专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

JP2021116907A バルブ装置审中-公开
公开(公告)号：JP2021116907A
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：JP2020012217
申请日：2020-01-29
申请人：株式会社フジキン
发明人：渡辺一誠 , 中田知宏 , 篠原努
IPC分类号： F16K27/02 , F16K1/46 , F16K7/16
摘要：【課題】かしめによる弁座の変形を抑制することによって弁座のシール性を向上させることができるバルブ装置を提供する。【解決手段】バルブ装置1は、一端を有する流体流入流路231が形成されるとともに、流体流入流路231の一端の外周側に突出部25設けられる流路ブロック本体21と、突出部25の内周側に挿入され突出部25のみをかしめることによって固定される弁座26と、弁座26から離間又は弁座26に押圧されることによって流路23を開閉するダイヤフラム3と、を備える。【選択図】図2

2. 发明专利

JPWO2019193978A1 バルブ装置および流体制御装置、流体制御方法、半導体製造装置及び半導体製造方法审中-公开
公开(公告)号：JPWO2019193978A1
公开(公告)日：2021-06-17
申请号：JP2019011742
申请日：2019-03-20
申请人：株式会社フジキン
发明人：佐藤龍彦 , 篠原努 , 中田知宏 , 三浦尊
IPC分类号： H01L21/02 , F16K7/16
摘要：より安定的に大きな流量を制御することのできるバルブ装置を提供する。バルブ装置(1)は、第1の流路(21)及び第2の流路(22)を形成するバルブボディ(2)と、第1の流路の開口周囲に配置される内側環状部(32)、内側環状部の外周側に配置された外側環状部(31)、及び内側環状部と外側環状部とを接続する接続部(37)を有するインナーディスク(3)と、内側環状部上に配置されるバルブシート(48)と、周縁部が外側環状部と接触し、バルブシートに対して接触しない開位置及び接触する閉位置の間で移動することにより第1の流路と第2の流路との連通及び遮断を行うダイヤフラム(41)と、外側環状部との間にダイヤフラムの周縁部を挟んで接触する押えアダプタ(43)と、を備え、外側環状部がダイヤフラムと接触するダイヤフラム接触面の最外側の位置は、外側環状部が軸方向に垂直な面でバルブボディと接触するボディ接触面の最内側の位置よりも外側である。

3. 发明专利

KR20210033498A KR20210033498A - Fluorine gas-containing gas supply method and supply equipment 审中-公开
公开(公告)号：KR20210033498A
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：KR1020217004500A
申请日：2019-07-30
申请人： 쇼와 덴코 가부시키가이샤
发明人： 유야 니시오
IPC分类号： F17C7/00 , F16K7/16 , F17C13/02 , H01L21/67
CPC分类号： F16K7/16 , F17C13/00 , F17C13/025 , F17C7/00 , H01L21/67017 , F17C2270/0518
摘要： 불소 가스 함유 가스의 공급 설비의 장치구성이 복잡하게 되지 않고, 또한, 불소 가스 함유 가스의 불소 가스 농도를 저하시키지 않는 불소 가스 함유 가스의 공급 방법을 제공한다. 배관(4) 중 용기 밸브(3)와 압력 조정기(7) 사이의 부분에, 제 1 불소 가스 함유 가스의 불소 가스 농도에 대해서 ±10%의 범위 내의 불소 가스 농도를 갖는 제 2 불소 가스 함유 가스를 충전 용기(2) 내의 가스 압력보다 낮은 압력이 되도록 도입하는 봉입 공정을 행한다. 봉입 공정 후에, 버퍼 탱크(9)를 개방 상태로 해서 배관(4) 중 용기 밸브(3)와 압력 조정기(7) 사이의 부분으로 충전 용기(2)로부터 제 1 불소 가스 함유 가스를 도입하고, 그 후에, 압력 조정기(7)를 개방 상태로 해서 압력 조정기(7)에 의해 압력을 조정하면서 제 1 불소 가스 함유 가스를 소비 설비(20)로 공급한다.

