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1. 发明专利

JP2018536187A 近接センサ、リソグラフィ装置、およびデバイス製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2018536187A
公开(公告)日：2018-12-06
申请号：JP2018519747
申请日：2016-10-25
申请人：エーエスエムエルネザーランズビー.ブイ.
发明人：グアン,ティアナン , ゼクリ,ジョセフ,エイド,エスタファノウス
IPC分类号： G01B11/00 , H01L21/68 , G03F7/20
CPC分类号： G01B13/12 , G01L11/02 , G03F9/7057
摘要：測定対象物に向けて第一ガス流を出力するように構成された測定出口を有する測定ガス流路と、測定対象物に向かう第一ガス流の圧力と基準圧力とを比較するための光学式圧力センサと、を含み、光学式圧力センサが、測定流路に流体接続された第一光キャビティと、基準圧力に流体接続された第二光キャビティと、を含み、光キャビティが、電磁放射を受け取って反射電磁放射を出力するように構成され、光学式圧力センサが、第一光キャビティからの反射電磁放射を第二光キャビティからの反射電磁放射と組み合わせ、組み合わされた電磁放射に基づいて、測定対象物に向かう第一ガス流の圧力と基準圧力との圧力差を求め、圧力差に基づいて、測定出口と測定対象物との間の距離を求めるように更に構成される、ガスゲージ近接センサについて説明する。【代表図】図5

2. 发明专利

JP6297064B2 非接触式圧力測定用光学センサ有权
公开(公告)号：JP6297064B2
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：JP2015555696
申请日：2014-01-30
申请人：レーザーポイントエッセ.エルレ.エルレ. , LASER POINT S.R.L.
发明人：ブリンチオッティ、アンドレア , チビネット、ルチオ
IPC分类号： G01L7/08 , G01L11/02
CPC分类号： G01L7/086 , G01L11/02

3. 发明专利

JP6170514B2 光圧力センサ有权
公开(公告)号：JP6170514B2
公开(公告)日：2017-07-26
申请号：JP2014561511
申请日：2013-03-13
申请人：オクセンシズリミテッド
发明人：ペヒシュテット、ラルフ−ディーター , マイヤール、ファブリスエフ・エム・
IPC分类号： G01L11/02 , G01L19/04
CPC分类号： G01L11/02 , G01D3/028 , G01J3/0286 , G01J3/26 , G01L19/04 , G01L27/002 , G01L9/0079 , G01J2009/0257 , G01L9/0092

4. 发明专利

JP2014126398A Carbon dioxide partial pressure measuring apparatus, and cell unit for the same 有权
标题翻译：二氧化碳二氧化碳部分压力测量装置及其细胞单元
公开(公告)号：JP2014126398A
公开(公告)日：2014-07-07
申请号：JP2012281553
申请日：2012-12-25
申请人： Japan Agengy For Marine-Earth Science & Technology , 独立行政法人海洋研究開発機構 , Kimoto Denshi Kogyo Kk , 紀本電子工業株式会社
发明人： NAKANO YOSHIYUKI , KIMOTO HIDESHI , SUZUE TAKAHIKO , MURATA SHUJI
IPC分类号： G01N21/78 , G01N31/00
CPC分类号： G01N21/78 , G01L11/02 , G01N21/0317 , G01N21/3504 , G01N21/80 , G01N33/182 , G01N2201/0218 , G01N2201/062 , G01N2201/0627
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a carbon dioxide partial pressure measuring apparatus capable of accurately measuring carbon dioxide partial pressure even when it is disposed in an environment such a deep sea having a high ambient hydraulic pressure.SOLUTION: A through hole 33c penetrating a main body 33 is formed in the main body 33 connected to a light source unit 27 and light receiving element unit 29. An amplifier substrate 71 of the light receiving element unit 29 is electrically connected to a CPU substrate 63 of the light source unit 27, and a signal line 31 for transmitting a detection result amplified by the amplifier substrate 71 is disposed through the through hole 33c formed in the main body 33.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种二氧化碳分压测量装置，即使将其设置在具有高周围水压的深海的环境中也能够精确地测量二氧化碳分压。解决方案：穿透主体的通孔33c 主体33形成在连接到光源单元27和光接收元件单元29的主体33中。光接收元件单元29的放大器基板71电连接到光源单元27的CPU基板63，并且用于发送由放大器基板71放大的检测结果的信号线31通过形成在主体33中的通孔33c设置。

