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1. 发明专利

JP6387952B2 偏光検査装置有权
公开(公告)号：JP6387952B2
公开(公告)日：2018-09-12
申请号：JP2015248976
申请日：2015-12-21
申请人：横河電機株式会社
发明人：村山広大 , 濃野友人 , 濱口豊明 , 舩崎草吉
IPC分类号： G01N21/89
CPC分类号： G01N21/21 , G01N21/211 , G01N21/8806 , G01N33/00 , G01N2021/4792 , G01N2021/8848 , G01N2033/0096 , G02B5/04

2. 发明专利

JP6273162B2 欠陥検査方法及びその装置有权
公开(公告)号：JP6273162B2
公开(公告)日：2018-01-31
申请号：JP2014062440
申请日：2014-03-25
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：浦野雄太 , 本田敏文 , 芝田行広
IPC分类号： G01N21/956
CPC分类号： G01N21/956 , G01N21/9501 , G01N21/95607 , G01N2021/8848 , G01N2021/9513 , G01N2021/95638

3. 发明专利

JP2018013360A パターン検査装置审中-公开
公开(公告)号：JP2018013360A
公开(公告)日：2018-01-25
申请号：JP2016141737
申请日：2016-07-19
申请人：株式会社ニューフレアテクノロジー
发明人：大瀧寿明 , 小川力
IPC分类号： G01N21/88 , G01N21/956
CPC分类号： G01N21/8806 , G01N21/956 , G01N2021/8848 , G06T7/0004
摘要：【課題】光路上にミラーが配置された照明光学系を用いて解像限界未満の周期規則性のある繰り返しパターンの欠陥を検出可能な検査装置を提供する。【解決手段】紫外光の第1の電界振動方向を90°の整数倍回転した第2の電界振動方向の直線偏光光を出力する1/2波長板174と、第2の電界振動方向の直線偏光光を反射するミラー176と、反射された直線偏光光の第3の電界振動方向を90°の整数倍とは異なる角度だけ回転する第4の電界振動方向の直線偏光光に変換して出力する1/2波長板178と、当該紫外光の解像限界未満のサイズの繰り返しパターンが形成された基板を載置し、繰り返しパターンが第3の電界振動方向と平行或いは直交する方向に繰り返されるように載置するXYθテーブル102と、第2の2分の1波長板によって第4の電界振動方向に回転された直線偏光光を基板に形成された繰り返しパターンに照明する対物レンズ104とを備える。【選択図】図1

4. 发明专利

JPWO2016125633A1 検査装置及び検査システム审中-公开
公开(公告)号：JPWO2016125633A1
公开(公告)日：2017-10-12
申请号：JP2016573295
申请日：2016-01-26
申请人：ボッシュパッケージングテクノロジー株式会社
发明人：敬夫岡田 , 敬夫岡田 , 田中　隆 , 隆田中 , 洸資竹下 , 洸資竹下
IPC分类号： G01N21/88
CPC分类号： G01N21/8806 , G01N21/21 , G01N21/8851 , G01N21/892 , G01N21/90 , G01N21/909 , G01N2021/8822 , G01N2021/8848 , G06T7/0002
摘要：検査装置1は、明部T1と明部T1より暗い暗部T2を有する被検体Tを照明する照明部2と、照明部2によって照明された被検体Tからの物体光がそれぞれ異なる光路を通過する第1の光L1と第2の光L2に分割される光路分割部3と、光路分割部3を通過した第1の光L1の光量を低下させるフィルタ4と、フィルタ4を通過した第1の光L1が結像する第1撮像部5aと、光路分割部3を通過した第2の光L2が結像する第2撮像部5bと、第1撮像部5aで撮像した明部の情報と第2撮像部5bで撮像した暗部の情報から被検体の欠陥の有無を検査する検査部7と、を備える。