4. 发明专利

JP2021021409A ダイヤフラムバルブ审中-公开
公开(公告)号：JP2021021409A
公开(公告)日：2021-02-18
申请号：JP2019136730
申请日：2019-07-25
申请人：株式会社フジキン
发明人：増田一隆 , 北野太一
IPC分类号： F16K7/16 , F16K37/00
摘要：【課題】配管が複雑にいりくみ、多数のダイヤフラムバルブを設置する状況においても、ダイヤフラムバルブを所定の角度に容易、かつ、正確に傾けて設置することができるダイヤフラムバルブを提供する。【解決手段】上流側配管端部と下流側配管端部とに挟持されるように配設され、該配管内流体の流れを阻止する弁座と弁体を備え、該弁体を作動するステムの中心軸を配管の軸心に対して回動可能に取り付けるようにしたダイヤフラムバルブにおいて、前記ステムの中心軸の水平面または垂直面に対する角度を表示する角度表示機構を備える。【選択図】図1

5. 发明专利

JP2020159505A 流量調節弁装置审中-公开
公开(公告)号：JP2020159505A
公开(公告)日：2020-10-01
申请号：JP2019061143
申请日：2019-03-27
申请人：東京計装株式会社
发明人：米村行平
IPC分类号： F16K7/16 , F16K1/32 , F16K31/04
摘要：【課題】ダイヤフラム弁のシール性を維持すると共に、本体部をモータ部に対して所定方向に容易に取り付け可能な流量調節弁装置を提供する。【解決手段】弁箱21の上面にダイヤフラム弁22を固定した本体部20に、回動自在に連結部30を取り付け、連結部30をモータ部60の昇降体64に取り付ける。この取り付けに際して、連結部30を昇降体64にねじ込み螺合する際に連結部30が回転しても、本体部20は連結部30に回転自在に取り付けられており、共に回転することはない。連結部30を昇降体64へ完全にねじ込んで回転が停止した後に、弁箱21の流入口23a、流出口23bが所定方向を向くように、本体部20を連結部30に対して自在に回転させてから、モータ部60を一体化して固定する。【選択図】図4

6. 发明专利

JP2020143769A ダイヤフラムバルブ审中-公开
公开(公告)号：JP2020143769A
公开(公告)日：2020-09-10
申请号：JP2019042650
申请日：2019-03-08
申请人：積水化学工業株式会社
发明人：土田理彩子
IPC分类号： F16K7/16
摘要：【課題】長期性能を向上させることが可能なダイヤフラムバルブを提供すること。【解決手段】ダイヤフラムバルブ10は、弁本体11と、ダイヤフラム12と、駆動機構14と、隔膜ボルト65と、を備える。弁本体11の内部に形成された流路24に当接部33aが設けられている。ダイヤフラム12は、弁本体11に配置され、当接部33aに接触することにより流路を閉塞可能である。駆動機構14は、ダイヤフラム12を駆動することにより流路24を開閉する。隔膜ボルト65は、ダイヤフラム12と駆動機構14を連結する。隔膜ボルト65は、外周面に形成された雄ネジ形状72aを含み、ダイヤフラム12に挿入された挿入部72を有する。ダイヤフラム12は、雄ネジ形状72aに対応し、内周面に形成された雌ネジ形状128bを含み、挿入部72と螺合する挿入孔128aを有する。【選択図】図14B

7. 发明专利

JP2020122533A ダイヤフラムバルブの製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2020122533A
公开(公告)日：2020-08-13
申请号：JP2019015306
申请日：2019-01-31
申请人：株式会社フジキン
发明人：近藤研太 , 篠原努 , 中田知宏 , 佐藤秀信
IPC分类号： F16K31/122 , F16K7/16
摘要：【課題】流量の経時変化を低減でき、耐久性への影響を低減できる、ダイヤフラムバルブの製造方法を提供する。【解決手段】上面に開口した弁室を有し、該弁室の底面に開口した流体流入・流出通路が内部に設けられたボディと、弁室の底面における流体流入通路の開口部の周囲に配置された環状のシートと、弁室を密閉するとともに弾性変形してシートに当接・離間することで流体流入通路の閉止・開放を行うダイヤフラムと、先端部が、ダイヤフラムを押圧しシートに当接・離間させるダイヤフラム操作部と、を備えたダイヤフラムバルブを製造する方法であって、押圧時に対する離間時の、ダイヤフラム操作部先端部の上昇量を所定量に調整するステップd1と、その後、前記ダイヤフラム操作部により、ダイヤフラムを所定回数前記シートに当接・離間させる慣らし運転を行うステップd2と、を含むことを特徴とする。【選択図】図5

