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1. 发明专利

JP2005521038A High-resolution spectra measurement device 审中-公开
公开(公告)号：JP2005521038A
公开(公告)日：2005-07-14
申请号：JP2003576905
申请日：2003-01-15
申请人：サイマー, インコーポレイテッドCymer, Inc.
发明人：アレキサンダーアイエルショフ , リチャードエルサンドストローム , スコットティースミス , ウィリアムエヌパートロ , イゴアーヴイフォーメンコフ , ダニエルジェイダブリュブラウン
IPC分类号： G01J3/26 , G01J1/42 , G01J3/12 , G01J3/22 , G01J3/36 , G01J9/00 , G01J9/02 , G21K1/06 , H01S3/134 , H01S3/137
CPC分类号： G01J3/26 , G01J1/4257 , G01J3/02 , G01J3/0205 , G01J3/12 , G01J3/1804 , G01J3/22 , G01J9/02
摘要：高分解能スペクトル測定装置である。好ましい実施形態は、紫外範囲の非常に狭いスリット機能を与え、集積回路リソグラフィに使用される狭帯域エキシマレーザのバンド幅を測定するのに非常に有用である。レーザからの光が拡散器に合焦され、拡散器から出た拡散光がエタロンを照射する。エタロンから出た光の一部が、エタロンの縞パターンで配置されたスリットへ集められ、向けられる。スリットを通過した光が平行にされて、平行にされた光が、波長に従って光を分散させるほぼリトロー構成で配置された格子を照射する。選択されたエタロン縞に対応する波長を表す分散された光の一部が、第２のスリットを通過して、光検出器によってモニタされる。エタロン及び格子が同じ正確な波長にチューニングされる場合、スリット機能は、約０．０３４ｐｍ（ＦＷＨＭ）及び約０．０９１ｐｍ（９５パーセント積分）のような非常に狭いものとして定められる。レーザビームのバンド幅は、レーザビームの一部を絶縁体に向け、モノクロメータのスリット波長を含む範囲にわたるレーザ波長を走査することによって、非常に正確に測定することができる。第２の実施形態において、第２のスリット及び光検出器がフォトダイオードアレイと取り替えられ、レーザビームのバンド幅は、フォトダイオードアレイからの走査データの組を分析することによって決められる。代替的に、レーザ波長は、格子分光計のスペクトル範囲の中央付近に固定することができ、エタロンを走査することができる。

2. 发明专利

JP2008505495A How to reduce the interference of the gas discharge laser of output light and equipment 有权
公开(公告)号：JP2008505495A
公开(公告)日：2008-02-21
申请号：JP2007519267
申请日：2005-06-17
申请人：サイマーインコーポレイテッド
发明人：スコットティースミス , ロバートジェイラファック
IPC分类号： H01S3/10 , G01J1/42 , G01J3/02 , G01J3/12 , G01J3/26 , G01J9/02 , G02B5/04 , G02B5/28 , G02B27/48 , G03F7/20 , H01L21/027 , H01S3/00 , H01S3/08 , H01S3/22
CPC分类号： G01J3/02 , G01J1/4257 , G01J3/0205 , G01J3/027 , G01J3/0291 , G01J3/0297 , G01J3/1256 , G01J3/26 , G01J9/02 , G01J2009/0249 , G01J2009/0257 , G02B5/04 , G02B5/284 , G02B27/48 , G03F7/70025 , G03F7/70583 , H01S3/005
摘要：【課題】利用ツールへの光源としての送出のために出力レーザ光パルスを含む出力レーザビームをガス放電レーザで生成する方法及び装置を提供する。
【解決手段】ビーム経路とビーム経路におけるビームホモジナイザーとを含むことができる利用ツールに対する光源として送出するための出力レーザ光パルスを含む出力レーザビームをガス放電レーザで生成する方法及び装置。ビームホモジナイザーは、空間的干渉セル位置移動機器を含むことができる少なくとも１つのビーム像インバータ又は空間回転子を含むことができる。ホモジナイザーは、ソースビームの時間的干渉長さよりも長いが、それとほぼ同じ遅延である遅延経路を含むことができる。ホモジナイザーは、部分反射コーティングを各々の相互接合面に有する一対の相互接合ダブプリズム、ソースビームに面する斜辺面と全反射する隣接する側面とを含む直角三角形プリズム、又はソースビームに面する面と全反射する隣接する側面とを有する二等辺三角形プリズム、又はこれらの組合せを含むことができ、これらは、ソースビーム多重交替反転像作成機構として機能することができる。ビーム経路は、数十フェムトメートル以内の精度で５００フェムトメートル未満の範囲の出力レーザ光を含む出力レーザビームの帯域幅を測定する帯域幅の一部とすることができる。ホモジナイザーは、エッチングされてもよいグランドグラス拡散器とすることができる回転拡散器を含むことができる。波長計はまた、拡散光を平行化するビーム経路内のコリメータと、エタロンに入射する平行光に基づいて出力を作成する共焦点エタロンと、共焦点エタロンの出力を検出する検出器とを含むことができ、また、共焦点エタロンにわたって平行光を走査するか又は平行光にわたってエタロンを走査することができる、共焦点エタロンに入射する平行光の入射角を走査する走査機構を含むこともでき、かつ音響光学スキャナを含むことができる。共焦点エタロンは、測定されているビームのＥ５９幅にほぼ等しい自由スペクトル領域を有することができる。検出器は、共焦点エタロンの出力の強度パターンを検出する光電子増倍管を含むことができる。
【選択図】図４

