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1. 发明专利

JP2019032592A 画面制御プログラムおよび半導体製造装置审中-公开
公开(公告)号：JP2019032592A
公开(公告)日：2019-02-28
申请号：JP2017151765
申请日：2017-08-04
申请人：株式会社荏原製作所
发明人：鳥越恒男 , 中村貴正
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/304 , G06F3/14
摘要：【課題】半導体製造装置ユーザーの利便性を向上させることができる画面制御プログラムを提供する。【解決手段】画面制御プログラムは、コンピュータに、表示画面561の縦方向の画面解像度が表示画面561の横方向の画面解像度よりも大きいか否かを判定し、縦方向の画面解像度が横方向の画面解像度よりも大きいとき、表示画面561の表示領域を、処理ユニットの稼働状況に関する監視画像701を表示するためのメイン画面表示領域と、処理ユニットの操作に関する操作画像702を表示するための作業領域とに分割する処理を実行させる。【選択図】図11

2. 发明专利

JP6894318B2 画面制御プログラムおよび半導体製造装置有权
公开(公告)号：JP6894318B2
公开(公告)日：2021-06-30
申请号：JP2017151765
申请日：2017-08-04
申请人：株式会社荏原製作所
发明人：鳥越恒男 , 中村貴正
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/304 , G06F3/14

3. 发明专利

JP2021163407A 故障原因調査装置审中-公开
公开(公告)号：JP2021163407A
公开(公告)日：2021-10-11
申请号：JP2020067621
申请日：2020-04-03
申请人：株式会社荏原製作所
发明人：吉田健人 , 中村貴正 , 大滝裕史
IPC分类号： G05B19/05
摘要：【課題】半導体製造装置に異常が発生した場合に、PLCの制御プログラムの漏洩を防止しつつ、故障原因を調査できる故障原因調査装置を提供すること。【解決手段】故障原因調査装置は、複数のデバイスの識別情報と、複数のデバイスの識別情報の各々について、複数のデバイスの各々のアラームコードとを関連付けた要件定義情報を記憶する記憶部と、アラームコードを受け付ける受付部と、記憶部に記憶された要件定義情報から、受付部が受け付けたアラームコードに該当する一又は複数のデバイスの識別情報を選択する選択部と、選択部が選択した一又は複数のデバイスの識別情報に基づいて、プログラマブルロジックコントローラから、一又は複数のデバイスの各々の出力値を取得する取得部と、取得部が取得した一又は複数のデバイスの各々の出力値を出力する出力部とを備える。【選択図】図2

4. 发明专利

JP6310260B2 基板処理装置内の複数の処理ユニットを調整するための調整装置、および該調整装置を備えた基板処理装置有权
公开(公告)号：JP6310260B2
公开(公告)日：2018-04-11
申请号：JP2014007654
申请日：2014-01-20
申请人：株式会社荏原製作所
发明人：武田晃一 , 中村貴正
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： G05B19/4184 , G05B2219/2602 , G05B2219/31044 , G05B2219/32139 , Y02P90/04 , Y02P90/14 , Y02P90/16 , Y02P90/18 , Y02P90/185

5. 发明专利

JP2021144597A 警報表示装置审中-公开
公开(公告)号：JP2021144597A
公开(公告)日：2021-09-24
申请号：JP2020044245
申请日：2020-03-13
申请人：株式会社荏原製作所
发明人：大滝裕史 , 吉田健人 , 中村貴正
IPC分类号： G08B21/18 , G05B23/02
摘要：【課題】警報の発生原因を特定する際の助けとなる情報を表示可能な警報表示装置を提供する。【解決手段】警報表示装置60は、複数の警報のそれぞれに関連付けられた警報コードデータを予め記憶しているデータ蓄積部64と、該警報コードデータと、警報コードデータに関連付けられ、所定の時間の間に収集されたEESデータおよびレジスタデータの組み合わせと、を少なくとも含む警報詳細情報データを収集するデータ収集部62と、警報が発生したときに、該警報に対応する警報詳細情報データを記憶する警報データ記憶部64bと、警報データ記憶部64bに記憶された警報詳細情報データを表示可能な表示部65と、警報データ記憶部64bに記憶された警報詳細情報データに含まれる監視センサの測定値をグラフ化して、表示部に表示させる処理部61と、を備える。【選択図】図4

6. 发明专利

JP2017188500A 検査方法、検査装置及び検査システム审中-公开
公开(公告)号：JP2017188500A
公开(公告)日：2017-10-12
申请号：JP2016074276
申请日：2016-04-01
申请人：株式会社荏原製作所
发明人：松下邦政 , 中村貴正 , 八木裕治 , 斎藤賢一郎 , 小菅隆一
IPC分类号： H01L21/677
摘要：【課題】基板処理装置の納入後における、基板のリリースミス及び/または搬送ミスの発生を低減する。【解決手段】複数の基板それぞれについて基板処理装置の基板保持部に搬送された基板が基板保持部から離脱する度に、当該基板が基板保持部から離脱するのにかかるリリース時間を計測する工程と、複数のリリース時間を用いて、リリース時間に統計的な異常な兆候があるか否か判定する工程と、リリース時間に統計的な異常な兆候があると判定された場合、基板処理装置の再組み立て及び/または再調整を行う工程と、を有する。【選択図】図9

