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1. 发明专利

JPWO2020090521A1 流体制御装置および流体制御装置の製造方法审中-公开
公开(公告)号：JPWO2020090521A1
公开(公告)日：2021-09-16
申请号：JP2019041077
申请日：2019-10-18
申请人：株式会社フジキン
发明人：相川献治 , 中田知宏 , 稲田敏之 , 原田章弘 , 松田隆博 , 篠原努
IPC分类号： F16K27/00
摘要：【課題】流体の供給流量を減少させることなく、一層の小型化、集積化を実現した流体制御装置であって、組立工数も削減された流体制御装置、及び流体装置の製造方法を提供する。【解決手段】上面に開口した流体流路を画定し、底面側に係合部を有する継手ブロック20と、ガイド部55により継手ブロック20の長手方向への移動を許容しつつ当該継手ブロック20を上面に拘束している支持部材50と、継手ブロック20の上面に固定された流体機器と、を有する流体制御装置であって、支持部材50には、一以上のプランジャ500が、先端部が支持部材の上面から突出するように設けられ、継手ブロックの底面には凹部が設けられ、該凹部が前記プランジャ500の先端部と係合することにより、継手ブロック20の長手方向の位置が位置決めされている。【選択図】図2A

2. 发明专利

JP6923220B2 バルブ装置、このバルブ装置を用いた流量制御方法および半導体製造方法有权
公开(公告)号：JP6923220B2
公开(公告)日：2021-08-18
申请号：JP2018553732
申请日：2017-11-02
申请人：株式会社フジキン
发明人：吉田俊英 , 中田知宏 , 篠原努 , 稲田敏之 , 船越高志 , 佐藤秀信 , 湯原知子
IPC分类号： F16K7/14 , F16K31/02 , F16K31/122 , F16K1/00

3. 发明专利

JP6824162B2 管継手方法、管継手用部品、該部品を備える管継手、流体制御器、流体制御装置、及び半導体製造装置有权
公开(公告)号：JP6824162B2
公开(公告)日：2021-02-03
申请号：JP2017521920
申请日：2016-05-27
申请人：株式会社フジキン
发明人：渡辺一誠 , 稲田敏之 , 四方出 , 篠原努
IPC分类号： F16L37/14

4. 发明专利

JP2020138282A 締結ドライバ审中-公开
公开(公告)号：JP2020138282A
公开(公告)日：2020-09-03
申请号：JP2019035955
申请日：2019-02-28
申请人：株式会社フジキン
发明人：星子泰輝 , 稲田敏之
IPC分类号： B23P19/06 , B25B23/14
摘要：【課題】狭小スペースで干渉物を回避しなければならない作業環境下において、複数の締結部材の締結を同時に且つトルク管理しながら行うことができ、締結の作業性及び信頼性を向上することができる小型の締結ドライバを提供する。【解決手段】締結ドライバ1は、ビット11を有する複数の回転軸10と、回転軸10の軸部の途中に介在される差動装置20と、複数の回転軸10に差動装置20を介して連結される駆動ギヤ31を有する駆動軸30とを備え、差動装置20は、駆動軸30の回転を駆動ギヤ31を介して複数の回転軸10に伝達し、複数の締結部材3をビット11により締結する一方、複数の締結部材3の締結が完了すると、駆動軸30からの複数の回転軸10への回転の伝達を遮断し、複数の回転軸10の第1軸心A1と駆動軸30の第2軸心A2とは、複数のビット11が互いに近づく方向にそれぞれ交差する。【選択図】図5

5. 发明专利

JP2020106346A ガス処理装置审中-公开
公开(公告)号：JP2020106346A
公开(公告)日：2020-07-09
申请号：JP2018244003
申请日：2018-12-27
申请人：株式会社フジキン
发明人：横田淳 , 豊田悠太 , 稲田敏之
IPC分类号： G01L19/08
摘要：【課題】アナログ式の圧力計を用いつつ遠隔での圧力計測を可能としたガス処理装置を提供すること。【解決手段】ガス処理装置は、複数の流量制御機器を収容するガスボックスを備えたガス処理装置であって、流量制御機器を流れるガスの圧力を検知するアナログ式の圧力計と、ガスボックスの一部を構成し、圧力計の表示部を視認可能な窓部が形成された天面パネルと、天面パネルの裏面側に設置され、圧力計の表示部を撮像する撮像装置と、天面パネルの裏面側に設置され、撮像装置の撮像範囲を照らすライトと、を含んで構成される。【選択図】図10

6. 发明专利

JP2020085086A 流体制御装置审中-公开
公开(公告)号：JP2020085086A
公开(公告)日：2020-06-04
申请号：JP2018217923
申请日：2018-11-21
申请人：株式会社フジキン
发明人：里見優樹 , 稲田敏之 , 相川献治 , 佐藤秀信 , 上林正典
IPC分类号： F15B1/00
摘要：【課題】複数のエアオペレートバルブ間の動作のタイミングばらつきを低減できる駆動流体の供給系を含む、流体制御装置を提供する。【解決手段】駆動流体供給源101から供給される駆動流体の圧力を調節する圧力レギュレータ103と、該圧力レギュレータからの駆動流体を複数に分岐して供給する供給配管104と、前記分岐された供給配管のそれぞれに接続された、3方弁からなるパイロットバルブ105a〜105fと、前記各パイロットバルブに接続されたエアオペレートバルブ106a〜106fと、を含む流体制御装置において、前記供給配管104の途中にバッファ104−1を設けたことを特徴とする。【選択図】図1