5. 发明专利

JP4619507B2 Optical fiber coupling device, wavelength tunable device, pressure sensor, an acceleration sensor and an optical device 有权
公开(公告)号：JP4619507B2
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：JP2000292713
申请日：2000-09-26
申请人：浜松ホトニクス株式会社
发明人：研策伊藤 , 淳平山中 , 義浩瀧口 , 正臣高坂
IPC分类号： G02B26/00 , G01L1/24 , G01L11/02 , G01P15/03 , G01P15/093 , G02B6/12 , G02B6/122 , G02B6/26 , G02B6/34 , G02B6/38
CPC分类号： G02B6/1225 , B82Y20/00 , G01L1/24 , G01L11/02 , G01P15/093 , G02B6/264 , G02B6/3845

6. 发明专利

JP4290338B2 Planar transducer for biomedical pressure measurement 失效
公开(公告)号：JP4290338B2
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：JP2000557747
申请日：1998-07-03
申请人：アバティスメディカルテクノロジーズリミテッド
发明人：スティーブンオサリバン， , ヴィンセントキャセイ， , ロナンナグレ，
IPC分类号： G01L9/00 , A61B5/022 , G01L11/02
CPC分类号： A61B5/02233 , G01L9/0007 , G01L11/02

7. 发明专利

JPS61124834A Light applied sensor 失效
标题翻译：光应用传感器
公开(公告)号：JPS61124834A
公开(公告)日：1986-06-12
申请号：JP24767884
申请日：1984-11-21
申请人： Sharp Corp
发明人： WATANABE MASANORI
IPC分类号： G02F1/01 , G01D5/34 , G01H9/00 , G01L1/24 , G01L11/02 , G01R15/24 , G01R33/032 , G02B27/28
CPC分类号： G01L11/02 , G01D5/344 , G01R15/24
摘要： PURPOSE: To attain to enhance the accuracy and miniaturization of a light applied sensor, by setting phase bias by utilizing two total reflections constituted so as to reverse a light path by 180°C.
CONSTITUTION: The beam emitted from a light emitting element 21 is split into two by a light receiving element 23 while the other one enters an electrooptical material 27 through a fiber 24, a rod lens 25 and a polarizer 26. At this time, the phase between two polarized beams crossed at right angles is modulated by external voltage. The beam further receives phase bias by an orthogonal prism 28 and a beam path is changed by 180° and oppositely advances in the order of a material 27, the polarizer 26, the lens 25 and the fiber 24 to reach a light receiving element 29 through the beam splitter 22. The change in the voltage applied to the material 27 is observed as the change in the quantity of beam reaching the light receiving element 29.
COPYRIGHT: (C)1986,JPO&Japio
摘要翻译：目的：为了提高光应用传感器的精度和小型化，通过利用两个全反射来设置相位偏置，以使光路反转180度。构成：从发光元件21发射的光束被光接收元件23分成两部分，而另一个光束通过光纤24，棒状透镜25和偏振片26进入电光材料27.此时，相位在两个正交交叉的偏振光束之间由外部电压调制。光束还通过正交棱镜28接收相位偏置，并且光束路径改变180度。并且通过材料27，偏振器26，透镜25和光纤24的顺序相反地前进，以通过分束器22到达光接收元件29.可以观察到施加到材料27的电压的变化作为变化在到达光接收元件29的光束的数量。

