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1. 发明专利

JP5946751B2 欠陥検出方法及びその装置並びに欠陥観察方法及びその装置有权
标题翻译：缺陷检测方法和装置，以及缺陷观测方法和装置
公开(公告)号：JP5946751B2
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：JP2012246035
申请日：2012-11-08
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：大谷祐子 , 上野剛渡 , 中山英樹 , 本田敏文
IPC分类号： G01N21/956 , G01B11/30
CPC分类号： G01N21/9501

2. 发明专利

JP2015197320A 欠陥検査装置および検査方法有权
标题翻译：缺陷检查装置和检查方法
公开(公告)号：JP2015197320A
公开(公告)日：2015-11-09
申请号：JP2014074098
申请日：2014-03-31
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：本田敏文 , 浦野雄太 , 松本俊一 , 上野剛渡 , 大谷祐子
IPC分类号： G01N21/956 , G01N21/88
CPC分类号： G01N21/956 , G01N21/9501
摘要：【課題】微小な欠陥からの散乱光を、背景散乱光の影響を小さくして欠陥からの散乱光を顕在化させることにより確実に検出できるようにする。【解決手段】偏光状態と強度分布とを調整したレーザを傾斜した方向から試料に照射し、散乱光を集光して複数の検出器で検出し、検出した信号を処理して試料の表面の欠陥を抽出し、この抽出した欠陥の情報を出力する欠陥検査方法において、散乱光を検出することを、試料で発生した散乱光を集光レンズで集光し、この集光された散乱光の偏光の方向を調整し、偏光の方向に応じて分離して複数の検出器で検出することにより行い、欠陥を抽出することを、複数の検出器からの出力信号に対して、散乱光の偏光の方向ごとに分離されたそれぞれの散乱光の検出信号にゲインをかけて処理してノイズと欠陥を判別して欠陥を検出することにより行うようにした。【選択図】図1A
摘要翻译：要解决的问题：通过使散射光由于背景散射光的影响而使其散射光变得明显，从而可以确实地检测散射光的微小缺陷。解决方案：提供了一种缺陷检查方法，包括：用具有从倾斜方向调整的偏振状态和强度分布; 会聚散射光以通过多个检测器检测散射光; 处理检测信号以提取样品前表面的缺陷; 并输出关于所提取的缺陷的信息。散射光的检测被配置为通过以下方式进行：通过会聚透镜会聚在样品中产生的散射光; 调整会聚散射光的偏振方向; 以及根据所述偏振方向分离所述会聚散射光以利用所述多个检测器检测所述分离的散射光，并且将所述缺陷的提取配置为进行; 对所述多个检测器的输出信号进行处理，对所述散射光的各偏振方向分离的各散射光的检测信号进行增益; 并从噪声中辨别噪声。

3. 发明专利

JP6069133B2 欠陥検査装置及び欠陥検査方法有权
标题翻译：缺陷检查装置以及缺陷检查方法
公开(公告)号：JP6069133B2
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：JP2013178806
申请日：2013-08-30
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：浦野雄太 , 上野剛渡 , 浜松玲 , 本田敏文
IPC分类号： G01N21/956
CPC分类号： G01N21/8806 , G01N21/21 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2021/8845 , G01N2021/8848

4. 发明专利

JP5712079B2 欠陥検査装置および欠陥検査方法有权
公开(公告)号：JP5712079B2
公开(公告)日：2015-05-07
申请号：JP2011166200
申请日：2011-07-29
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：谷口敦史 , 上野剛渡 , 松本俊一 , 芝田行広 , 本田敏文
IPC分类号： G01N21/956
CPC分类号： G01N21/95 , G01N21/9501 , G01N21/95607 , G01B11/0641 , G01N2021/8822 , G01N2021/9513 , G01N21/211 , G01N21/95623 , G02F1/1303 , G02F1/136259

5. 发明专利

JP6328468B2 欠陥検査装置および検査方法有权
公开(公告)号：JP6328468B2
公开(公告)日：2018-05-23
申请号：JP2014074098
申请日：2014-03-31
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：本田敏文 , 浦野雄太 , 松本俊一 , 上野剛渡 , 大谷祐子
IPC分类号： G01N21/956 , G01N21/88
CPC分类号： G01N21/956 , G01N21/4738 , G01N21/9501 , G01N2021/4792 , G01N2021/8848 , G01N2201/121

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