを検出する光電子増倍管を含むことができる。
      【選択図】図4