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1. 发明专利

JPWO2019107123A1 バルブ装置、このバルブ装置を用いた流体制御装置および半導体製造装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2019107123A1
公开(公告)日：2020-11-26
申请号：JP2018041779
申请日：2018-11-12
申请人：株式会社フジキン
发明人：渡辺一誠 , 執行耕平 , 相川献治 , 中田知宏 , 松田隆博 , 篠原努
IPC分类号： F16K7/14 , F16K1/42
摘要：【課題】オリフィスが組み込まれかつ低コストで製造可能なバルブ装置を提供する。【解決手段】バルブボディ20は、バルブボディ20の表面で開口しかつバルブ要素が内蔵される収容凹部22と、収容凹部22に接続された一次側流路21および二次側流路24と、を画定し、バルブ要素2は、一次側流路21と二次側流路24との収容凹部22を通じた直接的な連通を遮断するシール部50b2,50b3と、バルブ要素2を通じて一次側流路21と二次側流路24とを連通させる貫通流路50、16pとを有し、貫通流路50,16pに、オリフィス16pが形成されている。【選択図】図3

2. 发明专利

JPWO2019087838A1 バルブ装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2019087838A1
公开(公告)日：2020-11-12
申请号：JP2018039154
申请日：2018-10-22
申请人：株式会社フジキン
发明人：渡辺一誠 , 執行耕平 , 相川献治 , 中田知宏 , 松田隆博 , 篠原努
IPC分类号： F16K27/02
摘要：必要な流量を確保しつつ、バルブボディの流路の配置自由度を飛躍的に高めることが可能な小型化されたバルブ装置を提供する。前記バルブ装置は、収容凹部(22)内に設けられ、バルブシート(16)のシール面(16f)が当接し当該シール面(16f)からの押圧力を支持する支持面(50f1)を有するバルブシートサポート(50)と、バルブシート(16)の座面(16s)に当接および離隔可能に収容凹部(22)内に設けられ、収容凹部(22)の開口側を密閉するダイヤフラム(14)とを有し、バルブシートサポート(50)は、収容凹部(22)の内壁面の一部と協働して一次側流路(21)と二次側流路(24)との連通を遮断するシール面(50b1,50b2,50b3)と、一次側流路(21)とバルブシート(16)の流通流路(16a)とを接続する迂回流路(50a)を有する。

3. 发明专利

JPWO2020158512A1 流路アセンブリ、この流路アセンブリを用いたバルブ装置、流体制御装置、半導体製造装置および半導体製造方法审中-公开
公开(公告)号：JPWO2020158512A1
公开(公告)日：2021-12-09
申请号：JP2020001955
申请日：2020-01-21
申请人：株式会社フジキン
发明人：稲田敏之 , 渡辺一誠 , 相川献治 , 執行耕平 , 中田知宏 , 松田隆博 , 篠原努
IPC分类号： F16K51/00 , F16K27/00
摘要：オリフィスやフィルター等の機能部品が組み込まれた流路アセンブリであって、機能部品と流路部品との間が長期間確実に密封された流路アセンブリを提供する。第1流路部材(51)は、環状シール部材(54)の中心軸線(Ct)方向の一端面を支持する第1のシール面(51f)を有し、前記第2流路部材は、プレート状部材の表面を支持する平坦面からなる第2のシール面と、環状シール部材の外周面を支持する第3のシール面とを有し、環状シール部材は、当該環状シール部材の他端面がプレート状部材の裏面に押し付けられ、当該環状シール部材の一端面が第1流路部材の第1のシール面に押し付けられ、当該環状シール部材の外周面が第2の流路部材の第3のシール面に押し付けられ、プレート状部材は環状シール部材の他端面により押圧されて当該プレート状部材の表面が第2流路部材の第2シール面に押し付けられる。

