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1. 发明专利

JP4695951B2 Ion milling processing method, and ion milling processing equipment 有权
公开(公告)号：JP4695951B2
公开(公告)日：2011-06-08
申请号：JP2005273047
申请日：2005-09-21
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：正道塩野 , 隆一郎多持 , 宏史武藤 , 雅子西村
IPC分类号： B23K15/00 , G21K5/04 , G21K5/08 , H01J37/305

2. 发明专利

JP5464536B1 Operation display method of the charged particle beam apparatus and a charged particle beam apparatus 有权
公开(公告)号：JP5464536B1
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：JP2013159337
申请日：2013-07-31
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：裕太海老根 , 徹安藤 , 雅子西村 , 俊哉渡邉 , 麻美許斐 , 弥生小西 , 奈緒子牛尾 , 尚太朗玉山
IPC分类号： H01J37/24
CPC分类号： H01J37/24 , H01J37/244
摘要：【課題】荷電粒子線装置の操作初心者でも観察操作の流れを掴むことができ一連の観察操作を簡単に行える荷電粒子線装置及びその操作表示方法の実現に関する。
【解決手段】本発明は、荷電粒子線を試料に照射し試料画像表示開始ボタンが配置される第１操作領域と、試料画像観察倍率設定ボタンが配置される第２操作領域と、試料画像の明るさ自動調整ボタンと試料画像焦点自動調節ボタンと試料画像の明るさと焦点を元に戻すボタンとが配置される第３操作領域と、荷電粒子線走査速度を早くするボタンと荷電粒子線走査速度を遅くするボタンと荷電粒子線走査範囲を狭くするボタンと荷電粒子線走査を停止し試料画像の表示維持ボタンとが配置される第４操作領域と、試料画像の記憶装置への保存ボタンが配置される第５操作領域を、第１操作領域から第２操作領域、第３操作領域、第４操作領域、第５操作領域の順に上から下に画像表示装置に表示させる。
【選択図】図１

3. 发明专利

JP5416319B1 A charged particle beam device, sample observation system and operation program 有权
公开(公告)号：JP5416319B1
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：JP2013527409
申请日：2013-03-15
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：弥生小西 , 佐藤　　貢 , 昌樹 ▲高▼野 , 尚太朗玉山 , 雅子西村 , 俊哉渡邉 , 麻美許斐
IPC分类号： H01J37/24 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/222 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/2806
摘要：初心者でも、観察条件の違いによる撮影結果の違いを容易に認識できるようにするため、荷電粒子線装置のパラメータ設定値の組み合わせである試料の観察条件を変更するための観察目的設定ボタン（Ｅ１４１）を操作画面（２００）に複数表示するコンピュータを有し、処理部は、複数の観察目的設定ボタン（Ｅ１４１）にかかる観察条件の特徴を、相反した３つ以上の項目で表示するレーダチャート（Ｅ１４４）を操作画面（２００）に表示させることを特徴とする。そして、そのレーダチャート（Ｅ１４４）には、高分解能、表面構造の強調および材料の違いの強調が項目として少なくとも表示される。

4. 发明专利

JP5401521B2 A charged particle beam apparatus 有权
公开(公告)号：JP5401521B2
公开(公告)日：2014-01-29
申请号：JP2011192273
申请日：2011-09-05
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：訓志重藤 , 貢佐藤 , 紀子飯泉 , 弘行能田 , 雅子西村 , 俊哉渡邉 , 麻美許斐 , 真一富田 , 隆一郎多持
IPC分类号： H01J37/24 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/153 , H01J37/10 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/1532 , H01J2237/21

