专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

JPWO2020090521A1 流体制御装置および流体制御装置の製造方法审中-公开
公开(公告)号：JPWO2020090521A1
公开(公告)日：2021-09-16
申请号：JP2019041077
申请日：2019-10-18
申请人：株式会社フジキン
发明人：相川献治 , 中田知宏 , 稲田敏之 , 原田章弘 , 松田隆博 , 篠原努
IPC分类号： F16K27/00
摘要：【課題】流体の供給流量を減少させることなく、一層の小型化、集積化を実現した流体制御装置であって、組立工数も削減された流体制御装置、及び流体装置の製造方法を提供する。【解決手段】上面に開口した流体流路を画定し、底面側に係合部を有する継手ブロック20と、ガイド部55により継手ブロック20の長手方向への移動を許容しつつ当該継手ブロック20を上面に拘束している支持部材50と、継手ブロック20の上面に固定された流体機器と、を有する流体制御装置であって、支持部材50には、一以上のプランジャ500が、先端部が支持部材の上面から突出するように設けられ、継手ブロックの底面には凹部が設けられ、該凹部が前記プランジャ500の先端部と係合することにより、継手ブロック20の長手方向の位置が位置決めされている。【選択図】図2A

2. 发明专利

JPWO2019107123A1 バルブ装置、このバルブ装置を用いた流体制御装置および半導体製造装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2019107123A1
公开(公告)日：2020-11-26
申请号：JP2018041779
申请日：2018-11-12
申请人：株式会社フジキン
发明人：渡辺一誠 , 執行耕平 , 相川献治 , 中田知宏 , 松田隆博 , 篠原努
IPC分类号： F16K7/14 , F16K1/42
摘要：【課題】オリフィスが組み込まれかつ低コストで製造可能なバルブ装置を提供する。【解決手段】バルブボディ20は、バルブボディ20の表面で開口しかつバルブ要素が内蔵される収容凹部22と、収容凹部22に接続された一次側流路21および二次側流路24と、を画定し、バルブ要素2は、一次側流路21と二次側流路24との収容凹部22を通じた直接的な連通を遮断するシール部50b2,50b3と、バルブ要素2を通じて一次側流路21と二次側流路24とを連通させる貫通流路50、16pとを有し、貫通流路50,16pに、オリフィス16pが形成されている。【選択図】図3

3. 发明专利

JPWO2019087838A1 バルブ装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2019087838A1
公开(公告)日：2020-11-12
申请号：JP2018039154
申请日：2018-10-22
申请人：株式会社フジキン
发明人：渡辺一誠 , 執行耕平 , 相川献治 , 中田知宏 , 松田隆博 , 篠原努
IPC分类号： F16K27/02
摘要：必要な流量を確保しつつ、バルブボディの流路の配置自由度を飛躍的に高めることが可能な小型化されたバルブ装置を提供する。前記バルブ装置は、収容凹部(22)内に設けられ、バルブシート(16)のシール面(16f)が当接し当該シール面(16f)からの押圧力を支持する支持面(50f1)を有するバルブシートサポート(50)と、バルブシート(16)の座面(16s)に当接および離隔可能に収容凹部(22)内に設けられ、収容凹部(22)の開口側を密閉するダイヤフラム(14)とを有し、バルブシートサポート(50)は、収容凹部(22)の内壁面の一部と協働して一次側流路(21)と二次側流路(24)との連通を遮断するシール面(50b1,50b2,50b3)と、一次側流路(21)とバルブシート(16)の流通流路(16a)とを接続する迂回流路(50a)を有する。

4. 发明专利

JP2020085086A 流体制御装置审中-公开
公开(公告)号：JP2020085086A
公开(公告)日：2020-06-04
申请号：JP2018217923
申请日：2018-11-21
申请人：株式会社フジキン
发明人：里見優樹 , 稲田敏之 , 相川献治 , 佐藤秀信 , 上林正典
IPC分类号： F15B1/00
摘要：【課題】複数のエアオペレートバルブ間の動作のタイミングばらつきを低減できる駆動流体の供給系を含む、流体制御装置を提供する。【解決手段】駆動流体供給源101から供給される駆動流体の圧力を調節する圧力レギュレータ103と、該圧力レギュレータからの駆動流体を複数に分岐して供給する供給配管104と、前記分岐された供給配管のそれぞれに接続された、3方弁からなるパイロットバルブ105a〜105fと、前記各パイロットバルブに接続されたエアオペレートバルブ106a〜106fと、を含む流体制御装置において、前記供給配管104の途中にバッファ104−1を設けたことを特徴とする。【選択図】図1