8. 发明专利

JPS5753637A Monitoring device for vacuum degree of vacuum electric apparatus 失效
标题翻译：真空电器真空度监控装置
公开(公告)号：JPS5753637A
公开(公告)日：1982-03-30
申请号：JP12964080
申请日：1980-09-18
申请人： Meidensha Electric Mfg Co Ltd
发明人： FUKUSHIMA TOMIO
IPC分类号： G01L21/00 , G01L11/02 , G01M3/38 , G01M3/40 , G08C23/04 , H01H33/66
CPC分类号： G01L11/02
摘要： PURPOSE:To discriminate the propriety of a vacuum degree in a vacuum container in safety and with high precision by fitting a passive part, consisting of an electrooptic effect element and a prism, to the vacuum container wherein an electric field varies with the vacuum degree. CONSTITUTION:A passive part 1 has an electrooptic effect element 3 and a rectangular prism 4 and is fitted detachably to the outside surface of the vacuum container of a vacuum electric apparatus wherein an electric field varies with a vacuum degree. Light arriving from a light source 5 through a polarizer 6 is made incident to the electrooptical effect element 3 to vary the angle of its plane of polarization by the electric field E varying with the vacuum degree, and the light enters the prism 4, where it is reflected in the incident direction. The angle of the plane of polarization of the emitted light is varied again by the electrooptic effect element 3 and the light is made incident to the analyzer 7 of a monitoring part 2. The polarized light made incident to the analyzer 7 strikes a photoelectric conversion part 8 to discriminate the vacuum degree by a discrimination part 9 by using variations of an electric signal at the photoelectric conversion part 8.
摘要翻译：目的：为了通过将由电光效应元件和棱镜组成的被动部件与电真空度随真空度而变化的真空容器配合，以安全且高精度的方式来区分真空容器内的真空度的合适性。构成：被动部件1具有电光效应元件3和矩形棱镜4，并且可拆卸地装配到真空电器的真空容器的外表面，其中电场随真空度而变化。从光源5通过偏振器6到达的光入射到电光效应元件3，以随着真空度而变化的电场E改变其偏振面的角度，并且光进入棱镜4，在那里反映在事件方向。发光的偏振面的角度由电光效应元件3再次变化，光入射到监视部2的分析器7.入射到分析器7的偏振光照射到光电转换部 8，通过使用光电转换部分8处的电信号的变化来鉴别部分9的真空度。

9. 发明专利

JP5936738B1 計測システム及び計測方法有权
公开(公告)号：JP5936738B1
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：JP2015078376
申请日：2015-04-07
申请人：株式会社カイジョー
发明人：杉山晋
IPC分类号： G01L11/02 , G02B6/02 , G01K11/32
CPC分类号： G01K11/32 , G01L11/02 , G02B6/02
摘要：【課題】ファイバブラッググレーティングセンサが出力する波長変化のデータに基づいて圧力と温度とのデータを算出して取得することを可能にする。【解決手段】光源からの入射光を入力すると外部圧力・外部温度に応じた所定波長の反射光を出力するFBG部を有し、当該反射光に基づく反射光信号を出力するFBGセンサと、前記FBGセンサから反射光信号を収集し、収集した複数の反射光信号に対応する複数の波長値データを作成するとともに、当該複数の波長値データから構成されて前記反射光の波長の経時的な変化を示す波形データを作成する波長分析手段と、前記波長値データに基づいて外部に生じた温度変化にかかる温度値データを算出する温度値データ算出手段と、前記波形データに基づいて外部に生じた圧力変化にかかる圧力値データを算出する圧力値データ算出手段と、を有することを特徴とする。【選択図】図1

10. 发明专利

JP5847536B2 密封容器の内圧検査装置および内圧検査方法有权
标题翻译：压力测试装置和用于密封容器的内部压力的检查方法
公开(公告)号：JP5847536B2
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：JP2011236610
申请日：2011-10-28
申请人：大和製罐株式会社
发明人：伊集院太一 , 尾作則彦 , 高富哲也
IPC分类号： G01M3/36 , G01L11/00
CPC分类号： G01L11/02 , G01M3/36 , G01M3/38 , G01L19/0007 , G01L19/0092

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