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    • 1. 发明专利
    • 湿度計構成部材、湿度計、および環境試験装置
    • HYGROMETER构成部件,测量仪和环境测试装置
    • JP2015055556A
    • 2015-03-23
    • JP2013189318
    • 2013-09-12
    • エスペック株式会社Espec Corp
    • SAKANE HIROKIYAMAUCHI SATORUSANO SHINJI
    • G01N25/62F28D15/02
    • 【課題】測定空間内部における伝熱部材の腐食および温度検出部の脱落を防止することができ、しかも、湿度演算に用いる温度を正確に測定することが可能な湿度計構成部材を提供する。【解決手段】湿度計構成部材は、測定空間101に配置される第1部分11aと、測定空間101から断熱された外部空間に配置される第2部分11bとを有するヒートパイプ11と、ヒートパイプ11の第1部分11aの表面に取り付けられ、当該第1部分11aの表面の温度を検出する温度センサ12と、ヒートパイプ11の第1部分11aおよび温度センサ12を覆う保護管14と、ヒートパイプ11の第2部分11bに接続され、当該第2部分11bから熱を受けて外部空間に放熱する放熱部13とを備えている。ヒートパイプ11の第1部分11aは、充填材15を介して保護管14に熱的に接続されている。【選択図】図2
    • 要解决的问题:提供一种能够防止传热构件的腐蚀和测量空间中的温度检测部件的下降并且精确测量要用于湿度算术运算的温度的湿度计构成构件。解决方案:A 湿度计构成构件包括:热管11,其具有设置在测量空间101中的第一部分11a和设置在与测量空间101隔热的外部空间中的第二部分11b; 温度传感器12,安装在热管11的第一部分11a的表面上,用于检测第一部分11a的表面的温度; 用于覆盖热管11的第一部分11a和温度传感器12的保护管14; 以及与热管11的第二部分11b连接的热辐射部分13,用于从第二部分11b接收热量并向外部空间辐射热量。 热管11的第一部分11a经由填料15与保护管14热连接。
    • 2. 发明专利
    • Dehumidifying apparatus
    • 除湿装置
    • JP2008200626A
    • 2008-09-04
    • JP2007040814
    • 2007-02-21
    • Espec Corpエスペック株式会社
    • SAKAMI SHINICHIROSAKANE HIROKIHIRATA TAKUYATANAKA HIROKAZU
    • B01D53/26
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a dehumidifying apparatus 10 operable with low power and having high dehumidification efficiency. SOLUTION: The dehumidifying apparatus comprises a main body part 22 which can keep a work fluid sealed and cause a heat pipe phenomenon, a heat insulation part 14 fitted externally with the main body part 22 at a position between the tip end part 22a of the main body part 22 where the liquid-phase work fluid is evaporated and a base side part 22b of the main body part 22 where the gas-phase work fluid is condensed, and a Peltier element heat absorption side 24a for condensing the gas-phase work fluid in the base side part 22b of the main body part 22. Air is dehumidified in the tip end part 22a of the main body part 22. COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT
    • 要解决的问题:提供一种以低功率操作且具有高除湿效率的除湿装置10。 解决方案:除湿装置包括:主体部分22,其可以保持工作流体密封并引起热管现象;隔热部分14,其在主体部分22的外部装配在前端部分22a 其中液相工作流体蒸发的主体部分22和气相工作流体冷凝的主体部分22的基部侧部分22b和用于冷凝气相工作流体的珀耳帖元件吸热侧24a, 主体部22的基部侧部22b中的相位工作流体。主体部22的前端部22a中的空气除湿。(C)2008,JPO&INPIT
    • 3. 发明专利
    • Heating device
    • 加热装置
    • JP2005009749A
    • 2005-01-13
    • JP2003173257
    • 2003-06-18
    • Espec Corpエスペック株式会社
    • SAKANE HIROKIKANDA TOSHIROSATOGUCHI HIDEKI
    • F27B9/36F27B9/06F27B9/10F27D7/02
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To improve heat treatment efficiency by speeding up temperature rise of a substrate.
      SOLUTION: The heating device is composed so that a surface Wa of the substrate W faces a heating surface 31 of an IR heater 3 and heating is carried out by the surface, hot air is discharged on a rear face Wb of the substrate W via a multiplicity of air supply holes 43 from an air supply chamber 42, and the hot air enters from an intake hole 52 opened in a side of the heating surface 31 into an exhaust chamber 51 arranged on the intake hole 52. By hot air heating of the rear face, surface heating by the IR heater is assisted without affecting a resist agent formed on the substrate surface, heat treatment efficiency can be improved by speeding up temperature rise, and sublimation gas or the like can be efficiently exhausted.
      COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI
    • 要解决的问题:通过加速基板的温度升高来提高热处理效率。 解决方案:加热装置构成为使得基板W的表面Wa面对IR加热器3的加热面31,并且通过表面进行加热,热空气在基板的背面Wb上排出 W通过从供气室42的多个供气孔43,热空气从在加热面31侧开放的吸入孔52进入配置在吸气孔52上的排气室51。 在不影响基板表面形成的抗蚀剂的情况下,辅助红外线加热器对表面进行加热,进行表面加热,可以通过加快升温而提高热处理效率,能够有效地排出升华气体等。 版权所有(C)2005,JPO&NCIPI
    • 4. 发明专利
    • Thermostatic and humidistatic device
    • 温湿度和湿度设备
    • JP2008203211A
    • 2008-09-04
    • JP2007042632
    • 2007-02-22
    • Espec Corpエスペック株式会社
    • SAKANE HIROKITANAKA HIROKAZUHIRATA TAKUYASAKAMI SHINICHIRO
    • G01N17/00F24F1/00F24F3/153F24F5/00G01R31/26
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a thermostatic and humidistatic device capable of forming air having a temperature lower than the temperature of the open air.
