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    • 5. 发明专利
    • ダイアフラム弁
    • JP2018031428A
    • 2018-03-01
    • JP2016163996
    • 2016-08-24
    • CKD株式会社
    • 板藤 寛纐纈 雅之
    • F16K7/17F16K31/122
    • F16K7/17F16K41/12
    • 【課題】ダイアフラム弁体に接続された往復動部材の中心軸が振れることに起因するパーティクルの発生を抑制することのできるダイアフラム弁を提供する。 【解決手段】流体の流路21及び弁室22が形成されたハウジング20,30と、ハウジングにおいて、弁室に対する流路の開口の周囲に環状に設けられた弁座24と、弁室を流体の流路と非流路とに区画し、弁座に当接及び離間する樹脂製のダイアフラム弁体40と、ダイアフラム弁体に接続され、弁座に接近及び離間する方向である所定方向に往復動する往復動部材61と、往復動部材に力を加えてダイアフラム弁体を弁座に押し付ける押付部70,12と、金属により薄板状に形成され所定方向に貫通した往復動部材の外縁に取り付けられ、往復動部材の往復動を所定方向に変形して許容し、且つ所定方向に垂直な方向への往復動部材の移動を規制する規制部材91,94と、を備えるダイアフラム弁18。 【選択図】 図1