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1. 发明专利

JP2014110359A Minimal manufacturing device, production line and method of rearranging production line 有权
标题翻译：最小制造装置，生产线及后期生产线的方法
公开(公告)号：JP2014110359A
公开(公告)日：2014-06-12
申请号：JP2012264850
申请日：2012-12-04
申请人： National Institute Of Advanced Industrial & Technology , 独立行政法人産業技術総合研究所 , Design Network Co Ltd , 株式会社デザインネットワーク
发明人： HARA SHIRO , MAEKAWA HITOSHI , NAKANO ZEN , KUMPUAN SOMAWANG , FUTAGAWA SHINJI , IIDA MINORU
IPC分类号： H01L21/02
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To quickly, safely and securely rearrange a production line using minimal manufacturing devices.SOLUTION: A pair of leg parts is provided in parallel in portions positioned right below a left side wall and a right side wall of a bottom plate 36 of a minimal manufacturing device body. A space to which a lifting mechanism 25 of a conveyance device 14 is inserted is formed in a portion sandwiched by the pair of leg parts right below the bottom plate 36. A fixing structure 16 for supporting the bottom plate 36 is provided on a floor surface. A position leg 42 and a connection mechanism 71 are provided on the pair of leg parts and the bottom plate. A V-groove base 66 is provided on the position facing the positioning leg 42 on the fixing structure 16. The positioning leg 42 is brought into contact with the V-groove base 66 to position and support the bottom plate 36 when the bottom plate 36 descends toward the fixing structure 16.
摘要翻译：要解决的问题：使用最少的制造装置快速，安全和安全地重新排列生产线。解决方案：一对腿部部件平行设置，位于底板36的左侧壁和右侧壁的正下方的最小制造装置主体。输送装置14的提升机构25的空间形成在底板36的正下方被夹在该对腿部之间的部分内。支撑底板36的固定结构16设置在地面。位置支腿42和连接机构71设置在该对腿部和底板上。 V形槽底座66设置在与固定结构16上的定位支脚42相对的位置上。定位支脚42与V形槽底座66接触，以便当底板36 下降到固定结构16。

2. 发明专利

JP2014110358A Unit for configuring manufacturing line and assembly method thereof 有权
标题翻译：用于配置制造线的组件及其组装方法
公开(公告)号：JP2014110358A
公开(公告)日：2014-06-12
申请号：JP2012264845
申请日：2012-12-04
申请人： National Institute Of Advanced Industrial & Technology , 独立行政法人産業技術総合研究所 , Design Network Co Ltd , 株式会社デザインネットワーク
发明人： HARA SHIRO , MAEKAWA HITOSHI , FUTAGAWA SHINJI , MATSUMIYA YOSHIKAZU
IPC分类号： H01L21/677
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To achieve high assembly accuracy as a whole, even if manufacturing each processor in a unit 12 while designing separately and independently.SOLUTION: A frame 14 of the unit 12 (minimal device) includes a front chamber 24 and a processing chamber 26. A processed object is received from an adjacent unit 12 by a holding mechanism 42. In the unit 12, the processed object moves from the front chamber 24 to a processor through a window 32 in a reference plate 30. An arbitrary processor is disposed in the processing chamber 26. Assembly accuracy is ensured by providing the holding mechanism 42 or a positioning mechanism of the processor on the reference plate 30 closest to the front chamber 24 and the processing chamber 26 and having the strength as a partition between them.
摘要翻译：要解决的问题：为了实现整体的高的组装精度，即使在单独地设计单元12中制造每个处理器的同时独立地设计。解决方案：单元12的框架14（最小装置）包括前室24和处理处理对象通过保持机构42从相邻单元12接收。在单元12中，处理对象通过参考板30中的窗口32从前室24移动到处理器。任意处理器设置在处理室26中。通过在最靠近前室24和处理室26的参考板30上设置保持机构42或处理器的定位机构并且具有作为它们之间的分隔的强度来确保装配精度。