8. 发明专利

JP2020006343A 流体取扱装置および流体取扱システム审中-公开
公开(公告)号：JP2020006343A
公开(公告)日：2020-01-16
申请号：JP2018131752
申请日：2018-07-11
申请人：株式会社エンプラス
发明人：砂永伸也
IPC分类号： G01N37/00 , F16K7/16 , F16K37/00 , B01J19/00
摘要：【課題】起動時のロータリー部材の回転位置および動作時のロータリー部材の回転角度を特定することができ、ロータリー部材を所期の位置まで確実に回転させることができる流体取扱装置を提供すること。【解決手段】流体取扱装置は、回転軸を中心とする円の円周上に配置され、流路チップのバルブのダイヤフラムを押圧する凸部と、当該円周上に配置され、バルブのダイヤフラムを押圧しない凹部とを有し、回転軸を中心として回転可能なロータリー部材と、ロータリー部材に配置された第1マーカーおよびロータリー部材にその回転方向に沿って配置された複数の第2マーカーと、第1マーカーを透過した光または第1マーカーで反射された光を検出する第1検出部と、第2マーカーを透過した光または第2マーカーで反射された光を検出する第2検出部とを有する。【選択図】図5

9. 发明专利

JP2019090500A バルブ駆動装置およびダイヤフラムバルブ审中-公开
公开(公告)号：JP2019090500A
公开(公告)日：2019-06-13
申请号：JP2017220714
申请日：2017-11-16
申请人： IIZUKA TEKKOSHO KK
发明人： IIZUKA HAJIME , NAKAGAWA SEIICHI , NAKAMURA KATSUHIRO , JINBO YOSHIHIRO
IPC分类号： F16K31/524 , F16K7/16 , F16K35/00
摘要：【課題】より一層円滑な動きが得られ、製造コストも低減されたバルブ駆動装置を提供する。【解決手段】所定の軸線Ctを中心に回転自在に保持され、カム溝42を含む溝部41を外周面に有するステム40と、所定の軸線周りの回転が規制され、所定の軸線方向に進退可能に案内された可動部材50と、可動部材に形成された保持凹部とステムの溝部とにより保持され、ステム40の回転に伴って溝部41を移動するボール60とを有する。溝部41は、カム溝42の両端部に、当該カム溝42に連続して形成され、かつ、ステム40の回転位置を解除可能にロックするロック溝43,44を有する。【選択図】図2A

10. 发明专利

JP2019015297A バルブ駆動装置およびダイヤフラムバルブ审中-公开
公开(公告)号：JP2019015297A
公开(公告)日：2019-01-31
申请号：JP2017130786
申请日：2017-07-04
申请人：株式会社飯塚鉄工所
发明人：飯塚肇 , 中川誠一 , 中村勝宏 , 神保義裕
IPC分类号： F16K7/16 , F16K31/528
摘要：【課題】より一層円滑な動きが得られ、製造コストも低減されたバルブ駆動装置を提供する。【解決手段】中心軸線Ctを中心に回転自在に保持され、カム溝42と当該カム溝42の両端部に連続して形成された係止溝43,44とを含む溝部41を外周面40aに有するステム40と、溝部41に係合可能なボール60と、操作部材に連結され、中心軸線Ct周りの回転が規制され、中心軸線Ct方向に進退可能に案内され、中心軸線Ctに直交する方向に形成されかつボール60を収容可能な収容孔52を有する可動部材50と、ボール60を収容孔52から突出させつつステム40の溝部41に係合させて当該ボール60が当該溝部41と収容孔52によって保持されるように当該ボール60を当該ステム40に向けて付勢するコイルばね70と、を有する。【選択図】図2A

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式