5. 发明专利

JP2015124809A 下段部材の固定装置およびこれを備えた流体制御装置有权
标题翻译：下段装置的固定装置，以及具有该装置的流体控制装置
公开(公告)号：JP2015124809A
公开(公告)日：2015-07-06
申请号：JP2013268991
申请日：2013-12-26
申请人：株式会社フジキン
发明人：相川献治 , 松田隆博
IPC分类号： F16K27/00
CPC分类号： F16B5/0642 , F16B1/00 , F16K27/00 , F16K27/003 , F16B2001/0035
摘要：【課題】固定のための工具を不要とするとともに、固定の手間を削減した下段部材の固定装置およびこれを備えた流体制御装置を提供する。【解決手段】下段部材2の貫通孔11は、上面に開口する大径部11aと、大径部11aの下側に連なり下面に開口する小径部11bとからなる。固定部材14は、貫通孔11の小径部11a内に挿入される軸部21と、貫通孔11の大径部11b内に挿入される頭部22と、軸部21の下端に設けられた磁石部23とからなる。支持部材15は、磁性体製とされて、その上面に、固定部材11の磁石部23が嵌め入れられる凹所16が設けられている。固定部材11の磁石部23と支持部材15との間に作用する磁力によって、下段部材2の支持部材15からの離脱が防止されている。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种不需要固定工具并固定固定件的下阶段构件的定影装置，以及具有该固定装置的流体控制装置。解决方案：下段构件2的通孔11 包括在上表面上开口的大直径部分11a和与大直径部分11a的下侧相通并且向下表面敞开的小直径部分11b。固定构件14包括插入到通孔11的小直径部11b中的轴部21，插入到通孔11的大直径部11a中的头部22和设置在通孔11的下端的磁体部23 轴部21.支撑构件15由磁性材料制成，并且在支撑构件的上表面上设置有装配有固定构件14的磁体部23的凹部16。通过施加在固定构件14的磁体部分23和支撑构件15之间的磁力来防止下部构件2从支撑构件15脱离。

6. 发明专利

JPWO2020158512A1 流路アセンブリ、この流路アセンブリを用いたバルブ装置、流体制御装置、半導体製造装置および半導体製造方法审中-公开
公开(公告)号：JPWO2020158512A1
公开(公告)日：2021-12-09
申请号：JP2020001955
申请日：2020-01-21
申请人：株式会社フジキン
发明人：稲田敏之 , 渡辺一誠 , 相川献治 , 執行耕平 , 中田知宏 , 松田隆博 , 篠原努
IPC分类号： F16K51/00 , F16K27/00
摘要：オリフィスやフィルター等の機能部品が組み込まれた流路アセンブリであって、機能部品と流路部品との間が長期間確実に密封された流路アセンブリを提供する。第1流路部材(51)は、環状シール部材(54)の中心軸線(Ct)方向の一端面を支持する第1のシール面(51f)を有し、前記第2流路部材は、プレート状部材の表面を支持する平坦面からなる第2のシール面と、環状シール部材の外周面を支持する第3のシール面とを有し、環状シール部材は、当該環状シール部材の他端面がプレート状部材の裏面に押し付けられ、当該環状シール部材の一端面が第1流路部材の第1のシール面に押し付けられ、当該環状シール部材の外周面が第2の流路部材の第3のシール面に押し付けられ、プレート状部材は環状シール部材の他端面により押圧されて当該プレート状部材の表面が第2流路部材の第2シール面に押し付けられる。

