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1. 发明专利

JP2021183873A 熱処理炉审中-公开
公开(公告)号：JP2021183873A
公开(公告)日：2021-12-02
申请号：JP2020088584
申请日：2020-05-21
申请人：光洋サーモシステム株式会社
发明人：井津隆司
IPC分类号： F27D7/04 , F27D7/02 , F27B17/00
摘要：【課題】熱処理炉において、比較的大きな基板であっても、全体として均等に熱処理することが可能となる。【解決手段】熱処理炉10は、処理室12を内部に有する筐体11と、処理室12の右領域AR及び左領域ALそれぞれにおいてガスの還流を発生させるために設けられている還流発生機構15とを備える。左右の還流発生機構15それぞれは、後側から前側にガスを誘導するためのダクト21L(21R)と、ダクト21L(21R)内のガスを後側から前側に流すことで前記還流を発生させるためのファン22L(22R)と、ガスを加熱するヒータ23L(23R)と、21L(21R)、ガスを通過させて清浄化したガスを放出するフィルタ24L(24R)と、フィルタ24L(24R)を通過したガスの一部を処理室12の左右方向の中央側に誘導すると共に当該ガスの一部を後側に向かって放出するノズル25L(25R)とを備える。【選択図】図1

2. 发明专利

JP2021161149A 炭化物の製造設備および炭化物の製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2021161149A
公开(公告)日：2021-10-11
申请号：JP2020061073
申请日：2020-03-30
申请人：日鉄エンジニアリング株式会社
发明人：高橋茂樹 , 小水流広行 , 谷奥亘 , 安田和真 , 小脇幸男 , 小菅克志 , 関本賢一 , 今村彰伸
IPC分类号： F27B7/36 , F27B7/08 , F27D7/02 , C10B47/32
摘要：【課題】レトルト内で発生したガスを燃焼室に排出する排気手段を有する外熱式の回転レトルト炉において、レトルトから放出された粉状の被処理物に由来する付着物がレトルトの外周面に堆積することを効果的かつ安定的に防止する。【解決手段】レトルト内で発生したガスを燃焼室に排出する排気手段を有する外熱式の回転レトルト炉によって炭化物を生成する炭化物の製造設備において、燃焼室内で長手方向の互いに異なる区間に配置され、外周面に向けられた第1および第2の吹付手段と、第1および第2の吹付手段のそれぞれへの不活性ガスの供給経路上に配置される複数の弁と、第2の吹付手段が、第1の吹付手段とは異なる時に外周面に向けて不活性ガスを吹き付けるように、複数の弁を個別に制御する制御装置とを備える。【選択図】図1

3. 发明专利

JP2021156515A 熱処理装置审中-公开
公开(公告)号：JP2021156515A
公开(公告)日：2021-10-07
申请号：JP2020058144
申请日：2020-03-27
申请人：光洋サーモシステム株式会社
发明人：奥村昌倫 , 中谷淳司
IPC分类号： F27D7/06 , F27D7/02 , F27B9/04
摘要：【課題】過熱水蒸気によって被処理物の熱処理を行う熱処理装置の構造の複雑化を防止できるとともに、被処理物の熱処理が行われる熱処理室内において雰囲気の淀みが発生してしまうことを抑制することができる、熱処理装置を提供する。【解決手段】熱処理装置1は、熱処理室11と水蒸気供給部13と水蒸気排出部15とを備える。熱処理室11は、被処理物10が搬入される入口31と被処理物10が搬出される出口32とが設けられ、入口31から出口32に向かって搬送される被処理物10の熱処理が行われる。水蒸気供給部13は、熱処理室11における加熱領域HRに設けられて、熱処理室11内に過熱水蒸気を供給する。水蒸気排出部15は、熱処理室11において、水蒸気供給部13に対して入口31側と出口32側とにそれぞれ設けられ、熱処理室11内の過熱水蒸気を熱処理室11の外部へ排出する。【選択図】図1

