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    • 5. 发明专利
    • Piezoelectric element actuator and its manufacturing method
    • 压电元件致动器及其制造方法
    • JP2004330724A
    • 2004-11-25
    • JP2003132629
    • 2003-05-12
    • Tateyama Kagaku Kogyo KkToyama Prefecture富山県立山科学工業株式会社
    • FUTAKUCHI TOMOAKISAKAI YUICHIMURAMOTO SHOICHIYAMANO HIROSHIYANAGAWA ARATA
    • B41J2/16B41J2/045B41J2/055
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a high density, high precision and low cost piezoelectric element actuator wherein a piezoelectric element not including a lead oxide material hazardous to the environment is formed on a vibration plate of a silicon substrate, and also to provide its manufacturing method.
      SOLUTION: A 1.7-3.0 μm thick silicon oxide film layer 2 is formed on the single crystal silicon substrate 1, and on the silicon oxide film layer 2 on the front surface side of the silicon substrate 1, a Pt lower electrode 3, a piezoelectric thick film 4 of barium titanate zirconate, and an Au upper electrode 5 are sequentially laminated. A pressure chamber 7 is formed in a position corresponding to the piezoelectric thick film 4 on the back surface of the silicon substrate 1 via the vibration plate 6 by the silicon substrate 1. The piezoelectric thick film 4 is made by printing a piezoelectric thick film material of barium titanate zirconate with a screen printing method and by firing the material in a temperature range of 1,270-1,370°C.
      COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI
    • 要解决的问题:为了提供一种高密度,高精度和低成本的压电元件致动器,其中在硅衬底的振动板上形成不包括对环境有害的氧化铅材料的压电元件,并且还 提供其制造方法。 解决方案:在单晶硅衬底1上形成1.7-3.0μm厚的氧化硅膜层2,在硅衬底1的表面侧上的氧化硅膜层2上形成Pt下电极3 ,依次层叠了钛酸锆酸锆的压电厚膜4和Au上电极5。 压力室7通过硅衬底1经由振动板6形成在与硅衬底1的背面上的压电厚膜4相对应的位置。压电厚膜4通过印刷压电厚膜材料 的钛酸钡锆酸盐,并通过在1,270-1,370℃的温度范围内烧制材料。 版权所有(C)2005,JPO&NCIPI
    • 8. 发明专利
    • 圧電素子
    • 压电元件
    • JP2015023193A
    • 2015-02-02
    • JP2013151078
    • 2013-07-19
    • ヤマハ株式会社Yamaha Corp富山県Toyama Prefecture
    • OKUBO MIHOSAKAI YUICHITSUNODA TATSUNORIFUTAKUCHI TOMOAKI
    • H01L41/43C04B35/462H01L41/187
    • 【課題】キュリー温度を高くすることでき、圧電性を示す温度範囲を拡げることができる圧電素子を提供する。【解決手段】基板2と、この基板2の一方の面側に積層された圧電体4とを備え、圧電体4が、Ba、Ca、Ti及びZrを含む粉体を有する圧電ペーストを用いてスクリーン印刷及び焼成することで形成されている圧電素子1である。粉体の平均粒径が0.05μm以上10μm以下であり、スクリーン印刷に用いるスクリーンメッシュのオープニングが30μm以上100μm以下であるとよい。基板2としてはセラミクスを主成分とし、平均厚みが100μm以上300μm以下の可撓性基板が好ましい。圧電体が下記式で表される組成の圧電材料を主成分とするとよい。Ba1−xCaxTiyZrzO3(0.04≦̸x≦̸0.10、0.95≦̸y≦̸0.98、0.02≦̸z≦̸0.05)【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供可以增加居里温度的压电元件,并且可以扩大呈现压电性的温度范围。解决方案:压电元件1包括基板2和压电体4,压电体4层压在 压电体4通过丝网印刷或煅烧形成具有包含Ba,Ca,Ti和Zr的粉末的压电膏。 优选地,粉末的平均粒径为0.05-10μm,丝网印刷中使用的筛网的开口为30-100μm。 优选地,基板2是以陶瓷为主要成分的平均厚度为100〜300μm的柔性基板。 优选地,压电体包含具有以下式表示的组成的压电材料作为主要成分。 BaCaTiZrO(0.04≤x≤0.10,0.95≤y≤0.98,0.02≤z≤0.05)。