7. 发明专利

JPWO2019009107A1 アクチュエータ、バルブ、および半導体製造装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2019009107A1
公开(公告)日：2020-04-30
申请号：JP2018023883
申请日：2018-06-22
申请人：株式会社フジキン
发明人：三浦尊 , 篠原努 , 中田知宏 , 稲田敏之 , 渡辺一誠 , 近藤研太 , 佐藤秀信 , 湯原知子
IPC分类号： F16K31/122 , H01L21/31 , F15B15/14
摘要：ピストンの移動速度を定速度にすることが可能なアクチュエータ、バルブ、および半導体製造装置を提供する。第1、2外周部収容溝(22g、23g)が内周部に形成されたケーシングと、第1、2内周部収容溝(31c、34c)が外周部に形成され、ケーシング内に設けられてケーシングとともに第1、2圧力室(S1、S2)を形成し、駆動流体により駆動する第1、2ピストン(31、34)と、第1、2外周部収容溝(22g、23g)にはめ込まれる第1、2内周部(33A、36A)と第1、2内周部収容溝(31c、34c)にはめ込まれる第1、2外周部(33B、36B)とを有し、第1、2圧力室(S1、S2)を密閉する環状の第1、2シール部材(33、36)と、を備えるアクチュエータ(20)と、第1、2ピストン(31、34)の駆動により、流体通路(11b、11c)を開閉させるためにボディ(10)に対し近接および離間可能に設けられたステム(26)とを備える。

8. 发明专利

JP2020034136A アクチュエータ及びそれを備えたエアオペレートバルブ审中-公开
公开(公告)号：JP2020034136A
公开(公告)日：2020-03-05
申请号：JP2018163126
申请日：2018-08-31
申请人：株式会社フジキン
发明人：池田隼也 , 中田知宏 , 松田隆博 , 稲田敏之
IPC分类号： F16K31/122 , F16K37/00 , F15B15/14
摘要：【課題】ステムに対するピストンの傾きを防止する調芯機能と、圧力室のシール機能との双方を実現することができるアクチュエータ及びそれを備えたエアオペレートバルブを提供する。【解決手段】アクチュエータ18は、ステム14が昇降可能に支持されるハウジング34と、ハウジング34内に区画される作動流体の圧力室36と、ハウジング34内にステム14とともに昇降可能に収容されるピストン38とを有し、ピストン38は、ステム14の昇降に伴いハウジング34の内壁34eに摺動される摺動外周面38aと、圧力室36を内壁34eとともに区画し、作動流体の圧力を受ける第1受圧面38bと、ステム14の外周面30aに圧入される圧入面部50及び該圧入面部50に連なって第1受圧面38bに亘って切り欠いて形成され環状の第1弾性部材48が嵌入される第1嵌入部52からなる固定内周面38cとを有する。【選択図】図2

9. 发明专利

JPWO2018100968A1 バルブ装置、このバルブ装置を用いた流量制御方法および半導体製造方法审中-公开
公开(公告)号：JPWO2018100968A1
公开(公告)日：2019-10-17
申请号：JP2017039732
申请日：2017-11-02
申请人：株式会社フジキン
发明人：吉田俊英 , 中田知宏 , 篠原努 , 稲田敏之 , 船越高志 , 佐藤秀信 , 湯原知子
IPC分类号： F16K7/14 , F16K1/00
摘要：【課題】流量制御範囲が広がり、汎用性が向上したバルブ装置を提供する。【解決手段】流路12,13を画定するバルブボディ10と、バルブボディ10に対して流路12,13を開閉可能に設けられたダイヤフラム20と、ダイヤフラム20を操作して流路12,13を開閉させる開閉方向A1,A2に移動可能に設けられた操作部材40と、操作部材40に対して開閉方向の開方向A1又は閉方向に与えられる操作圧に応じた駆動力を付与する主アクチュエータ60と、流路の開度を規定する操作部材40の位置を互いに異なる第1の開位置P1又は第2の開位置P2に操作圧の大きさに応じて選択的に切り換え可能な切換機構と、第1の開位置P1および第2の開位置P2をそれぞれ独立に調節可能な調節機構70,80と、を有する。【選択図】図1

10. 发明专利

JP2019012433A 作業支援システム、装置、方法、及びコンピュータプログラム审中-公开
公开(公告)号：JP2019012433A
公开(公告)日：2019-01-24
申请号：JP2017129028
申请日：2017-06-30
申请人：株式会社フジキン
发明人：里見優樹 , 稲田敏之
IPC分类号： G06T1/00 , G06T19/00 , G05B19/418
摘要：【課題】実際にガスユニット内において適切に引き回されたエアチューブの形状に基づき、作業者に適切なエアチューブの引き回し形状を直感的に分かりやすく把握させ、作業者によるばらつきをなくす。【解決手段】作業者端末2と情報処理装置1とがネットワークを介して通信可能に構成された作業支援システムにおいて、作業者端末2は、撮影部21によりガスユニット内におけるエアチューブの引き回し状態を撮影し、合成処理部22により、撮影画像と、エアチューブが適切に引き回された実際のガスユニット内のモデル画像を合成させた合成画像を生成すると、画像表示部23により当該合成画像を表示する。情報処理装置1は、モデル画像記憶部1Aにモデル画像を記憶しており、抽出処理部11によりモデル画像記憶部1Aを参照してモデル画像を抽出し、作業者端末2に対し当該モデル画像を送信する。【選択図】図1

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