5. 发明专利

JPWO2015033601A1 荷電粒子線装置及び試料画像取得方法有权
标题翻译：带电粒子束装置和样本图像获取方法
公开(公告)号：JPWO2015033601A1
公开(公告)日：2017-03-02
申请号：JP2015535333
申请日：2014-03-10
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：祐介大南 , 雅子西村 , 晋佐河西 , 宏征鈴木
IPC分类号： H01J37/20 , H01J37/18 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/263 , H01J37/28 , H01J2237/164 , H01J2237/202 , H01J2237/28
摘要：荷電粒子光学系と試料との間に荷電粒子線が透過可能な隔膜を設けた荷電粒子線装置において、試料に凹凸がある場合でも、試料と隔膜との接触を防止する。一次荷電粒子線の照射により試料(6)から放出される二次的荷電粒子を検出する検出器(3)から出力される検出信号または当該検出信号から生成される画像に基づいて、試料(6)と隔膜(10)との距離を監視する。
摘要翻译：带电粒子束装置带电粒子束设置渗透膜的带电粒子光学系统和样品之间，即使有凹凸的样品中，以防止样品和膜片之间的接触。从检测信号或来自检测器（3）输出的检测信号产生的图像，用于检测由所述主带电粒子束，样品的照射从样品6发射的次生带电粒子的基础（6 ），并监测所述隔膜（10之间的距离）。

6. 发明专利

JP5047318B2 How to display overlaid an electron microscope image and an optical image 有权
公开(公告)号：JP5047318B2
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：JP2010048561
申请日：2010-03-05
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：正道塩野 , 雅子西村
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/22
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/228 , H01J37/244 , H01J2237/225 , H01J2237/24475 , H01J2237/2817

7. 发明专利

JPWO2015037157A1 荷電粒子線装置、荷電粒子線装置の試料観察方法および荷電粒子線装置の表示制御プログラム有权
标题翻译：带电粒子束的装置，所述样品观察方法的显示控制程序和带电粒子射线装置的带电粒子束装置
公开(公告)号：JPWO2015037157A1
公开(公告)日：2017-03-02
申请号：JP2013544909
申请日：2013-09-13
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：雅子西村 , 訓志重藤 , 徹安藤 , 紀子飯泉 , 隆一郎多持 , 佐藤　　貢 , 弥生小西 , 弘行能田 , 高洋稲田
IPC分类号： H01J37/22 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/222 , H01J37/263 , H01J37/265
摘要：本発明は、荷電粒子源、荷電粒子光学系、検出器、試料ステージ、試料室、および画像表示装置を制御する制御部を備え、この制御部は、試料画像に、画像がひずんでいる、明るさムラがある、立体感がない、または像がぼけている現象が発生していないかを操作者に確認するメッセージと、試料画像に、画像がひずんでいる、明るさムラがある、または立体感がない現象が発生している場合に操作者が押下する第1ボタンと、試料画面に、画像がぼけている現象が発生している場合に操作者が押下する第2ボタンとを試料画像と共に表示部に表示し、第1ボタン又は第2ボタンが押下された場合に、観察条件に応じて、その原因を記したメッセージを表示部に表示する荷電粒子線装置に関する。本発明によれば、初心者でも、撮影結果の良し悪しを容易に認識し、原因と解決策を知ることで荷電粒子装置のスキルが向上し、その結果、画像の改善が可能となる。
摘要翻译：本发明中，带电粒子源，该带电粒子光学器件，检测器，包括一个试样台，样品室，以及用于控制所述图像显示装置中，所述控制单元，所述样本图像的控制单元，所述图像失真，亮度它是不均匀的，没有立体效果，或一条消息，该图像是这样一种现象是模糊，以确保对操作者是否发生，样本图像时，图像失真，有一个亮度不均或固体，第一按钮已发生时，有没有感觉效果的操作者按压，样品屏幕，第二按钮和样本图像由操作者按压时的图像的现象模糊产生用，当按下第一按钮或第二按钮，根据观察条件，本发明涉及的是显示描述在显示单元上的原因的消息的带电粒子射线装置显示在显示单元上一起。根据本发明，即使是初学者，一个好坏的拍摄效果容易地识别，原因和解决方案通过知道，以提高带电粒子装置的技术，其结果是，改善了图像的。

