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1. 发明专利

JPWO2018134870A1 走査電子顕微鏡および走査電子顕微鏡による試料観察方法审中-公开
公开(公告)号：JPWO2018134870A1
公开(公告)日：2019-11-07
申请号：JP2017001355
申请日：2017-01-17
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：備前大輔 , 津野夏規 , 三羽貴文 , 榊原慎 , 横須賀俊之 , 数見秀之
IPC分类号： H01J37/05 , H01J37/09 , H01J37/147 , H01J37/28 , H01J37/141 , H01J37/20
摘要：深孔・溝の側壁で発生する帯電を除電可能とし、深孔・溝の底部を高精度に検査・計測する走査電子顕微鏡を実現する。このため、一次電子を放出する電子源201と、試料を戴置する試料台213と、一次電子を試料上で走査させる偏向器207と、一次電子を試料に収束させる対物レンズ203と、一次電子が試料へ照射されることによって生じた二次電子を検出する検出器206とを有する走査電子顕微鏡において、一次電子が試料に照射される第1期間において対物レンズに印加される電位に対して試料台に印加される電位が負極性となるよう制御し、一次電子が試料に照射されない第2期間において、対物レンズに印加される電位に対して試料台に印加される電位が正極性となるよう制御する。

2. 发明专利

JP6295027B2 荷電粒子線装置およびそれを用いた計測方法有权
公开(公告)号：JP6295027B2
公开(公告)日：2018-03-14
申请号：JP2013077335
申请日：2013-04-03
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：備前大輔 , 川野源 , 数見秀之
IPC分类号： H01J37/05 , H01J37/28 , H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/244
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/244 , H01J2237/2448 , H01J2237/24485 , H01J2237/2449 , H01J2237/2806 , H01J2237/281

3. 发明专利

JP2016100310A 荷電粒子線装置有权
标题翻译：充电颗粒光束装置
公开(公告)号：JP2016100310A
公开(公告)日：2016-05-30
申请号：JP2014239011
申请日：2014-11-26
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：榊原慎 , 川野源 , 鈴木誠 , 葛西祐二 , 備前大輔 , 桃井義典
IPC分类号： H01J37/21 , H01J37/28 , H01J37/244 , H01J37/147 , H01J37/22
CPC分类号： H01J37/147 , H01J37/21 , H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/28
摘要：【課題】本発明は、一度の走査で得られた画像から、焦点補正とエネルギーフィルタの基準調整(校正)の両方を行うことが可能な技術を提供する。【解決手段】荷電粒子線装置は、荷電粒子線を発生させる荷電粒子源と、前記荷電粒子線の焦点位置を調整する焦点調整部と、前記荷電粒子線を前記試料上で走査するための偏向部と、前記試料に前記荷電粒子線を照射したときに発生する荷電粒子を検出する検出部と、前記検出部において検出する荷電粒子を選別する検出荷電粒子選別部と、一度の走査から得られる前記検出部からの情報を用いて、前記焦点調整部の焦点調整と前記検出荷電粒子選別部の基準調整を行う制御処理部と、を備える。【選択図】図1A
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够从通过一次扫描操作获得的图像执行能量过滤器的聚焦校正和参考调整（校准）两者的带电粒子束装置。解决方案：带电粒子束装置具有：带电粒子用于产生带电粒子束的源; 焦点调节单元，用于调整带电粒子束的焦点位置; 用于将带电粒子束扫描在样品上的偏转器; 检测器，用于检测当带电粒子束照射样品时发生的带电粒子; 用于在检测器中筛选要检测的带电粒子的检测的带电粒子筛选单元; 以及控制处理单元，用于通过使用通过一次扫描操作获得的来自检测器的信息来执行聚焦调节单元的聚焦调整和检测到的带电粒子筛选单元的参考调整。选择图：图1A

4. 发明专利

JP6215124B2 走査電子顕微鏡、及びその制御方法有权
公开(公告)号：JP6215124B2
公开(公告)日：2017-10-18
申请号：JP2014087432
申请日：2014-04-21
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：白幡香織 , 備前大輔 , 榊原慎 , 早田康成 , 川野源 , 数見秀之
IPC分类号： H01J37/147 , H01J37/12 , H01J37/24 , H01J37/05 , H01J37/244 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/28 , G01N23/2251 , H01J37/252 , H01J37/263 , H01J2237/2602 , H01J2237/28 , H01J2237/2801 , H01J2237/2806 , H01J49/48