5. 发明专利

JP2016126005A 表示装置の検査装置及び表示装置の検査方法审中-公开
标题翻译：显示装置的检查装置和显示装置的检查方法
公开(公告)号：JP2016126005A
公开(公告)日：2016-07-11
申请号：JP2015241090
申请日：2015-12-10
申请人：三星ディスプレイ株式會社 , Samsung Display Co.,Ltd.
发明人：金白濬 , 柳重永 , 白承楹 , 柳彰賢 , 林徳柱
IPC分类号： G01N21/88 , G01N21/956
CPC分类号： G01N21/8806 , G01N21/8422 , G01N21/95 , G01N2021/8427 , G01N2021/8848 , G01N2201/0683
摘要：【課題】表示パネルの欠陥、保護フィルムの欠陥、表示パネルに付着された異物質、及び保護フィルムに付着された異物質を区分できる表示装置の検査装置を提供する。【解決手段】第1照明ユニット210は表示パネル及び前記表示パネル上に配置される保護フィルムを含む表示装置100に第1入射角で第1入射光を提供する。第2照明ユニット220は前記表示装置に前記第1入射角より大きい第2入射角で第2入射光を提供する。第3照明ユニット230は前記表示装置に前記第2入射角より大きい第3入射角で第3入射光を提供する。欠陥検出部300は、前記第1入射光が前記表示装置で第1反射角に反射されて提供される第1反射光、前記第2入射光が前記表示装置で第2反射角に反射されて提供される第2反射光及び前記第3入射光が前記表示装置で第3反射角に反射されて提供される第3反射光のうち、少なくとも1つの光を受信して前記表示装置の欠陥を検出する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种显示装置的检查装置，其可以区分显示面板的缺陷，保护膜的缺陷，附着到显示面板的异物和附着到保护膜的异物。：第一照明单元210将第一入射光提供给显示面板100，显示面板和保护膜以第一入射角布置在显示面板上。第二照明单元220以大于第一入射角的第二入射角度向显示装置提供第二入射光。第三照明单元230以大于第二入射角的第三入射角度向显示装置提供第三入射光。检测器300接收从第一反射角度的由显示装置反射的第一入射光获得的第一反射光中的至少一个，以第二反射角从由显示装置反射的第二入射光获得的第二反射光，以及由第三反射角度由显示装置反射的第三入射光获得的第三反射光，以检测显示装置的缺陷。图1

6. 发明专利

JP2015184203A 欠陥検査方法及びその装置有权
标题翻译：缺陷检查方法及其设备
公开(公告)号：JP2015184203A
公开(公告)日：2015-10-22
申请号：JP2014062440
申请日：2014-03-25
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：浦野雄太 , 本田敏文 , 芝田行広
IPC分类号： G01N21/956
CPC分类号： G01N21/956 , G01N21/95607 , G01N2021/8848 , G01N2021/9513 , G01N2021/95638 , G01N21/9501
摘要：【課題】試料に形成された検査光の波長よりも狭いピッチで形成されたラインパターン間のブリッジ欠陥を検出できるようにする。【解決手段】欠陥検査装置を、レーザ光を発射する光源と、この光源より発射されたレーザを試料に対物レンズを介して垂直な方向から照明する垂直照明ユニットと、レーザを試料に斜め方向から照明する斜方照明ユニットと、レーザが照射された試料から反射散乱された光を対物レンズを介して検出する検出光学系ユニットと、検出した信号を処理して欠陥を検出する信号処理ユニットとを備えて構成し、垂直照明ユニットは、光源より発射されたレーザを偏光変換部で直線偏光に変換してラインパターンの長手方向に直交する方向に偏光させた状態で照射し、検出光学系ユニットを、対物レンズで集光した反射散乱光の偏光の状態を直線偏光に変換して欠陥からの散乱光成分を選択的に透過させる光学フィルタを備えて構成した。【選択図】図1A
摘要翻译：要解决的问题：允许在比检测光的波长窄的间距上检测在样品上形成的线图案之间的桥接缺陷。解决方案：缺陷检查装置被配置为包括：发射激光束的光源; 垂直照明单元，其通过经由物镜在垂直方向上从光源发射的激光束照射样品; 倾斜照明单元，其用倾斜方向的激光束照射样品; 检测光学系统单元，其经由所述物镜检测从所述激光束照射的样品反射和散射的光; 以及处理检测信号以检测缺陷的信号处理单元。垂直照明单元将从光源发射的激光束转换为偏振转换单元中的线偏振光，并且在与线图案的长度方向正交的方向上偏振的状态下发射激光束，并且检测光学系统单元被配置为包括将由物镜聚光的反射和散射光的偏振状态转换为线偏振光的滤光器，以允许来自缺陷的散射光分量选择性地通过。