3. 发明专利

JP2014212303A ステージ式のプラズマエッチング装置有权
标题翻译：阶段式等离子体蚀刻装置
公开(公告)号：JP2014212303A
公开(公告)日：2014-11-13
申请号：JP2014035553
申请日：2014-02-26
申请人：独立行政法人産業技術総合研究所 , National Institute Of Advanced Industrial & Technology
发明人： SHIMIZU SADAKI , NAKANO ZEN , OGISO HISATO , HARA SHIRO , TANAKA HIROYUKI , FUTAGAWA SHINJI , YOSHIOKA HIDEAKI , FUKUDA TAKAHIRO , UCHIYAMA YOSHINORI , KUMPUAN SOMAWANG
IPC分类号： H01L21/3065 , H05H1/46
CPC分类号： H01L21/30 , H05H1/46
摘要：【課題】小さなウェハであっても精度良くエッチングすることができるプラズマエッチング装置を提供する。【解決手段】本発明は、ウェハWが設置されるステージ6と、ステージ6を覆うチャンバ5と、チャンバ5内を真空引きする真空形成装置11と、チャンバ5のステージ6に対向する位置に設けられエッチングガスGをウェハWに吹き付けるための管状のガス供給管5dと、ステージ6に設けられこのステージ6に設置されるウェハWを含む領域にプラズマを発生させてエッチングガスGをイオン化およびラジカル化させるRF印可板6dとを具備した構成とされている。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供能够精确地蚀刻甚至小晶片的等离子体蚀刻装置。解决方案：本发明的等离子体蚀刻装置包括：设置有晶片W的载物台6; 覆盖舞台6的腔室5; 真空成型装置11抽空室5的内部; 用于将蚀刻气体G喷射到晶片W的管状气体供给管5d，管状气体供给管设置在与腔室5的台部6相对的位置; 以及设置在载物台6上并在区域中产生等离子体的RF施加板6d，使得蚀刻气体G被离子化并转化成自由基，包括设置在载物台6上的晶片W的区域。

4. 发明专利

JP2014212302A ノズル式のプラズマエッチング装置有权
标题翻译：喷嘴类型等离子体蚀刻装置
公开(公告)号：JP2014212302A
公开(公告)日：2014-11-13
申请号：JP2014035544
申请日：2014-02-26
申请人：独立行政法人産業技術総合研究所 , National Institute Of Advanced Industrial & Technology
发明人： SHIMIZU SADAKI , NAKANO ZEN , OGISO HISATO , HARA SHIRO , TANAKA HIROYUKI , FUTAGAWA SHINJI , YOSHIOKA HIDEAKI , FUKUDA TAKAHIRO , UCHIYAMA YOSHINORI , KUMPUAN SOMAWANG
IPC分类号： H01L21/3065 , H05H1/46
CPC分类号： H01L21/30 , H05H1/46
摘要：【課題】小さなウェハであっても精度良くエッチングできるプラズマエッチング装置を提供する。【解決手段】本発明は、ウェハWが設置されるステージ6と、ステージ6を覆うチャンバ5と、チャンバ5内を真空引きする真空形成装置11と、チャンバ5に対向する位置に設けられたガス供給管5dと、ガス供給管5dの先端側の内部に取り付けられ、このガス供給管5dから供給されるエッチングガスGをウェハWへ略均等に吹き付けさせるノズル7と、ガス供給管5dに取り付けられガス供給管5d内のエッチングガスG中にマイクロプラズマを発生させるとともにラジカルを生成させるLF印加部8とを具備した構成とされている。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供能够精确地蚀刻甚至小晶片的等离子体蚀刻装置。解决方案：本发明的等离子体蚀刻装置包括：设置有晶片W的载物台6; 覆盖舞台6的腔室5; 真空成型装置11抽空室5的内部; 设置在面向室5的位置的气体供给管5d; 安装在气体供给管5d的前端侧的喷嘴7，在晶片W上大致均匀地喷射蚀刻气体G，通过气体供给管5d供给蚀刻气体G; 以及安装在气体供给管5d上的LF施加部8，在气体供给管5d内的蚀刻气体G中产生支原体，形成自由基。