      SOLUTION: The cooling unit 1 includes the endothermic part 3 arranged at one end part of a heat pipe 2, the first radiation part 5 having fins 7a arranged at the other end part of the heat pipe 2, and the second radiation part 6 constituted using a Peltier element 8 and arranged at the intermediate position between the first radiation part 5 and the endothermic part 3. This cooling unit 1 is pierced through a heat insulating wall 21 so that the endothermic part 3 is arranged at the proper place between the heater 15 and humidifier 16 of an air conditioning chamber S1 and a radiation part 4 is arranged in a heat source adjusting chamber S2. Further, the first and second radiation parts 5 and 6 are arranged up and down along the outer wall surface 21a of the heat insulating wall 21 and a counter wall 17.
      COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT
    • 要解决的问题:提供能够形成温度低于露天温度的空气的恒温恒湿装置。 解决方案:冷却单元1包括布置在热管2的一个端部的吸热部3,具有布置在热管2的另一端部的翅片7a的第一辐射部5和第二辐射部 6由Peltier元件8构成,并布置在第一辐射部分5和吸热部分3之间的中间位置。该冷却单元1穿过隔热壁21,使得吸热部分3布置在 空调室S1和辐射部分4的加热器15和加湿器16布置在热源调节室S2中。 此外,第一辐射部分5和第二辐射部分6沿着绝热壁21和对置壁17的外壁表面21a上下布置。版权所有(C)2008,JPO&INPIT
    • 6. 发明专利
    • Thermostatic and humidistatic device
    • 温湿度和湿度设备
    • JP2008203210A
    • 2008-09-04
    • JP2007042631
    • 2007-02-22
    • Espec Corpエスペック株式会社
    • SAKANE HIROKITANAKA HIROKAZUHIRATA TAKUYASAKAMI SHINICHIRO
    • G01N17/00F28D15/02
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a thermostatic and humidistatic device capable of forming air having a temperature lower than the temperature of the open air.
      SOLUTION: A cooling unit 1 is constituted of the endothermic part 3 arranged at one end part of a heat pipe 2, a second radiation part 6, which is constituted using a Peltier element 8, arranged at the other end part of the heat pipe 2, and the first radiation part 5 having fins 7a arranged at the intermediate position between the second radiation part 6 and the endothermic part 3. This cooling unit 1 is pierced through a heat insulating wall 21 and a partition wall 17 and the endothermic part 3 is arranged at a proper place between the heater 15 and humidifier 16 in an air conditioning chamber S1. The first radiation part 5 is arranged in a first heat source adjusting chamber S2, and the second radiation part 6 in a second heat source adjusting chamber S3.
      COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT
    • 要解决的问题:提供能够形成温度低于露天温度的空气的恒温恒湿装置。 解决方案:冷却单元1由布置在热管2的一个端部的吸热部3构成,第二辐射部6由珀耳帖元件8构成,该第二辐射部6布置在热管2的另一端部 热管2,第一辐射部5具有布置在第二辐射部6和吸热部3之间的中间位置的翅片7a。该冷却单元1穿过绝热壁21和分隔壁17以及吸热 部分3设置在空调室S1中的加热器15和加湿器16之间的适当位置。 第一辐射部5布置在第一热源调节室S2中,第二辐射部6布置在第二热源调节室S3中。 版权所有(C)2008,JPO&INPIT
    • 8. 发明专利
    • Method and device for evaluating thermal fatigue
    • 用于评估热疲劳的方法和装置
    • JP2007183126A
    • 2007-07-19
    • JP2006000482
    • 2006-01-05
    • Espec Corpエスペック株式会社
    • SAKANE HIROKIIMAI SHINGOTANAKA HIROKAZU
    • G01N3/32G01N17/00
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and device optimum for evaluating thermal fatigue due to a thermal stress and creep deformation caused by an atmospheric temperature in a sample exposed thereto and a difference between thermal expansion coefficients in the sample.
      SOLUTION: The device 1 has a temperature regulation part 3, and regulates the atmospheric temperature in the sample W exposed thereto and a temperature of the sample itself, i.e. testing environment temperatures, by feeding air temperature-regulated in the temperature regulation part 3 into a testing chamber 2. The device 1 sets a temperature change rate when changing the testing environment temperature between a low-temperature set temperature and a high-temperature set temperature, and changes the testing environment temperature as set.
      COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT
    • 要解决的问题:提供一种最佳的方法和装置,用于评估由暴露于其中的样品中的大气温度引起的热应力和蠕变变形以及样品中的热膨胀系数之间的热疲劳。 解决方案:装置1具有温度调节部分3,并且通过将在温度调节部件中温度调节的空气送入,调节暴露在其中的样品W中的气氛温度和样品本身的温度,即测试环境温度 3进入测试室2.装置1在将测试环境温度改变为低温设定温度和高温设定温度时设定温度变化率,并且根据设定改变测试环境温度。 版权所有(C)2007,JPO&INPIT