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1. 发明专利

JP6335397B2 研削盤有权
公开(公告)号：JP6335397B2
公开(公告)日：2018-06-06
申请号：JP2017543543
申请日：2016-09-29
申请人：株式会社東京精密
发明人：金澤雅喜 , 五十嵐健二
IPC分类号： B24B7/04 , B24B41/047 , B24B49/16 , B24B7/22 , H01L21/304 , B24B47/14
CPC分类号： B24B7/04 , B24B37/005 , B24B41/047 , B24B47/14 , B24B49/08 , B24B49/16 , H01L21/304

2. 发明专利

JP2018503524A キャリアディスク、かかるキャリアディスクを備えるシステム、及び床研削装置审中-公开
公开(公告)号：JP2018503524A
公开(公告)日：2018-02-08
申请号：JP2017538230
申请日：2016-01-19
申请人：エイチティーシースウェーデンエービー
发明人：アンドレアス、フォーゲルバーグ
IPC分类号： B24B7/10 , B24B23/02
CPC分类号： B24D7/18 , B24B7/186 , B24B41/047 , B24B55/02 , B24B55/06 , B24D7/066 , B24D7/10
摘要：本開示は、床研削装置において少なくとも1つの切断、研削又は研磨要素(23)を保持するためのキャリアディスク(1、1’、1”)を提供する。前記キャリアディスク(1、1’、1”)は、前記研削要素(23)が配設される下方露出面(110)を有するキャリア本体(11、12)と、前記キャリア本体(11、12)に形成された給気開口(18)と、前記キャリア本体(11、12)から軸方向に、且つ前記開口(18)と前記キャリア本体(11、12)の径方向外縁部(112)との間に延在する複数のフランジ(14a、14b、15、16)と、を備える。

3. 发明专利

JP2017525582A 追従性のある研磨パッド及び研磨モジュール审中-公开
公开(公告)号：JP2017525582A
公开(公告)日：2017-09-07
申请号：JP2017520873
申请日：2015-05-13
申请人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated , アプライドマテリアルズインコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated
发明人：チーハンチェン， , チーハンチェン， , ジェイグルサミー， , ジェイグルサミー， , スティーブンエム．ズニガ， , スティーブンエム．ズニガ，
IPC分类号： B24B37/005 , B24B37/12 , H01L21/304
CPC分类号： B24B41/047 , B24B37/10
摘要：研磨デバイスは、ハウジング、ハウジングに連結されたフレキシブルベース、及びフレキシブルベースの第一の側に配置された接触領域を含み、フレキシブルベースは、ハウジング及びフレキシブルベースの第二の側の内部に含まれる圧力に基づいて膨張及び収縮し、フレキシブルベースの表面積より小さい接触面積を、第一の側に形成する。【選択図】図2B

4. 实用新型

JP3171267U 研磨ホイールの位置調整機構失效
标题翻译：砂轮的位置调节机构
公开(公告)号：JP3171267U
公开(公告)日：2011-10-20
申请号：JP2011004723
申请日：2011-08-11
申请人：グリーンエナジーテクノロジーインク. , グリーンエナジーテクノロジーインク.
发明人：伯仲陳 , 智治中田 , 明欽王 , 智治中田 , 明欽王 , 伯仲陳
IPC分类号： B24D7/14 , B24D7/00
CPC分类号： B24B45/00 , B24B41/047
摘要：【課題】作業ステップを削減可能であり、研磨ホイールの位置を簡単に調整可能である研磨ホイールの位置調整機構を提供する。【解決手段】研磨ホイールの位置調整機構は、回転体10と、第1研磨ユニット13と、第2研磨ユニット14と、固定ナット17とを備える。回転体は、固定表面及び第1螺子部を含む。第1研磨ユニットは、第1研磨部、及び、固定表面に固定的に係合される固定部を含む。第2研磨ユニットは、第2螺子部と第2研磨部を含む。当該第2螺子部は、螺子式に回転体の第1螺子部に係合される。第2研磨部は、第1研磨部に対して、離隔していると共に異なる研磨密度を有する。固定ナットは、第1螺子部に螺子式に係合されると共に、第2研磨ユニットに対して軸方向に押圧する。これによって、粗研磨及び細研磨を1つの研磨工程で一緒に実行可能であり、且つ、2つの研磨ホイール間の間隙の調整を簡単に実施可能である。【選択図】図2
摘要翻译： A是能够减少工作步骤，以提供对磨轮的位置调节机构是容易砂轮的可调节的位置。砂轮的位置调节机构包括：旋转构件10，第一研磨部13，第2研磨单元14和固定螺母17。旋转体包括一个固定的表面和第一螺纹部。第一抛光单元包括：第一研磨部，和固定部接合固定地接合所述静止表面。第二抛光单元包括第二螺纹部和第二研磨部。所述第二螺纹部与在螺杆型的旋转体的第一螺纹部螺合。第二抛光单元具有第一研磨部中，不同的抛光密度与间隔开。固定螺母，具有接合在第一螺纹部螺杆型，被按压在轴向方向相对于所述第二抛光单元。因此，可以在一个单一的研磨工序一起执行粗磨和细磨，并且，可以很容易地被实现以调整两个砂轮之间的间隙。 .The

5. 发明专利

JP2011516289A Polishing system having a track 审中-公开
公开(公告)号：JP2011516289A
公开(公告)日：2011-05-26
申请号：JP2011504179
申请日：2009-04-09
申请人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated
发明人：アルペイイルマズ， , ラクシュマナンカルッピア， , アレン，エル．ダンブラ， , ジャガンランガラジャン，
IPC分类号： B24B37/04 , H01L21/304
CPC分类号： B24B37/04 , B24B41/047 , B24B45/003
摘要： Embodiments described herein relate to a track system in a polishing system. One embodiment described herein provides a track system configured to transfer polishing heads in a polishing system. The track system comprises a supporting frame, a track coupled to the supporting frame and defining a path along which the polishing heads are configured to move, and one or more carriages configured to carry at least one polishing head along the path defined by the track, wherein the one or more carriages are coupled to the track and independently movable along the track.

