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    • 3. 发明专利
    • 半導体装置
    • JP2018014418A
    • 2018-01-25
    • JP2016143299
    • 2016-07-21
    • 株式会社デンソー
    • 河野 憲司
    • H01L29/78H01L29/739
    • H01L29/739H01L29/78
    • 【課題】スイッチング素子の並列駆動に起因する電圧振動の低減とFWDに起因する波形歪の低減を両立する半導体装置を提供する。 【解決手段】この半導体装置は、還流ダイオードを備えた複数のIGBT素子が並列に接続されて駆動される。IGBT素子は、トレンチゲートにゲート電圧が印加されるとともに、エミッタ領域が形成されるアクティブセルと、トレンチゲートがエミッタ領域と同電位とされるとともに、エミッタ領域が形成されないダミーセルと、トレンチゲートにゲート電圧が印加されるとともに、エミッタ領域が形成されないアクティブダミーセルと、を有する。そして、アクティブダミーセルは、ボディ領域が電気的にフローティングとされたフロートセルを有する。フロートセルの数は、アクティブセルとアクティブダミーセルの総数に対して、5%以上35%以下とされる。 【選択図】図6
    • 9. 发明专利
    • 半導体装置
    • 半导体设备
    • JP2017011171A
    • 2017-01-12
    • JP2015126786
    • 2015-06-24
    • 株式会社デンソー
    • 河野 憲司田邊 広光
    • H01L29/78H01L21/336H01L27/04H01L29/06H01L21/8234H01L27/06H01L29/739
    • 【課題】検査精度の向上を図ることができる半導体装置を提供する。 【解決手段】IGBT領域12aとFWD領域12bとをトレンチ23の延設方向に沿って交互に形成すると共に、メッキ膜31のうちの保護膜30側の外縁部の直下にIGBT領域12aを形成する。これによれば、メッキ膜31のうちの外縁部の直下にIGBT領域12aが形成されている。つまり、メッキ膜31が収縮する際、メッキ膜31の変位量が最も大きい部分の直下にIGBT領域12aが形成されている。このため、少なくともメッキ膜31の変位量が最も大きくなる部分が第1電極29に食い込んでいるか否かを高精度に判定でき、検出精度の向上を図ることができる。 【選択図】図1
    • 一种半导体装置,从而可以提高检查精度。 和A IGBT区12a和FWD区域12B以沿着沟槽23的延伸方向上交替地形成,以形成立即镀敷膜31的保护膜30侧的外边缘下面IGBT区12a中 。 根据这一点,IGBT区域12a被立即镀敷膜31的外边缘的下方形成。 换句话说,当电镀膜31周的合同,IGBT区域12a被立即镀敷膜31的最高的部分的位移量的下方形成。 因此,可确定的位移量是否变为至少镀敷膜31被切割到第一电极29以高精确度最大部分,因此能够提高检测精度。 点域1