4. 发明专利

JP2021153119A 配管接続方法及び半導体ウェーハ熱処理装置审中-公开
公开(公告)号：JP2021153119A
公开(公告)日：2021-09-30
申请号：JP2020052968
申请日：2020-03-24
申请人：信越半導体株式会社
发明人：稲田聡史
IPC分类号： F16L13/02 , F27D7/02 , H01L21/205
摘要：【課題】金属汚染やパーティクルを抑える配管接続方法と半導体ウェーハ熱処理装置を提供すること目的とする。【解決手段】腐食性ガスを流通させる半導体ウェーハ熱処理装置本体とガス配管を溶接によって接続させる接続方法であって、前記半導体ウェーハ熱処理装置本体及び前記ガス配管をオーステナイト系のステンレスの基材とし、前記半導体ウェーハ熱処理装置本体に前記ガス配管を溶接する溶接部に前記ガス配管と同じ断面形状の短管の突き出し部を形成し、該突き出し部と前記ガス配管の端部とを突き合わせて溶接して接続することを特徴とする半導体ウェーハ熱処理装置本体とガス配管の接続方法。【選択図】図1

5. 发明专利

JP6936427B2 回転粉粒体炉有权
公开(公告)号：JP6936427B2
公开(公告)日：2021-09-15
申请号：JP2019226337
申请日：2019-12-16
申请人：サンファーネス株式会社
发明人：佐藤直利
IPC分类号： F27D7/02 , F27B7/36

6. 发明专利

JP6873071B2 環境形成装置、環境形成ユニット及び熱処理装置有权
公开(公告)号：JP6873071B2
公开(公告)日：2021-05-19
申请号：JP2018039684
申请日：2018-03-06
申请人：エスペック株式会社
发明人：斉藤哲也 , 桑田研治 , 迫中和広
IPC分类号： F27B17/00 , F27D7/04 , F27D5/00 , F24F5/00 , F27D7/02

7. 发明专利

JP6872824B2 酸化マグネシウムの製造方法および装置有权
公开(公告)号：JP6872824B2
公开(公告)日：2021-05-19
申请号：JP2020110592
申请日：2020-06-26
申请人：株式会社JHE
发明人：小池和則
IPC分类号： F27D7/02 , F27D9/00 , F27D19/00 , C01F5/04

8. 发明专利

JP2021067409A 加熱処理装置有权
公开(公告)号：JP2021067409A
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：JP2019193623
申请日：2019-10-24
申请人：柴田勝美 , 株式会社JRTEC , ベスト・アライアンス有限会社
发明人：柴田勝美 , 並松秀樹 , 伊海政子
IPC分类号： C10B47/44 , F27B9/14 , F27D7/02 , F27B9/10
摘要：【課題】処理原料の加熱処理効率を向上することができ、これにより、処理原料の加熱処理量を増大することができる、加熱処理装置を提供する。【解決手段】第1のスクリューコンベア12と、第2のスクリューコンベア13と、第1のノズル配管14と、第2のノズル配管15と、を有し、第1のスクリューコンベア12が右回転する場合には、第1のノズル配管14は第1のスクリューコンベア12の左側方に配置され、第1のスクリューコンベア12が左回転する場合には、第1のノズル配管14は第1のスクリューコンベア12の右側方に配置され、第2のスクリューコンベア13が右回転する場合には、第2のノズル配管15は第2のスクリューコンベア13の左側方に配置され、第2のスクリューコンベア13が左回転する場合には、第2のノズル配管15は第2のスクリューコンベア13の右側方に配置される、加熱処理装置。【選択図】図1

9. 发明专利

JP2021067374A 焼結機点火炉の点火方法有权
公开(公告)号：JP2021067374A
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：JP2019190829
申请日：2019-10-18
申请人： JFEスチール株式会社
发明人：小林祥大 , 田村浩一
IPC分类号： F27D7/02 , F27D17/00 , C22B1/20 , F27B21/08
摘要：【課題】バーナにかかる熱負荷を低減しながら燃料の使用量を最小限に抑えて効率良く原料に点火する。【解決手段】焼結機点火炉の点火方法であって、1列とした複数の燃料ガス吐出口と、前記1列の両側で2列とした複数の燃焼用ガス吐出口7とを具備するバーナ1を用い、前記燃料ガス吐出口を前記燃焼用ガス吐出口の前方に突出させ、前記燃料ガス吐出口から燃料ガスを吐出させ、該燃料ガスの吐出流に向けて、前記燃焼用ガス吐出口から燃焼用ガスを吐出させることにより、前記燃料ガスを燃焼させる。【選択図】図1

10. 发明专利

JP6799173B2 浸炭装置有权
公开(公告)号：JP6799173B2
公开(公告)日：2020-12-09
申请号：JP2019550994
申请日：2018-10-12
申请人：株式会社IHI , 株式会社IHI機械システム
发明人：勝俣和彦
IPC分类号： C21D1/74 , C21D1/34 , F27D11/02 , F27D7/02 , C23C8/20

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