5. 发明专利

JP6133725B2 パターン測長装置及びパターン測長方法有权
公开(公告)号：JP6133725B2
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：JP2013165767
申请日：2013-08-09
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：白幡香織 , 早田康成 , 榊原慎 , 備前大輔 , 川野源 , 数見秀之
IPC分类号： H01L21/66 , H01J37/28 , H01J37/244 , G01B15/04
CPC分类号： H01J37/244 , H01J37/222 , G01B2210/56 , H01J2237/2448 , H01J2237/2806 , H01J2237/2817 , H01J37/10 , H01J37/147 , H01J37/28

6. 发明专利

JP5771628B2 走査電子顕微鏡及びそれを用いた測長方法有权
标题翻译：使用相同的扫描型电子显微镜和测量方法
公开(公告)号：JP5771628B2
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：JP2012548733
申请日：2011-12-05
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：備前大輔 , 牧野浩士 , 田中潤一 , 江角真
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/22 , H01J37/20 , H01J37/05 , H01J37/244
CPC分类号： H01J37/05 , G01B15/00 , H01J37/10 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/04735 , H01J2237/24485

7. 发明专利

JP6294213B2 荷電粒子線装置有权
公开(公告)号：JP6294213B2
公开(公告)日：2018-03-14
申请号：JP2014239011
申请日：2014-11-26
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：榊原慎 , 川野源 , 鈴木誠 , 葛西祐二 , 備前大輔 , 桃井義典
IPC分类号： H01J37/22 , H01J37/21 , H01J37/28 , H01J37/244 , H01J37/147 , H01J37/05
CPC分类号： H01J37/21 , H01J37/147 , H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/216 , H01J2237/2806

8. 发明专利

JP2015207458A 走査電子顕微鏡、及びその制御方法有权
标题翻译：扫描电子显微镜及其控制方法
公开(公告)号：JP2015207458A
公开(公告)日：2015-11-19
申请号：JP2014087432
申请日：2014-04-21
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：白幡香織 , 備前大輔 , 榊原慎 , 早田康成 , 川野源 , 数見秀之
IPC分类号： H01J37/147 , H01J37/12 , H01J37/24 , H01J37/05 , H01J37/244 , H01J37/28
CPC分类号： G01N23/225 , H01J37/252 , H01J37/28 , H01J49/44
摘要：【課題】リターディング電圧V r を変化させても分光器への入射電子数やエネルギー分解能が変化しない電子分光系を有する走査電子顕微鏡を提供する。【解決手段】電子源101と、電子源から放出される一次電子線を偏向する第一の偏向器103と、第一の偏向器によって偏向された一次電子線を収束し、収束された一次電子線により生じた試料106からの二次電子108を光軸外に偏向する第二の偏向器104と、一次電子線を減速する負極性の電圧を試料に印加する電圧印加部107と、二次電子を分光するための分光器110と、分光器を通過した二次電子を検出する検出器111と、第二の偏向器と分光器との間に設けられた静電レンズ109と、静電レンズに印加する電圧を試料に印加する負極性の電圧に基づき制御する電圧制御部113を有し、静電レンズは、偏向作用と収束作用を重畳させる。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：为了提供一种包括电子分光系统的扫描电子显微镜，其中即使延迟电压Vis改变，入射到光谱仪的电子数量或能量分辨率也不会改变。解决方案：扫描电子显微镜包括：电子源101; 用于偏转从电子源发射的一次电子束的第一偏转器103; 第二偏转器104会聚由第一偏转器偏转的一次电子束，并且使二次电子108从会聚的一次电子束产生的样本106偏转到光轴的外部; 用于将一次电子束减速的负极性电压施加到试样的电压施加部107; 用于光谱分离二次电子的光谱仪110; 用于检测通过光谱仪的二次电子的检测器111; 设置在第二偏转器和光谱仪之间的静电透镜109; 以及电压控制部113，用于根据要施加到样本的负极性的电压来控制施加到静电透镜的电压。静电透镜叠加偏转动作和收敛动作。

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