8. 发明专利

JPWO2013137466A1 荷電粒子線装置、試料観察システムおよび操作プログラム有权
标题翻译：的带电粒子束的装置，所述样品观察系统和操作程序
公开(公告)号：JPWO2013137466A1
公开(公告)日：2015-08-03
申请号：JP2013527409
申请日：2013-03-15
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：弥生小西 , 弥生小西 , 佐藤　貢 , 佐藤　　貢 , 昌樹 ▲高▼野 , 昌樹 ▲高▼野 , 玉山　尚太朗 , 尚太朗玉山 , 雅子西村 , 雅子西村 , 俊哉渡邉 , 俊哉渡邉 , 麻美許斐 , 麻美許斐
IPC分类号： H01J37/24 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/222 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/2806
摘要：初心者でも、観察条件の違いによる撮影結果の違いを容易に認識できるようにするため、荷電粒子線装置のパラメータ設定値の組み合わせである試料の観察条件を変更するための観察目的設定ボタン(E141)を操作画面(200)に複数表示するコンピュータを有し、処理部は、複数の観察目的設定ボタン(E141)にかかる観察条件の特徴を、相反した3つ以上の項目で表示するレーダチャート(E144)を操作画面(200)に表示させることを特徴とする。そして、そのレーダチャート(E144)には、高分解能、表面構造の強調および材料の違いの強調が項目として少なくとも表示される。
摘要翻译：即使是初学者，以便能够容易地识别在摄像结果的差异，由于在观看条件的差异，一个组合观察对象用于改变样品的观看条件设定按钮是带电粒子射线装置的参数设定（E141）它有多个的操作画面（200）上显示的计算机，处理部，特征观察条件雷达图根据所述多个观察对象设定按钮（E141），并显示至少三个项目矛盾（E144 ），并且其中所述显示操作画面（200）一个。然后，在其雷达图（E144），在表面结构的高分辨率，增强和增强材料差被至少显示为项目。

9. 发明专利

JPWO2013133012A1 試料観察方法および試料前処理方法有权
标题翻译：样观察方法和样品前处理方法
公开(公告)号：JPWO2013133012A1
公开(公告)日：2015-07-30
申请号：JP2014503748
申请日：2013-02-20
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：正道塩野 , 正道塩野 , 雅子西村 , 雅子西村 , 麻美許斐 , 麻美許斐
IPC分类号： G01N23/225 , G01N1/28 , H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/28
CPC分类号： G01N1/30 , G01N1/28 , G01N1/2806 , G01N1/31 , G01N1/34 , H01J37/20 , H01J2237/2608 , H01J2237/28
摘要：水生生物内外の浸透圧差を軽減し、生物試料内部からの脱水を防止することで、イオン液体水溶液中に浸した水生生物の自然な形態を壊さずに、かつ外骨格および関節部の柔軟性を保持することを実現する。最初に濃度の低いイオン液体に水生生物を投入し、イオン液体の濃度を連続的に高めることで、水生生物の生体時の形状を保持したまま、水生生物内の水分を濃度の濃いイオン液体水溶液に置換する。自然乾燥による緩慢としたイオン液体水溶液の濃度上昇を利用することで、水生生物内外の浸透圧差を軽減し、水生生物内部のイオン液体濃度を連続的に高めることを実現する。
摘要翻译：减少水生生物和外部的渗透压差，从而防止内部生物样品的脱水，不破坏浸泡水生生物的天然形式存在于所述离子液体溶液中，外骨骼和关节的灵活性认识到控股。第一水生生物被放置在低浓度的离子性液体，通过连续地增加离子液体的浓度，同时保持在生生物暗离子液体溶液与在水生生物的水分的浓度时的形状与更换。通过使用离子液体溶液的浓度的增加缓慢地通过自然干燥，以减少水生生物和流出的渗透压差，实现在水生连续增加所述离子液体的浓度。

10. 发明专利

JP5597295B2 A charged particle beam apparatus 有权
公开(公告)号：JP5597295B2
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：JP2013219733
申请日：2013-10-23
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：訓志重藤 , 貢佐藤 , 紀子飯泉 , 弘行能田 , 雅子西村 , 俊哉渡邉 , 麻美許斐 , 真一富田 , 隆一郎多持
IPC分类号： H01J37/24 , H01J37/153 , H01J37/21

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