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1. 发明专利

JPWO2017130251A1 厚み計測方法及び厚み計測装置、並びに欠陥検出方法及び欠陥検出装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2017130251A1
公开(公告)日：2018-12-13
申请号：JP2016004734
申请日：2016-10-27
申请人：パナソニックIPマネジメント株式会社
发明人：入江庸介 , 井上裕嗣 , 徳永翔吾 , 黒川悠 , 新岡琢也
IPC分类号： G01J5/48 , G01B21/08 , G01N25/72
CPC分类号： G01B21/08 , G01B21/085 , G01J5/48 , G01N21/88 , G01N25/72
摘要：欠陥検出方法は、検査対象物の内部の欠陥の深さを計測する欠陥検出方法である。この欠陥検出方法は、加熱装置により検査対象物の表面を加熱するステップと、撮影装置により所定時間間隔において、加熱された検査対象物の表面を撮影して検査対象物の表面の温度に応じた熱画像データを生成するステップと、熱画像データに基づいて、検査対象物の表面の温度の経時変化を示す温度曲線を求めるステップS150と、検査対象物の欠陥の深さに関連したパラメータを含む熱伝導方程式から得られる理論式を温度曲線にフィッティングして、計測対象物の表面の温度の経時変化を示す理論曲線を求めるステップS151と、理論曲線に対応する理論式に含まれるパラメータの値に基づいて、検査対象物の欠陥の深さを求めるステップS152とを備える。

2. 发明专利

JP2017534553A ガラスリボンの厚さウェッジを制御する方法审中-公开
公开(公告)号：JP2017534553A
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：JP2017515943
申请日：2015-09-18
申请人：コーニングインコーポレイテッド , コーニングインコーポレイテッド
发明人：ハワードアーレンズ，ジェフリー , ハワードアーレンズ，ジェフリー
IPC分类号： C03B17/06
CPC分类号： C03B17/064 , G01B21/08 , G05B1/00 , G05D23/1917
摘要：ガラスリボンにおけるウェッジ変動を制御する方法は、成形容器の収束する側面上に溶融ガラスを流す工程、成形容器のルートからガラスリボンを延伸する工程、ガラスリボンの幅の少なくとも一部にわたってウェッジ変動を測定する工程、測定されたウェッジ変動に基づいて成形容器のチルト及び成形容器の堰の近くの温度を調整してガラスリボンの幅にわたるウェッジ変動を低減させる工程、及び、ガラスリボンの幅の一部にわたってウェッジ変動を再測定する工程を含む。

3. 发明专利

JP2017190950A 長尺シート材の厚み計測方法および厚み計測システム审中-公开
公开(公告)号：JP2017190950A
公开(公告)日：2017-10-19
申请号：JP2016078675
申请日：2016-04-11
申请人：株式会社PSM International
发明人：設楽久敬
IPC分类号： G01B11/08 , D21F7/06 , G01B21/08
CPC分类号： D21F7/06 , G01B11/08 , G01B21/08
摘要：【課題】流れ方向成分と幅方向成分とを分離して紙の厚みを計測し、従来の放射線を使用した坪量計を必要としない、非スキャン、非フィルタリング方式で、小さな抄紙機にも適用が可能であり経済効果の高い長尺材の厚み計測方法および厚み計測システムを提供する。【解決手段】長尺シート材の厚み計測方法は、リールドラム12を押し付けられながらリールスプール16に巻き取られる長尺シート材Wにつき、その厚みを計測する厚み計測方法であって、長尺シート材Wが形成する巻取ロールRのロール径の増加量を非接触で計測するとともに、リールスプール16の回転数を計測し、計測したロール径の増加量と回転数とを用いた演算により長尺シート材の厚みを求める。【選択図】図5

4. 发明专利

JP2017122441A 多重壁タービン翼形部鋳造のための中央プレナム支持体审中-公开
公开(公告)号：JP2017122441A
公开(公告)日：2017-07-13
申请号：JP2016240001
申请日：2016-12-12
申请人：ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ
发明人：グレゴリー・トーマス・フォスター , デイヴィッド・ウェイン・ウェーバー , ミシェル・ジェシカ・イデュエイト , ブレンドン・ジェームズ・レアリー , ジョセフ・アンソニー・ウェーバー
IPC分类号： F01D25/00 , F01D5/18 , F01D9/02 , B22C9/24 , B22C9/10 , F02C7/00
CPC分类号： B22C9/103 , B22C9/108 , B22C9/24 , F01D5/187 , G01B17/02 , G01B21/08 , F05D2220/32 , F05D2230/21 , F05D2260/20
摘要：【課題】多重壁タービン翼形部鋳造のための中央プレナム支持体を提供する。【解決手段】タービン翼形部鋳造のためのコア10は、中央プレナムセクション24と、複数の外側通路セクション26とを含み、中央プレナムセクションは、中央プレナムからコアの外側輪郭まで外向きに延びる少なくとも1つのボス34を含む。鋳造のためのコアを形成する方法であって、第1のセッターブロック上にコアの第1の側を配置するステップであって、コアは、中央プレナムセクションと、複数の外側通路セクションとを含み、中央プレナムセクションは、中央プレナムから前記コアの外側輪郭まで外向きに延びる少なくとも1つのボスを含む、ステップと、コアの第2の側に対して第2のセッターブロックを閉鎖するステップと、コアを加熱するステップと、を含む、方法。【選択図】図3