7. 发明专利

JP2015516574A 可変偏光ウェハ検査审中-公开
标题翻译：可变偏振晶片检查
公开(公告)号：JP2015516574A
公开(公告)日：2015-06-11
申请号：JP2015505836
申请日：2013-04-08
申请人：ケーエルエー−テンカーコーポレイション , ケーエルエー−テンカーコーポレイション
发明人：シェンジャオペン , シェンジャオペン , マークシーワン , マークシーワン , グレイスシウ−リンチェン , グレイスシウ−リンチェン
IPC分类号： G01N21/956
CPC分类号： G01N21/8806 , G01N21/21 , G01N21/9501 , G01N2021/8848
摘要：可変偏光ウェハ検査のための方法およびシステムが提供される。1つのシステムは、ウェハから散乱された光であって、検査システムの1つ以上のチャネルによって検出される光の1つ以上の経路において1つ以上の偏光構成要素位置を含む。(複数の)偏光構成要素は、(複数の)偏光構成要素についての2つ以上の偏光設定から選択された(複数の)検出偏光を有するように構成される。
摘要翻译：提供了一种用于可变偏振晶片检查的方法和系统。一个系统包括：从晶片散射光，其包括位于由检查系统的一个或多个通道检测到的光的一个或多个路径的一个或多个偏振元件。（S）偏振分量被配置成具有从偏振光成分（S）的两个或更多个偏振设置中选择一个检测偏振（S）。

8. 发明专利

JP2013003123A Cracking prediction device and discrimination system for dried noodle 审中-公开
标题翻译：破碎预测装置和干燥剂的辨别系统
公开(公告)号：JP2013003123A
公开(公告)日：2013-01-07
申请号：JP2011138100
申请日：2011-06-22
申请人： Nisshin Seifun Group Inc , 株式会社日清製粉グループ本社 , Univ Of Shiga Prefecture , 公立大学法人滋賀県立大学
发明人： HIGUCHI MASAHIRO , YOSHIDA SATOSHI
IPC分类号： G01N21/89 , A23L7/109 , G01N21/23 , G01N21/892
CPC分类号： G06T7/0002 , B07C5/3416 , G01N21/23 , G01N21/8806 , G01N21/95 , G01N2021/8848
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cracking prediction device for dried noodle that can predict cracking of dried noodles in advance.SOLUTION: Light emitted by a halogen lamp 4 of a light source part 1 is converted into circular polarized light by a circular polarizing filter 5, converged by a condenser lens 6, and applied to a sample S. Light transmitted through the sample S is converted into parallel light by an objective 7 and then reaches a CCD camera 9 through an elliptic polarized light analyzer 8. The CCD camera 9 acquires a phase difference image formed by converting a phase difference generated owing to birefringence of the sample S when the light is transmitted through the sample S into a contrast. Based upon data on the phase difference image, a prediction part 3 measures a birefringence phase difference quantity that the sample S has and also evaluates the magnitude of residual stress in the sample S from the measured birefringence phase difference quantity so as to predict whether the sample S cracks according to the evaluated magnitude of the residual stress.
摘要翻译：要解决的问题：提供可以预先预测干燥面条的破裂的干燥面的开裂预测装置。解决方案：由光源部分1的卤素灯4发射的光由圆偏振滤光器5转换成圆偏振光，由聚光透镜6会聚，并施加到样品S.透过样品的光 S通过物镜7转换为平行光，然后通过椭圆偏振光分析器8到达CCD照相机9. CCD摄像机9获取通过将由于样品S的双折射而产生的相位差转换成的相位差图像光通过样品S透射成对比度。基于相位差图像的数据，预测部分3测量样品S具有的双折射相位差量，并且还根据测量的双折射相位差量来评估样品S中的残余应力的大小，以便预测样品 S根据评估的残余应力大小进行裂纹。版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

