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1. 发明专利

JP2016023999A 半導体検査装置および半導体検査装置の制御方法审中-公开
标题翻译：半导体检测装置及其控制半导体检测装置的方法
公开(公告)号：JP2016023999A
公开(公告)日：2016-02-08
申请号：JP2014147313
申请日：2014-07-18
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：今川健吾 , 幕内雅巳 , 今井栄治 , 茂原廉永
IPC分类号： G01N21/88 , G01B11/30 , H01L21/66 , G01N21/956
CPC分类号： G01B11/30 , G01N21/88 , G01N21/956
摘要：【課題】検査速度(検査レート)に応じて、高感度検査を実現する検査装置とその制御方法を提供する。特に、複雑かつ微小サイズのパターン・欠陥を検査対象とした低速検査速度設定時における検査に好適な検査装置とその制御方法を提供する。【解決手段】検査対象ウェハに光を照射して発生した散乱光を、複数の検出器で受光して検査を行う半導体検査装置であって、検出器の動作を制御する検出器制御信号を演算する信号演算部21と、演算された信号に基づいて検出器の制御信号を生成する信号生成部22と、半導体検査装置を制御し、検査速度に関する検査速度信号を出力する制御部20と、を備え、信号演算部21は、制御部から出力された前記検査速度信号に基づいて、検出器制御信号を演算し、信号生成部22は、第一の検出器1と第二の検出器11とで同期化した第一の検出器1の制御信号と第二の検出器11の制御信号とを生成する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种检查装置及其控制方法，其根据检查速度（检查率）特别是检查装置及其控制方法实现高灵敏度检查，其适用于在复杂和微小尺寸图案或缺陷是检查对象，并且设置缓慢的检查速度。解决方案：半导体检查装置通过用多个检测器接收通过用光照射待检查的晶片产生的散射光进行检查。所述装置包括：信号运算单元21，用于计算用于控制检测器操作的检测器控制信号; 信号生成单元22，用于根据计算出的信号产生检测器的控制信号; 以及用于控制半导体检查装置并输出与检查速度有关的检查速度信号的控制单元20。信号运算单元21基于从控制单元输出的检查速度信号来计算检测器控制信号。信号生成单元22生成用于第一检测器1的控制信号和第二检测器11的控制信号，控制信号在第一检测器1和第二检测器11之间同步。选择的图示：图1

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