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    • 2. 发明专利
    • ダイヤフラムバルブ
    • JP2021131132A
    • 2021-09-09
    • JP2020026981
    • 2020-02-20
    • 積水化学工業株式会社
    • 土田 理彩子
    • F16K7/17
    • 【課題】低背化を図ることが可能なダイヤフラムバルブを提供する。 【解決手段】ダイヤフラムバルブ1では、アクチュエータ6は、ステム5を長手方向Yに駆動することによって隔膜3を開閉する。アクチュエータ6は、ピストン62と、筐体部61と、を有する。ピストン62は、ステム5に固定されている。筐体部61は、ピストン62が移動可能な空間Sと、空間Sにエアを供給可能な第1供給口61aと第2供給口61bと、を含む。ピストン62は、凹部91または凹部92を有する。凹部91または凹部92は、流路23を開放するように隔膜3を駆動する開放方向Y1にピストン62を付勢するコイルバネ101および流路23を閉鎖するように隔膜3を駆動する閉鎖方向Y2にピストン62を付勢するコイルバネ101の少なくとも一方の一端101aを挿入可能である。 【選択図】図6