9. 发明专利

JP2018082424A 画像形成装置审中-公开
公开(公告)号：JP2018082424A
公开(公告)日：2018-05-24
申请号：JP2017143788
申请日：2017-07-25
申请人：パナソニックIPマネジメント株式会社
发明人：金森克洋 , 小澤順
IPC分类号： G01N21/21 , G03B19/07 , G03B15/05 , G03B15/02 , H04N7/18 , H04N5/225 , H04N5/232
CPC分类号： G01N21/21 , A61B3/117 , A61B3/14 , G01N21/8806 , G01N21/958 , G01N2021/8848 , G02B27/28 , G06T2207/20216
摘要：【課題】偏光撮像において視差の影響を抑制する。【解決手段】第1偏光で被写体を照明時に得る第1および第2の偏光画像、第2偏光で被写体を照明時に得る第3および第4の偏光画像に基づいて画像を形成し、第1偏光の被写体での鏡面反射に起因して第1偏光画像に現れる複数の第1輝点の像および第2偏光の被写体での鏡面反射に起因して第4偏光画像に現れる複数の第2輝点の像に基づいて平行移動された第1偏光画像、第2偏光画像、第3偏光画像および第4偏光画像から被写体の画像を形成し、前記画像形成回路は、平行移動がなされた前記第1偏光画像および前記第4偏光画像を平均化した第1平均化画像と、平行移動がなされた前記第2偏光画像および前記第3偏光画像を平均化した第2平均化画像との間の差分を求めることによって前記被写体の画像を形成する。【選択図】図1

10. 发明专利

JP2018072075A 偏光イメージ取得装置、パターン検査装置、偏光イメージ取得方法、及びパターン検査方法审中-公开
公开(公告)号：JP2018072075A
公开(公告)日：2018-05-10
申请号：JP2016209664
申请日：2016-10-26
申请人：株式会社ニューフレアテクノロジー
发明人：小川力
IPC分类号： G01N21/88 , G03F1/84 , G01N21/956
CPC分类号： G06T7/001 , G01N21/956 , G01N21/95607 , G01N2021/8848 , G01N2021/8896 , G01N2021/95676 , G01N2201/0683 , G02B5/3025 , G02B5/3083 , G02B15/15 , G02B21/0092 , G02B27/0938 , G02B27/10 , G02B27/283 , G03F1/84 , G03F7/70491 , G06T5/50 , G06T2207/10148 , G06T2207/30148 , H04N5/2254 , H04N5/2258
摘要：【目的】露光装置で転写される場合の露光イメージ画像を作成するために利用可能な偏光イメージを取得する装置及び方法を提供する。【構成】本発明の一態様の偏光イメージ取得装置は、マスク基板を透過した透過光を入射する対物レンズ171と、対物レンズに対してマスク基板とは反対側の位置であって対物レンズの瞳位置付近に配置され、対物レンズを通過後の透過光のP偏光波とS偏光波とを互いに直交する方向に揃える分割型1/2波長板190と、P偏光波の軌道とS偏光波の軌道とを分離するロションプリズム192と、ロションプリズムを通過したP偏光波とS偏光波とをそれぞれ異なる結像位置に結像する結像レンズ172と、P偏光波とS偏光波との一方の結像位置とは異なる他方の結像位置で他方を反射するミラー174と、P偏光波とS偏光波とのうちの一方の像を撮像するフォトダイオードアレイ105と、P偏光波とS偏光波とのうちの他方の像を撮像するフォトダイオードアレイ205と、を備えたことを特徴する。【選択図】図1

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