3. 发明专利

JP2004518954A High resolution etalon - grating monochromator spectrometer 审中-公开
公开(公告)号：JP2004518954A
公开(公告)日：2004-06-24
申请号：JP2002561909
申请日：2002-01-28
申请人：サイマー, インコーポレイテッドCymer, Inc.
发明人：アレクサンダーアイアーショフ , リチャードエルサンドストロム , スコットティースミス , イゴーヴィーフォメンコフ , ダニエルジェイダブリューブラウン
IPC分类号： G01J3/26 , G01J1/42 , G01J3/12 , G01J3/22 , G01J9/02 , G21K1/06 , H01S3/134 , H01S3/137
CPC分类号： G01J3/12 , G01J1/4257 , G01J3/22 , G01J3/26 , G01J9/02
摘要：高分解能エタロン−格子型分光器又はモノクロメータである。好ましい実施形態は、紫外範囲の非常に狭いスリット機能を与え、集積回路平板印刷法に用いられる狭帯域エキシマレーザのバンド幅測定に非常に有用である。レーザからの光が拡散器の中に合焦され、拡散器から出る拡散された光がエタロンを照射する。エタロンから出た光の一部が、エタロンの縞パターンで配置されたスリットの中に集められ、及び導かれる。スリットを通過する光が平行化され、該平行化された光が、波長に従って光を分散させるほぼリトロー構成で配置された格子を照射する。選択されたエタロン縞に対応する波長を表わす分散された光の一部が、第２スリットを通過し、光検出器によってモニタリングされる。エタロンと格子が同じ正確な波長に調整されるときには、スリット機能は、約０．０３４ｐｍ（ＦＷＨＭ）及び約０．０９１ｐｍ（９５パーセント積分）のように非常に狭いものとして定められる。エタロンと格子は、窒素又はヘリウムのようなガスが充満された漏れの無い容器の中に収容される。分光器の構成においては、分光器の波長スキャンは、スキャン中の容器内のガス圧を変化させることによって行われる。モノクロメータ構成においては、レーザビームのバンド幅は、レーザビームの一部をモノクロメータの中に導き、モノクロメータスリット波長を含む範囲にわたるレーザ波長をスキャンすることによって、非常に正確に測定することができる。

5. 发明专利

JP4791368B2 Laser output light pulse stretcher 有权
公开(公告)号：JP4791368B2
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：JP2006539592
申请日：2004-11-01
申请人：サイマーインコーポレイテッド
发明人：アレクサンダーアイアーショフ , スコットティースミス , アレクセイルカシェフ
IPC分类号： H01S3/10 , H01S3/00 , H01S3/225
CPC分类号： G03F7/7055 , H01S3/0057 , H01S3/225