5. 发明专利

JP5543352B2 Arrangement and method of measuring warpage wafer warpage measurement 有权
公开(公告)号：JP5543352B2
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：JP2010527234
申请日：2008-09-29
申请人：ラムリサーチコーポレーション
发明人：ディー．，３世ベイリー，アンドリュー
IPC分类号： H01L21/66 , H01L21/3065
CPC分类号： H01L22/12 , G01B21/08 , G01B21/20 , G01B21/30 , H01L22/20

6. 发明专利

JP2013103844A Method for manufacturing thin plate glass and method for manufacturing glass substrate 有权
标题翻译：制造薄板玻璃的方法和制造玻璃基板的方法
公开(公告)号：JP2013103844A
公开(公告)日：2013-05-30
申请号：JP2011246809
申请日：2011-11-10
申请人： Furukawa Electric Co Ltd:The , 古河電気工業株式会社
发明人： NAKAO GOSUKE , ASAI TOSHIYUKI
IPC分类号： C03B23/037
CPC分类号： C03B23/037 , C03B21/00 , C03B21/04 , G01B5/00 , G01B5/06 , G01B21/08
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To manufacture a thin plate glass or a glass substrate which is excellent in board thickness uniformity in the case of segmenting a glass base material from a float board manufactured by a float process, and heating and drawing the glass base material by a redraw method.SOLUTION: In the method for manufacturing a thin plate glass, a glass base material is segmented from a float board manufactured by making molten glass flow by a float method at an angle of 90 degree in a longitudinal direction to a flowing direction of a float, and the glass base material is moved in the longitudinal direction, and heated and softened in a heating furnace, and drawn at a predetermined thickness to form a redraw strip by a redraw method so that a thin plate glass can be manufactured. A feed speed or a drawing speed is feedforward controlled on the basis of the board thickness direction in the longitudinal direction of the glass base material in the case of molding the redraw strip. The correction value of the drawing speed is calculated on the basis of the strip thickness distribution in the longitudinal direction of the molded redraw strip, and feeded back and applied to the subsequent drawing speed of the glass base material.
摘要翻译：要解决的问题：制造在通过浮法制造的浮法板分割玻璃基材的情况下板厚均匀性优异的薄板玻璃或玻璃基板，以及加热和拉拔玻璃基材采用重画法。解决方案：在制造薄板玻璃的方法中，将玻璃基材从通过浮法使熔融玻璃流沿纵向方向成90度角的流动方向从浮法板分割成浮子，玻璃基材沿长度方向移动，在加热炉中加热软化，并以预定厚度拉伸，通过重画法形成再拉拔条，从而可以制造薄板玻璃。在成型重画条的情况下，基于玻璃基材的纵向的板厚度方向来控制进给速度或拉伸速度。基于成型的重画条的长度方向的条带厚度分布来计算拉拔速度的修正值，并且将其反馈并应用到玻璃基材的随后的拉拔速度。版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

8. 发明专利

JP2011504290A Arrangement and method of measuring warpage wafer warpage measurement 有权
公开(公告)号：JP2011504290A
公开(公告)日：2011-02-03
申请号：JP2010527234
申请日：2008-09-29
申请人：ラムリサーチコーポレーション
发明人：ディー．，３世ベイリー，アンドリュー
IPC分类号： H01L21/66 , G01B21/20 , H01L21/3065
CPC分类号： H01L22/12 , G01B21/08 , G01B21/20 , G01B21/30 , H01L22/20
摘要： Various embodiments describe a method of quantifying bow in a wafer. In one embodiment, the method includes measuring a first plurality of distances from a first sensor to a first surface of the wafer to calculate the bow in the wafer. The first sensor is positioned outside of a set of process modules of the plasma processing system. A determination is made whether the calculated bow of the wafer is within a pre-determined range. If the calculated bow of the wafer is within the pre-determined range, the wafer is moved into a process module of the set of process modules for processing and a recipe for processing the wafer is adjusted based on the calculated bow of the wafer. If the calculated bow of the wafer is outside the pre-determined range, the wafer is removed from the plasma processing system. Other methods are described as well.

9. 发明专利

JP4384825B2 Film thickness calculation method of electrodeposition coating 有权
公开(公告)号：JP4384825B2
公开(公告)日：2009-12-16
申请号：JP2001129528
申请日：2001-04-26
申请人：三菱自動車工業株式会社 , 上村工業株式会社
发明人：眞司勝丸 , 崇和田 , 勝彦小原 , 清隆谷下澤
IPC分类号： C25D13/22 , C25D13/14 , C25D21/12 , G01B21/08
CPC分类号： G01B21/08 , C25D13/14 , C25D13/22 , C25D21/12

10. 发明专利

JP4330759B2 Film thickness, film quality prediction management system of the workpiece surface 有权
公开(公告)号：JP4330759B2
公开(公告)日：2009-09-16
申请号：JP2000108098
申请日：2000-04-10
申请人：株式会社東芝
发明人：昌行伊藤 , 国彦和田 , 一秀松本 , 雅士高橋 , 正弘齋藤
IPC分类号： B05B12/08 , G01B21/08 , B05C11/00 , B05D3/00
CPC分类号： G01B21/08

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