4. 发明专利

JPWO2017033423A1 圧電式リニアアクチュエータ、圧電駆動バルブ及び流量制御装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2017033423A1
公开(公告)日：2018-06-07
申请号：JP2017536210
申请日：2016-08-09
申请人：株式会社フジキン
发明人：執行耕平 , 廣瀬隆 , 西野功二 , 土肥亮介 , 安本直史
IPC分类号： H02N2/04 , F16K7/12 , F16K17/22 , F16K27/12 , F16K31/02 , H01L41/09
CPC分类号： F16K31/02 , H01L41/053 , H01L41/083 , H01L41/09 , H02N2/04
摘要：【課題】圧電式リニアアクチュエータ、圧電駆動バルブ、及び流量制御装置を薄型化する。【解決手段】積層圧電アクチュエータ2と、積層圧電アクチュエータ2を支持すると共に、該積層圧電アクチュエータ2の左右側方に延びる下部支持部材3と、積層圧電アクチュエータ2の左右両側に沿って延びると共に、下部支持部材3に対して上下動可能に交差し且つ積層圧電アクチュエータ2の圧電効果による変位を伝達する一対の変位伝達部材5と、下部支持部材3の下方において一対の変位伝達部材5に係止されて両変位伝達部材5の下端部同士を連結する出力部8とを備えた圧電式リニアアクチュエータ1であって、前記変位伝達部材5のそれぞれは、積層圧電アクチュエータ2の外周面に沿う円弧状内周面を有し且つ円弧状内周面に連なる側面を有する長尺部材状に形成されており、各変位伝達部材5の下端部に、下部支持部材3が挿通される縦長のガイド穴5aが対向状に形成されており、該ガイド穴5aの下方側の内周縁部に前記出力部8が係止されており、前記出力部8は、上端部が一対の変位伝達部材5の下端部間に挿入される円柱状部8aと、円柱状部8aの外周面に下部支持部材3に沿って突出形成され、一対の変位伝達部材5のガイド穴5aの下方側の内周縁部に係止される一対のアーム部8bとを備え、前記一対の変位伝達部材の幅寸法が、前記積層圧電アクチュエータの幅寸法と同一若しくは同程度の寸法に形成されている。【選択図】図4

5. 发明专利

JP2021120641A センサ取り付け構造及び流体制御装置审中-公开
公开(公告)号：JP2021120641A
公开(公告)日：2021-08-19
申请号：JP2020013889
申请日：2020-01-30
申请人：株式会社フジキン
发明人：横山真之介 , 執行耕平 , 上林正典
IPC分类号： F16L55/00 , G05D7/06 , G01L19/00
摘要：【課題】圧力センサを流路ブロック取り付ける際にC字型リングがシャフトから脱落することを回避することができるセンサ取り付け構造及び流体制御装置を提供する。【解決手段】センサ取り付け構造9は、第1流路ブロック1に形成される凹部16であって、底面で分岐流路13の一端が開口する凹部16と、内部に連通流路912が形成され、一端が第1圧力センサ5に接続されるとともに他端にフランジ911が設けられるシャフト91と、シャフト91の他端と凹部16の底面との間に介装されるガスケット92と、内周側にシャフト91が挿通されるように凹部16に設けられる筒状のボンネット93と、ボンネット93とフランジ911との間に挟持され、フランジ911を凹部16の底面側に押圧するC字型リング94と、シャフト91とC字型リング94との間に介装されるOリング96と、を備える。【選択図】図2

6. 发明专利

JP6899141B2 流体制御装置におけるシール部材の固定構造、継手および流体制御装置有权
公开(公告)号：JP6899141B2
公开(公告)日：2021-07-07
申请号：JP2017536732
申请日：2016-08-10
申请人：株式会社フジキン
发明人：執行耕平 , 廣瀬隆 , 西野功二 , 土肥亮介 , 安本直史
IPC分类号： F16K51/00 , F16L55/24 , F16L41/00 , F16K27/00