7. 发明专利

JPWO2020085300A1 バルブ装置およびガス供給システム审中-公开
公开(公告)号：JPWO2020085300A1
公开(公告)日：2021-09-24
申请号：JP2019041303
申请日：2019-10-21
申请人：株式会社フジキン
发明人：相川献治 , 松田隆博 , 原田章弘 , 渡辺一誠 , 中田知宏 , 篠原努
IPC分类号： F16K27/00
摘要：【課題】小型化、集積化により適した構造を有する半導体製造プロセス等に用いられバルブ装置を提供する。【解決手段】収容凹部35に収容され、底面に第1のポート3p1および第2のポート3p2を有するバルブボディ3と、外周にねじ部20aが形成され収容凹部35の内周に螺合することにより、バルブボディ3を収容凹部35の底部に向けて押圧しつつ当該バルブボディ3を流路ブロック30に固定するボンネットナット20と、を有し、バルブボディ3は、第1のポート3p1および第2のポート3p2の周囲に底面3dから突出して形成されたシール用の第1および第2の環状突起4a,4bを有し、前記第1および第2の環状突起4a,4bは、一部を共用するように形成されている【選択図】図3

8. 发明专利

JPWO2019106959A1 流体供給ラインの異常診断方法审中-公开
公开(公告)号：JPWO2019106959A1
公开(公告)日：2020-12-03
申请号：JP2018037416
申请日：2018-10-05
申请人：株式会社フジキン
发明人：丹野竜太郎 , 相川献治 , 原田章弘 , 鈴木裕也 , 松田隆博 , 米華克典 , 落石将彦 , 篠原努
IPC分类号： F16K37/00 , G05D7/06
摘要：【課題】複数の流体制御機器によって構成される流体供給ライン全体の動作から流体制御機器の異常を診断する。【解決手段】流体密に連通する複数の流体制御機器F、V1、V2からなる流体供給ラインの異常を診断する方法は、流量制御装置内バルブFV、バルブV1、及びバルブV2のいずれか又は複数の弁を開閉する弁操作工程と、バルブV1から流量制御装置を介してバルブV2に至る流路R1、R2内の一部又は全部を真空状態又は加圧状態とする圧力調整工程と、圧力検出機構P1、P2によって、流量制御装置Fの流路内の経時的な圧力特性を取得する圧力検出工程と、圧力検出機構P1、P2によって取得された異常診断時の圧力特性と、同一条件下で予め測定された正常時の圧力特性とを対比し、異常の有無を判定する異常判定工程とを有する。【選択図】図13

9. 发明专利

JPWO2019065047A1 流体供給ライン及び動作解析システム审中-公开
公开(公告)号：JPWO2019065047A1
公开(公告)日：2020-11-05
申请号：JP2018031753
申请日：2018-08-28
申请人：株式会社フジキン
发明人：丹野竜太郎 , 相川献治 , 原田章弘 , 鈴木裕也 , 松田隆博 , 米華克典 , 落合将彦 , 篠原努
IPC分类号： G05D7/06
摘要：【課題】複数の流体制御機器によって構成される流体供給ライン全体を精密に監視する。また、流体制御機器ごとの動作のばらつきを抑えて流体供給ラインの精度を向上させる【解決手段】流体密に連通する複数の流体制御機器F1、V11〜V14からなる流体供給ラインL1は、流体供給ラインL1外の機構と、流体供給ラインL1上の流量制御機器とF1を接続する第一の接続手段と、流体供給ラインL1において第一の接続手段から分岐し、他の流体制御機器F1、V11〜V14に接続する第二の接続手段とを有する。【選択図】図1

10. 发明专利

JPWO2019059043A1 バルブ装置、流量調整方法、流体制御装置、流量制御方法、半導体製造装置および半導体製造方法审中-公开
公开(公告)号：JPWO2019059043A1
公开(公告)日：2020-09-10
申请号：JP2018033596
申请日：2018-09-11
申请人：株式会社フジキン
发明人：近藤研太 , 吉田俊英 , 相川献治 , 佐藤秀信 , 中田知宏 , 篠原努 , 滝本昌彦
IPC分类号： F16K31/122 , F16K37/00 , H01L21/02 , F16K31/02
摘要：外部センサを用いることなく、経時、経年等による流量変動を精密に調整可能なバルブ装置を提供する。開位置に位置付けられた操作部材の位置を調整するための圧電素子を利用した調整用アクチュエータ(100)を有し、調整用アクチュエータ(10 0)の駆動回路(200)は、圧電素子に生じるひずみ量に係わる電気信号を検出する検出部(210)と、圧電素子のひずみ量に係わる電気信号に基づいて、弁体による流路の開度が目標開度になるように調整用アクチュエータ(100)を制御する制御部(210)とを有する。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式