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1. 发明专利

JP2016023999A 半導体検査装置および半導体検査装置の制御方法审中-公开
标题翻译：半导体检测装置及其控制半导体检测装置的方法
公开(公告)号：JP2016023999A
公开(公告)日：2016-02-08
申请号：JP2014147313
申请日：2014-07-18
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：今川健吾 , 幕内雅巳 , 今井栄治 , 茂原廉永
IPC分类号： G01N21/88 , G01B11/30 , H01L21/66 , G01N21/956
CPC分类号： G01B11/30 , G01N21/88 , G01N21/956
摘要：【課題】検査速度(検査レート)に応じて、高感度検査を実現する検査装置とその制御方法を提供する。特に、複雑かつ微小サイズのパターン・欠陥を検査対象とした低速検査速度設定時における検査に好適な検査装置とその制御方法を提供する。【解決手段】検査対象ウェハに光を照射して発生した散乱光を、複数の検出器で受光して検査を行う半導体検査装置であって、検出器の動作を制御する検出器制御信号を演算する信号演算部21と、演算された信号に基づいて検出器の制御信号を生成する信号生成部22と、半導体検査装置を制御し、検査速度に関する検査速度信号を出力する制御部20と、を備え、信号演算部21は、制御部から出力された前記検査速度信号に基づいて、検出器制御信号を演算し、信号生成部22は、第一の検出器1と第二の検出器11とで同期化した第一の検出器1の制御信号と第二の検出器11の制御信号とを生成する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种检查装置及其控制方法，其根据检查速度（检查率）特别是检查装置及其控制方法实现高灵敏度检查，其适用于在复杂和微小尺寸图案或缺陷是检查对象，并且设置缓慢的检查速度。解决方案：半导体检查装置通过用多个检测器接收通过用光照射待检查的晶片产生的散射光进行检查。所述装置包括：信号运算单元21，用于计算用于控制检测器操作的检测器控制信号; 信号生成单元22，用于根据计算出的信号产生检测器的控制信号; 以及用于控制半导体检查装置并输出与检查速度有关的检查速度信号的控制单元20。信号运算单元21基于从控制单元输出的检查速度信号来计算检测器控制信号。信号生成单元22生成用于第一检测器1的控制信号和第二检测器11的控制信号，控制信号在第一检测器1和第二检测器11之间同步。选择的图示：图1

2. 发明专利

JP5778053B2 質量分析装置及び質量分析装置の調整方法有权
标题翻译：质谱仪和质谱仪的调整方法
公开(公告)号：JP5778053B2
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：JP2012022940
申请日：2012-02-06
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：金井久亮 , 大西富士夫 , 幕内雅巳
IPC分类号： G01N27/62 , H01J49/42
CPC分类号： H01J49/00 , H01J49/0009 , H01J49/022 , H01J49/36 , H01J49/422

3. 发明专利

JP2018071970A 微小異物の検査方法、および検査装置审中-公开
公开(公告)号：JP2018071970A
公开(公告)日：2018-05-10
申请号：JP2015051594
申请日：2015-03-16
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：幕内雅巳
IPC分类号： G01N21/88 , G01N21/84
摘要：【課題】微小異物の検査装置において、長時間での照射レーザパワーを安定化し、高精度な異物の検出が可能な検査方法および検査装置を提供する。【解決手段】試料1表面にレーザを所定の時間照射して試料1表面の欠陥を検査する欠陥検査装置100であって、試料1表面に照射されるレーザビームを出射するレーザ光源2と、出射したレーザビームを変調する変調部3と、変調部3に印加する電圧を制御する制御部12と、試料1表面から反射した散乱光を検出して検出信号を生成する反射光検出部9と、を備え、制御部12は、反射光検出部9での検出結果に基づき、変調部3に印加する電圧を切替えるよう制御する。【選択図】図1