7. 发明专利

JP6799859B2 圧電式リニアアクチュエータ、圧電駆動バルブ及び流量制御装置有权
公开(公告)号：JP6799859B2
公开(公告)日：2020-12-16
申请号：JP2017536210
申请日：2016-08-09
申请人：株式会社フジキン
发明人：執行耕平 , 廣瀬隆 , 西野功二 , 土肥亮介 , 安本直史
IPC分类号： H01L41/09 , F16K31/02 , F16K7/12 , F16K17/22 , F16K27/12 , H02N2/04

8. 发明专利

JPWO2019107139A1 バルブ装置、このバルブ装置を用いた流体制御装置および半導体製造装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2019107139A1
公开(公告)日：2020-12-10
申请号：JP2018041944
申请日：2018-11-13
申请人：株式会社フジキン
发明人：渡辺一誠 , 執行耕平 , 相川献治 , 中田知宏 , 松田隆博 , 篠原努
IPC分类号： F16K27/00 , F16K7/16
摘要：【課題】小型化、低コスト化が可能でかつブリード機能をもつバルブ装置を提供する。【解決手段】バルブボディ(20)は、当該バルブボディ(20)の表面で開口しかつバルブ要素(2)が内蔵される収容凹部(22)と、収容凹部(22)に接続された一次側流路(21)および二次側流路(24)と、を画定し、バルブ要素(2)は、一次側流路(21)と二次側流路(24)との収容凹部(22)を通じた直接的な連通を遮断するシール部と、バルブ要素(2)を通じて一次側流路(21)と二次側流路(24)とを連通させる迂回流路(50a)と、迂回流路(50a)と収容凹部(22)を介して二次側流路(24)とを連通させるブリード孔(50p)とを有する。【選択図】図2

9. 发明专利

JPWO2020066491A1 ダイヤフラムバルブ及び流量制御装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2020066491A1
公开(公告)日：2021-09-02
申请号：JP2019034554
申请日：2019-09-03
申请人：株式会社フジキン
发明人：執行耕平 , 廣瀬隆
IPC分类号： F16K27/12 , F16K7/12
摘要：ステムの軸ブレを低減したダイヤフラムバルブを提供する。当該ダイヤフラムバルブは、内部に流体の流路(16a、16b)を有し、一面にダイヤフラム配置部(16d)を有するバルブボディ(16)と、前記ダイヤフラム配置部(16d)に配置され、弾性変形により前記流路の開閉及び開度の調節が可能なダイヤフラム(17)と、前記ダイヤフラム(17)を押圧して弾性変形させるステム(8)及び該ステム(8)を駆動するアクチュエータ(2)を有する駆動部(12)とを有するダイヤフラムバルブにおいて、前記ステム(8)は、前記バルブボディ(16)側に固定されたボンネット(10)により、樹脂製のスリーブ(15)を介して軸方向に変位可能に保持されていることを特徴とする。

10. 发明专利

JPWO2019087879A1 流路アセンブリおよびバルブ装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2019087879A1
公开(公告)日：2020-12-17
申请号：JP2018039424
申请日：2018-10-24
申请人：株式会社フジキン
发明人：渡辺一誠 , 執行耕平 , 相川献治 , 中田知宏 , 松田隆博 , 篠原努
IPC分类号： F16K27/00 , F16K27/02 , F16K7/16 , F16L55/00
摘要：オリフィスやフィルター等の機能部品が組み込まれた流路アセンブリであって、機能部品と流路を画定する流路部品との間が長期間確実に密封された流路アセンブリを提供する。流路部材(51,52)の対向面(51f,52f)の外側において流路部材(51,52)の間に介在する環状の弾性部材(54)を有し、流路部材(52)はカシメ部(52e_c)を有し、カシメ部(52e_c)は流路部材(51,52)とプレート状部材とを一体化し、対向面(51f,52f)の一方が対向面(51f,52f)の他方に向かうように流路部材(52)に力を及ぼし、プレート状部材であるオリフィスプレート(53)と対向面(51f,52f)との間をシールし、弾性部材(54)は、流路部材(51,52)の間で圧し潰されて流路部材(51,52)の間をシールする。

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