6. 发明专利

JP2004502311A Projection type gimbal point drive 审中-公开
公开(公告)号：JP2004502311A
公开(公告)日：2004-01-22
申请号：JP2002506892
申请日：2001-06-29
申请人：ラムリサーチコーポレーションLam Research Corporation
发明人：ハレー・デイビッド・ジー．
IPC分类号： B24B37/30 , B24B41/047 , B24B47/10 , H01L21/304 , B24B37/04
CPC分类号： B24B37/30 , B24B41/047 , B24B47/10
摘要： A projected gimbal point drive system is disclosed. The projected gimbal point drive system includes a spindle capable of apply a torque, and having a concave spherical surface formed on its lower portion. Further included is a wafer carrier disposed partially within the lower portion of the spindle. The wafer carrier has a convex spherical surface formed on a surface opposite the concave spherical surface of the spindle. In addition, a drive cup is included that is disposed between the spindle and the wafer carrier. The drive cup has a concave inner surface and a convex outer surface, and allows the wafer carrier to be tilted about a predefined gimbal point. In this manner, torque can be applied without affecting the gimbal action.

7. 发明专利

JP6214774B2 高品質且つ高効率のバネ研削方法有权
公开(公告)号：JP6214774B2
公开(公告)日：2017-10-18
申请号：JP2016543031
申请日：2014-05-22
申请人：浙江家度弾簧机械有限公司
发明人：兪家林 , 兪度 , 黄花麗
IPC分类号： B24B7/17 , B24B41/06 , B24B7/16
CPC分类号： B24B7/167 , B24B41/04 , B24B41/047 , B24B41/067 , B24B47/00 , B24B47/04 , B24B7/162 , B24B7/17

8. 发明专利

JPWO2014122968A1 ブラシユニットおよびこのブラシユニットを備えたブラシ研磨装置、ブラシ研磨システム、およびブラシ研磨方法有权
标题翻译：刷子单元和电刷的研磨装置，具有刷子单元刷抛光系统，和刷抛光法
公开(公告)号：JPWO2014122968A1
公开(公告)日：2017-01-26
申请号：JP2014547198
申请日：2014-01-20
申请人：新東工業株式会社
发明人：林　嗣人 , 嗣人林 , 陽一郎平塚 , 陽一郎平塚 , 茂棚橋 , 茂棚橋
IPC分类号： B24D13/14 , A46B13/02 , B24B29/00
CPC分类号： B24B29/005 , B24B9/00 , B24B9/002 , B24B27/0023 , B24B27/0069 , B24B27/0076 , B24B41/005 , B24B41/047 , B24B47/12 , B24D13/145
摘要：研磨ブラシが自転および旋回する遊星運動によってワークの被加工面を研磨するブラシ研磨装置であって、ワークの性状および加工目的にあわせて研磨条件を容易に設定できるブラシ研磨装置を提供することを目的とする。研磨ブラシが自転および公転するブラシユニットを備える。ブラシユニットは、研磨ブラシの自転を行うための自転駆動機構と、研磨ブラシの公転を行うための公転駆動機構と、をそれぞれ備える。自転駆動機構により自転速度を調整することで研磨能力が向上し、公転駆動機構により公転速度を調整することで、ワーク全体を均一に研磨することができる。【選択図】図2
摘要翻译：抛光刷的刷子抛光装置用于通过行星运动的抛光工件的工作表面以旋转和枢轴，提供一种能够容易地设定的抛光条件根据性质和工作的预期处理目的刷洗装置的目的到。包括一个刷子单元，其抛光刷自转和公转。刷单元包括用于旋转所述抛光刷，用于分别旋转所述抛光刷，一回转驱动机构的旋转驱动机构。旋转驱动机构得以改善，通过调整旋转速度，通过由旋转驱动机构调节所述旋转速度的抛光能力，可以均匀地抛光整个工件。 .The

9. 发明专利

JP5520795B2 The tool holder 有权
公开(公告)号：JP5520795B2
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：JP2010270463
申请日：2010-12-03
申请人：株式会社日立製作所
发明人：敏夫山中 , 英明小野塚 , 武尚吉川 , 謙一郎國友 , 利夫田村 , 弘之小島
IPC分类号： B24B55/02 , B24B41/047
CPC分类号： B24B55/02 , B24B41/047

10. 发明专利

JP2013533126A Grinding tool to Shi and grinding sharpener at the same time the plane the floor 审中-公开
公开(公告)号：JP2013533126A
公开(公告)日：2013-08-22
申请号：JP2013515629
申请日：2010-06-23
申请人：プーフエッガーウントバイシュタイナーパーケットグロースウントアインツェルハンデルスゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツングPuchegger u. Beisteiner Parkett Gross u. Einzelhandels Ges.m.b.H.
发明人：プーフエッガーアルフレート , バイシュタイナーヘルマン
IPC分类号： B24B27/00 , B24B7/18
CPC分类号： B24B41/047 , B24B7/18 , B24B7/186
摘要：研削工具支持体であって、該研削工具支持体（１）に配置されるほぼ円形の複数の研削定盤（２）を備え、該研削定盤（２）に研削パッドが着脱可能に取り付けられており、前記研削工具支持体（１）に、前記研削定盤（２）同士の間で、切削加工用のカッタ（４）が配置されている。

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