4. 发明专利

JP2015135300A 検査装置および計測装置有权
标题翻译：检验仪器和测量装置
公开(公告)号：JP2015135300A
公开(公告)日：2015-07-27
申请号：JP2014007429
申请日：2014-01-20
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：幕内雅巳 , 神宮孝広
IPC分类号： G01B11/30 , G01N21/956 , G01N21/88
CPC分类号： H01J37/244 , A61B5/0059 , G01N21/94 , G01N21/9501 , G01N21/956 , H01J37/28 , H01J49/00 , A61B5/0075 , H01J2237/2443 , H01J2237/2444 , H01J2237/2445 , H01J2237/24495
摘要：【課題】光子計数センサにおいて微小異物を高精度に検出する検出回路およびそれを用いた検査装置、計測装置を提供する。【解決手段】試料表面を検査または計測する検査または計測装置であって、前記試料表面にレーザビームを照射する照射手段と、前記試料表面からの散乱光を検出して検出信号を生成する検出手段と、を備え、前記検出手段は、Nピクセル(Nは自然数)の光検出素子から、M個(Mは自然数、M
【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于在光子计数传感器和检查装置以及使用其的测量装置中以高精度检测微小异物的检测电路。解决方案：用于检查或测量样品表面的检查或测量装置包括：用于将激光束照射到样品表面的照射装置; 以及检测装置，用于检测来自样品表面的散射光并产生检测信号。检测装置包括：用于从N个像素（N为自然数）的光检测元件输出M个输出信号的光子计数传感器（M为自然数，M

5. 发明专利

JP6259669B2 検査装置および計測装置有权
公开(公告)号：JP6259669B2
公开(公告)日：2018-01-10
申请号：JP2014007429
申请日：2014-01-20
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：幕内雅巳 , 神宮孝広
IPC分类号： G01N21/956
CPC分类号： H01J37/244 , A61B5/0059 , A61B5/0075 , G01N21/94 , G01N21/9501 , G01N21/956 , H01J37/28 , H01J49/00 , H01J2237/2443 , H01J2237/2444 , H01J2237/2445 , H01J2237/24495

6. 发明专利

JP5945245B2 信号パルス検出装置、質量分析装置、および信号パルス検出方法有权
标题翻译：信号脉冲检测器，质谱仪，和信号脉冲检测方法
公开(公告)号：JP5945245B2
公开(公告)日：2016-07-05
申请号：JP2013101308
申请日：2013-05-13
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：西元琢真 , 照井康 , 大西富士夫 , 幕内雅巳
IPC分类号： G01T7/00 , G01N27/62 , H01J49/26 , G01J1/42 , G01J11/00 , G01J1/44
CPC分类号： H01J49/025 , H01J49/0036

7. 发明专利

JP2015095378A 高電圧発生回路およびそれを用いたイオンポンプ审中-公开
标题翻译：高压发生电路，以及使用其的离子泵
公开(公告)号：JP2015095378A
公开(公告)日：2015-05-18
申请号：JP2013234539
申请日：2013-11-13
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：利根正純 , 渡辺敏光 , 幕内雅巳 , 大西富士夫
IPC分类号： H01J41/12
CPC分类号： H01J41/18
摘要：【課題】真空度に応じて負荷電流と印加電圧とを制御することで低消費電力化、かつ、電子顕微鏡装置を小型化する高電圧発生回路およびそれを備えたイオンポンプを提供する。【解決手段】排気機構部が有する陰極と陽極に電圧を印加することで容器内を真空にするイオンポンプであって、トランス1次側に直流電圧を供給する電圧供給部と、トランス1次側のスイッチング素子に電圧パルスを供給するパルス供給部と、トランス2次側の出力電圧を検出する電圧検出部と、トランス2次側の負荷電流を検出する電流検出部と、前記検出した出力電圧と、負荷電流と、前記検出した出力電圧値と負荷電流を乗算して算出した出力電力値のうち少なくともいずれか一つに基づいて、前記パルス供給部が出力する電圧パルスのパルス幅またはパルス周期を調整する制御部と、を備えるイオンポンプ。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种高压发生电路和采用该电路的离子泵，其能够通过根据真空度控制负载电流和施加电压来降低功耗; 并且减小电子显微镜装置的尺寸。解决方案：一种离子泵，其中在空气排出机构部分中包括的阴极和阳极施加电压以使离子泵的容器的内部变为真空状态，包括：向变压器初级侧供给DC电压的电压供给部; 脉冲供给部，向变压器初级侧的开关元件供给电压脉冲; 检测变压器次级侧的输出电压的电压检测器; 检测变压器次级侧的负载电流的电流检测器; 基于检测到的输出电压，负载电流和输出功率值中的至少一个来调整从脉冲供给部输出的电压脉冲的脉冲宽度或脉冲周期的控制器，电压值由负载电流。

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