专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

JPWO2017098573A1 高電圧電源装置および、荷電粒子ビーム装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2017098573A1
公开(公告)日：2018-08-09
申请号：JP2015084353
申请日：2015-12-08
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：西元琢真 , 李ウェン , 高橋弘之 , 川野源
IPC分类号： H01J37/248
CPC分类号： H01J37/241 , H01J37/06 , H01J37/244 , H01J37/248 , H01J2237/026 , H01J2237/0473 , H01J2237/2448
摘要：高電圧電源装置において、隣接配置された電源回路等から外乱が流入した場合でも,低リップル化を実現できるようにする。高電圧電源装置を、駆動回路(31)と、駆動回路(31)の出力電圧を昇圧させるトランス(32)と、トランス(32)で昇圧させた電圧を更に昇圧させる昇圧回路(33)と、トランス(32)と昇圧回路(33)とを覆うシールド(35)と、昇圧回路(33)から出力された高電圧をフィルタリングし平滑化して出力するフィルタ回路(34)とを備えて構成し、複数のインピーダンス素子(391,392,393,394)をループ状に結線して構成したインピーダンスループ回路(39)を更に備え、昇圧回路の接地点(330)とシールドの接地点(350)とフィルタ回路の接地点(340)とは、インピーダンスループ回路(39)を介して接地されるように構成する。

2. 发明专利

JP2017224553A 荷電粒子ビーム装置及び荷電粒子ビーム装置を用いた画像の生成方法审中-公开
公开(公告)号：JP2017224553A
公开(公告)日：2017-12-21
申请号：JP2016120617
申请日：2016-06-17
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：池田一樹 , 李ウェン , 西元琢真 , 高橋弘之
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/22
摘要：【課題】電子顕微鏡を用いた検査・計測装置における計測・検査画像の視認性を向上させる。【解決手段】荷電粒子ビーム装置を、電子銃と、電子銃から発射された電子ビームを偏向させることにより試料に走査して照射する偏向電極部と、試料から発生した二次電子を検出する検出部と、検出部の出力を受けて二次電子によるパルス数をカウントするパルスカウント部と、パルスカウント部からの出力信号を処理して試料の画像を形成する信号処理・画像生成部と、偏向電極部を制御する偏向電極制御部とを備えて構成し、信号処理・画像生成部は、パルスカウント部からの出力信号を処理して試料からの二次電子を検出しなかった領域を抽出してこの抽出した領域に偏向電極部で電子ビームを走査して照射するように偏向電極制御部を制御するようにした。【選択図】図2

3. 发明专利

JP2017130334A 荷電粒子ビーム装置及び荷電粒子ビーム装置の画像形成方法审中-公开
公开(公告)号：JP2017130334A
公开(公告)日：2017-07-27
申请号：JP2016008593
申请日：2016-01-20
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：李ウェン , 池田一樹 , 西元琢真 , 高橋弘之 , 川野源
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/22
CPC分类号： H01J37/222 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/2448
摘要：【課題】微細なパターンを検査又は計測する検査計測装置において、パルスカウント方式を用いて分解能を向上させ、深穴パターンの底部の視認性向上させるため、高精度にパルス信号を検出することを可能にする。【解決手段】収束させた荷電粒子線を試料に照射し走査して試料から発生した二次荷電粒子を検出部で検出し、検出部からの出力信号を受けて処理し、処理した信号を受けて試料の画像を形成する荷電粒子ビーム装置の画像形成方法において、検出部からの出力信号を受けて処理することを、検出部からの出力信号をアナログ処理することと、検出部からの出力信号をパルスカウント処理することにより行い、パルスカウント処理することは、検出部からの出力信号のうちリンギングパルス信号を除去し、このリンギングパルス信号を除去した信号に対してパルスをカウントすることにより行うようにした。【選択図】図1

4. 发明专利

JP6416578B2 質量分析装置审中-公开
公开(公告)号：JP6416578B2
公开(公告)日：2018-10-31
申请号：JP2014216826
申请日：2014-10-24
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：村上真一 , 西元琢真 , 照井康 , 大西富士夫
IPC分类号： H01J49/26 , G01N27/62 , H01J49/06

5. 发明专利

JP6474916B2 高電圧電源装置および、荷電粒子ビーム装置有权
公开(公告)号：JP6474916B2
公开(公告)日：2019-02-27
申请号：JP2017554689
申请日：2015-12-08
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：西元琢真 , 李ウェン , 高橋弘之 , 川野源
IPC分类号： H01J37/248

6. 发明专利

JP5945245B2 信号パルス検出装置、質量分析装置、および信号パルス検出方法有权
标题翻译：信号脉冲检测器，质谱仪，和信号脉冲检测方法
公开(公告)号：JP5945245B2
公开(公告)日：2016-07-05
申请号：JP2013101308
申请日：2013-05-13
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：西元琢真 , 照井康 , 大西富士夫 , 幕内雅巳
IPC分类号： G01T7/00 , G01N27/62 , H01J49/26 , G01J1/42 , G01J11/00 , G01J1/44
CPC分类号： H01J49/025 , H01J49/0036

7. 发明专利

JP2016085817A 質量分析装置审中-公开
标题翻译：质谱仪
公开(公告)号：JP2016085817A
公开(公告)日：2016-05-19
申请号：JP2014216826
申请日：2014-10-24
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：村上真一 , 西元琢真 , 照井康 , 大西富士夫
IPC分类号： G01N27/62 , H01J49/26
摘要：【課題】イオン量を高精度に検出できるようにした質量分析装置を提供する。【解決手段】質量電荷比に応じてイオンを分離する質量分離部と、前記質量分離部で分離されたイオンの信号の個数を計数するカウント部と、前記前記質量分離部で分離されたイオンの信号の面積を積算する面積検出部と、前記質量分離部、前記カウント部および面積検出部の動作を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、第一のイオンを前記質量分離部で分離するための制御信号と、前記第一のイオンの検出方式を前記カウント部または前記面積検出部のいずれかに切り替える制御信号と、を同期制御する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供能够以高精度检测离子量的质谱仪。解调方案：质谱仪包括：质量分离部，其根据质荷比分离离子; 计数部分，其对由质量分离部分分离的离子的信号数进行计数; 区域检测部，其对由所述质量分离部分离的离子的信号区域进行积分; 以及控制部分，其控制质量分离部分，计数部分和区域检测部分的操作。控制部件同步地控制用于分离质量分离部分中的第一离子的控制信号和用于将第一离子的检测系统切换到计数部分和区域检测部分中的任何一个的控制信号。选择的图示：图1

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式