6. 发明专利

JP2008546188A Systems and methods for implementing the interaction between the shaped laser and the film deposited on the substrate as a line beam 有权
公开(公告)号：JP2008546188A
公开(公告)日：2008-12-18
申请号：JP2008513702
申请日：2006-05-25
申请人：サイマーインコーポレイテッド
发明人：スコットティースミス , パラッシュピーダス , ジョセディーデイヴィス , ウィリアムエヌパートロ , トーマスホフマン
IPC分类号： H01L21/268 , H01L21/20 , H01L21/336 , H01L29/786
摘要：【課題】ラインビームとして成形されたレーザとの相互作用に対して膜を位置決めし、かつ例えばアモルファスシリコン膜を溶融させて例えば薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を製造するために膜を結晶化するように成形ラインビームのパラメータを制御するためのシステム及び方法を提供する。
【解決手段】基板上に堆積されたアモルファスシリコンのような膜を選択的に溶融させるためのレーザ結晶化装置及び方法。装置は、膜を溶融させる際に使用される伸張レーザパルスを生成するための光学システムを含むことができる。本発明の実施形態の更に別の態様では、レーザパルスを伸張するためのシステム及び方法を提供する。別の態様では、ビーム経路に沿ったある位置でパルスレーザビーム（伸張又は非伸張）の発散を予め決められた範囲に維持するためのシステムを提供する。別の態様では、膜と成形ラインビームとの相互作用中に、膜でエネルギ密度を予め決められた範囲に維持するためのシステムを提供することができる。
【選択図】図６

7. 发明专利

JP2007511908A Laser output light pulse stretcher 有权
公开(公告)号：JP2007511908A
公开(公告)日：2007-05-10
申请号：JP2006539592
申请日：2004-11-01
申请人：サイマーインコーポレイテッド
发明人：アレクサンダーアイアーショフ , スコットティースミス , アレクセイルカシェフ
IPC分类号： H01S3/105 , H01S3/00 , H01S3/081 , H01S3/225
CPC分类号： G03F7/7055 , H01S3/0057 , H01S3/225
摘要：【課題】集積回路リソグラフィのような用途において利用される高ピークパワー短パルス持続時間ガス放電レーザシステム、例えばエキシマ又は他のフッ素ガス放電レーザ、例えばフッ素分子ガス放電レーザシステムを提供する。
【解決手段】高ピークパワー短パルス持続時間ガス放電レーザ出力パルスを供給するための装置及び方法が開示され、これは、パルスストレッチャを含むことができ、これは、出力レーザパルスの一部分を光遅延経路を有する光遅延内に迂回させるレーザ出力パルス光遅延開始光学機器と、光遅延の出力をレーザ出力パルス光遅延開始光学機器に送出するように直列に整列した複数の共焦点共振器とを含むことができる。複数の共焦点共振器は、１２パス４ミラー構成を構成する４つの共焦点共振器を含む。複数の共焦点共振器の各々は、曲率半径を有する第１の凹球面ミラーと、同じ曲率半径を有し、その曲率半径だけ離間している第２の凹球面ミラーとを含むことができる。パルスストレッチャは、第１の共焦点共振器セルを含むことができ、この第１の共焦点共振器セルは、第１の凹球面ミラーの面上の第１の点での出力レーザパルスの部分を含むレーザ出力パルス光遅延開始光学機器からの入力ビームを受光して第１の反射ビームを発生させる曲率半径を有する第１の凹球面ミラーと、同じ曲率半径を有してその曲率半径だけ第１の凹球面ミラーから離間し、第２の凹球面ミラーの面上の第１の点で第１の反射ビームを受光して、第１の凹球面ミラーの面上の第２の点に入射する第２の反射ビームを発生させる第２の凹球面ミラーとを含むことができ、第２の反射ビームは、第１の凹球面ミラーにより第１のミラー上の第２の点から反射されて第１の共焦点共振器セルからの出力ビームを形成し、この第１の共焦点共振器セルは、更に、第１の共焦点共振器セルの出力ビームを第２の共焦点共振器セルの入力ビームとして受光する第２の共焦点共振器セルを含むことができる。この装置及び方法は、ビーム送出ユニットの一部を形成することができ、かつ集積回路リソグラフィ光源又は集積回路リソグラフィツールの一部とすることもできる。この装置及び方法は、複数、例えば２つのパルスストレッチャを直列に含むことができ、かつ空間コヒーレンス測定法を含むこともできる。
【選択図】図１

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