7. 发明专利

JP2021112797A 研磨ヘッドシステムおよび研磨装置审中-公开
公开(公告)号：JP2021112797A
公开(公告)日：2021-08-05
申请号：JP2020006393
申请日：2020-01-17
申请人：株式会社荏原製作所
发明人：小畠厳貴 , 安田穂積 , 矢内昭夫 , 高橋信行 , 中村貴正 , 坂田桂介 , ▲高▼田暢行 , 八木裕治 , ▲高▼田泰弘 , 渡辺和英
IPC分类号： B24B37/04 , B24B37/005 , B24B49/10 , B24B49/02 , B24B37/32 , B24B37/30
摘要：【課題】ウェーハ、基板、パネルなどのワークピースの膜厚プロファイルを精密に制御することができる研磨ヘッドシステムを提供する。【解決手段】研磨ヘッドシステムは、複数の押付力をワークピースWに加える複数の圧電素子47を有する研磨ヘッド7と、複数の圧電素子47に印加すべき電圧の複数の指令値を決定する動作制御部10を備えている。【選択図】図5

8. 发明专利

JP2021048213A 機械学習装置、基板処理装置、学習済みモデル、機械学習方法、機械学習プログラム审中-公开
公开(公告)号：JP2021048213A
公开(公告)日：2021-03-25
申请号：JP2019169007
申请日：2019-09-18
申请人：株式会社荏原製作所
发明人：中村顕 , 中村貴正 , 鳥越恒男 , 大滝裕史
IPC分类号： G06N20/00 , B24B37/005 , B24B51/00 , H01L21/304
摘要：【課題】基板の搬送開始のタイミングおよびその搬送ルートを装置内におけるその時その時の状態に応じて適切に決定することを可能にできる機械学習装置を提供する。【解決手段】装置内における基板の位置および各ユニット内での経過時間を含む状態情報を取得する状態情報取得部と、ある状態において、新たな基板をカセットから取り出すか否かおよびどちらの処理ユニットに搬送するかの行動を行うことに対する価値を予測する予測モデルを有し、取得された状態情報を入力として予測モデルに基づいて1つの行動を選択する行動選択部と、選択された行動を行うように指示信号を送信する指示信号送信部と、処理枚数と待ち時間とを含む動作結果を取得する動作結果取得部と、処理枚数が多くかつ待ち時間が短いほど報酬が大きくなるように、取得された動作結果に基づいて報酬を計算し、当該報酬に基づいて予測モデルを更新する予測モデル更新部と、を備える。【選択図】図5

9. 发明专利

JP2015138786A 基板処理装置内の複数の処理ユニットを調整するための調整装置、および該調整装置を備えた基板処理装置有权
标题翻译：用于调整基板处理装置中的多个加工单元的调整装置以及包括调节装置的基板处理装置
公开(公告)号：JP2015138786A
公开(公告)日：2015-07-30
申请号：JP2014007654
申请日：2014-01-20
申请人：株式会社荏原製作所
发明人：武田晃一 , 中村貴正
IPC分类号： B24B37/34 , H01L21/02
CPC分类号： G05B19/4184 , G05B2219/2602 , G05B2219/31044 , G05B2219/32139 , Y02P90/04 , Y02P90/14 , Y02P90/16 , Y02P90/18 , Y02P90/185
摘要：【課題】より短い時間で基板処理装置の各種処理ユニットを調整することができる調整装置を提供する。【解決手段】調整装置は、処理ユニットU1〜UNを操作し、かつ所定の動作を調整するメイン操作装置71と、処理ユニットU1〜UNを操作し、かつ所定の動作を調整する端末操作装置T1〜TNと、処理ユニットU1〜UNとメイン操作装置71とを接続するネットワーク75と、端末操作装置T1〜TNをネットワーク75に接続し、かつネットワーク75から切り離す接続装置81,82とを備える。端末操作装置T1〜TNのそれぞれは、処理ユニットU1〜UNのうちの少なくとも1台を操作可能に構成されている。【選択図】図4
摘要翻译：要解决的问题：提供能够在短时间内调整基板处理装置的各种处理单元的调节装置。解决方案：调整装置包括：主操作装置71，其操作处理单元U1至UN并调整预定的操作; 终端操作装置T1至TN，其操作处理单元U1至UN并调整预定操作; 将处理单元U1〜UN连接到主操作装置71的网络75; 以及将终端操作装置T1到TN连接到网络75并且从网络75断开设备T1至TN的连接装置81和82.终端操作装置T1至TN中的每一个被配置为操作处理中的至少一个单位U1到联合国。

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