5. 发明专利

JP2009190563A Safety device of child seat for two-wheel vehicle 审中-公开
标题翻译：两轮车辆儿童座椅安全装置
公开(公告)号：JP2009190563A
公开(公告)日：2009-08-27
申请号：JP2008033365
申请日：2008-02-14
申请人： Design Network Co Ltd , 株式会社デザインネットワーク
发明人： ENDO TETSUYA , IIDA MINORU , FUTAGAWA SHINJI
IPC分类号： B62J1/16 , B62J1/00
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent a face and a head of a child sitting on a child seat CS from hitting the ground when a bicycle 201 falls down.
SOLUTION: The vehicle body 202 and pivot mechanisms A1, A2 are coordinated through lock mechanisms B1-B8 for stopping the rocking of the child seat CS. Furthermore, the lock mechanisms B1-B8 releases a lock when a force for rocking the child seat CS caused by the inclination of the vehicle body 202 reaches a set value or higher to allow the rocking of the child seat CS. Therefore, a seating surface of the child seat is horizontally retained.
COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：为了防止在自行车201落下时坐在儿童座椅CS上的儿童的脸部和头部撞到地面。解决方案：车身202和枢轴机构A1，A2通过锁定机构B1-B8协调，以阻止儿童座椅CS的摆动。此外，当由车身202的倾斜引起的用于使儿童座椅CS摇动的力达到设定值以上以使儿童座椅CS摇动时，锁定机构B1-B8释放锁定。因此，儿童座椅的座位表面水平地保持。版权所有（C）2009，JPO＆INPIT

6. 发明专利

JP2010239943A Apparatus for making knot on string-shaped body 审中-公开
标题翻译：用于在圆形身体上制作。子的装置
公开(公告)号：JP2010239943A
公开(公告)日：2010-10-28
申请号：JP2009095450
申请日：2009-04-10
申请人： Design Network Co Ltd , Tomoharu Kobayashi , 友春小林 , 株式会社デザインネットワーク
发明人： IIDA MINORU , FUTAGAWA SHINJI , MATSUMIYA YOSHIKAZU , KOBAYASHI TOMOHARU
IPC分类号： A23P1/00 , A23L1/337 , B65B13/26 , B65B27/12
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an apparatus having a simple structure and action, enabling miniaturization and speed-up, capable of automatically forming knots on various kinds of string-shaped bodies, and especially utilizable in a food-processing field of binding the string-shaped bodies such as dried gourd shavings. SOLUTION: The apparatus for making the knot on the string-shaped body uses a first arm 20 equipped with a clamp 24 for gripping one terminal 16 of the string-shaped body, a second arm 22 equipped with a clamp 26 for gripping the other terminal 18 of the string-shaped body, and guides 30-34 for supporting the string-shaped body 12. The guides hold the vicinities of both terminals of the string-shaped body, and the clamp 24 grips the one terminal 16 of the string-shaped body. The one terminal 16 of the string-shaped body is wound around the second arm 22 by relatively revolving the clamp 24 so that the second arm 22 may be the axis. The clamp 26 of the second arm 22 grips the other terminal 18 of the string-shaped body and passes through the ring formed by the one terminal 16 of the string-shaped body. The knot is formed on the string-shaped body 12 by separating the clamp 24 of the first arm 20 from the clamp 26 of the second arm 22. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：为了提供一种具有简单的结构和作用的装置，能够实现小型化和加速，能够在各种线状体上自动形成结，并且特别可用于食品加工领域将诸如干葫芦刨花的线状体结合在一起。解决方案：用于在弦状体上形成结的装置使用装备有用于夹持弦状体的一个端子16的夹具24的第一臂20，配备有用于夹持的夹具26的第二臂22 线状体的另一个端子18以及用于支撑线状体12的引导件30-34.引导件保持线状体的两端的附近，并且夹具24将一个端子16夹在弦状身体。弦形体的一个端子16通过使夹具24相对旋转而围绕第二臂22缠绕，使得第二臂22可以是轴线。第二臂22的夹具26夹住线状体的另一个端子18，并且穿过由线状体的一个端子16形成的环。通过将第一臂20的夹具24与第二臂22的夹具26分离，在绳状体12上形成结。（C）2011，JPO＆INPIT

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