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1. 发明专利

JP6850591B2 スピンドルユニット有权
公开(公告)号：JP6850591B2
公开(公告)日：2021-03-31
申请号：JP2016226893
申请日：2016-11-22
申请人：株式会社ディスコ
发明人：山中聡
IPC分类号： B24B41/04 , F16C32/06 , B23B19/02

2. 发明专利

JP2021016913A 加工装置审中-公开
公开(公告)号：JP2021016913A
公开(公告)日：2021-02-15
申请号：JP2019133617
申请日：2019-07-19
申请人：株式会社ディスコ
发明人：山中聡
IPC分类号： B24B55/06 , B23Q3/08 , B23Q11/00 , H01L21/304 , B24B41/06
摘要：【課題】保持手段のポーラス部材の保持面の吸引力が低下しないようにする。【解決手段】吸引バルブ72が閉じていて、かつ、流体供給バルブ75が開いている状態において、制御部5を用いてソレノイドバルブ6の開閉制御を行うことによって、テーブル基台22の下面22bから枠体21の底面21aにかけて貫通形成されている第1流路80とソレノイドバルブ6とを連通させた後、流体供給手段73を用いて第1流路80に流体を供給する。これにより、第1流路80を通じて第1噴射口81から保持面20aの第1エリアA1に流体が噴出して、ポーラス部材20の内部に侵入している研削屑等を流水洗浄する。【選択図】図5

3. 发明专利

JP2020202650A 固定具审中-公开
公开(公告)号：JP2020202650A
公开(公告)日：2020-12-17
申请号：JP2019107766
申请日：2019-06-10
申请人：株式会社ディスコ
发明人：山中聡
IPC分类号： B23Q1/00 , F16L3/10 , F16B2/06 , H02G3/30 , H02G3/32
摘要：【課題】配線配管における多様な太さ、本数および並び順に対応可能な固定具を提供する。【解決手段】固定具1が、配線配管の外径に対応した凹溝11を有している。そして、2つの固定具1の凹溝11を互いに対面させることにより、凹溝11によって配線配管を挟んで固定することができる。これにより、配線配管の太さに応じた幅の凹溝11を有する固定具1を用いることにより、任意の太さの配線配管を固定することができる。突起部21および溝部23により、任意の幅の凹溝11を有する固定具1を、短辺19aおよび19bを揃えた状態で、並列に並べて結合することができる。したがって、配線配管の本数、太さおよび並び順に応じて、複数の固定具1を組み替えて用いることにより、フラットな配線配管を容易に固定することができる。【選択図】図2

4. 发明专利

JP2020183000A 加工装置审中-公开
公开(公告)号：JP2020183000A
公开(公告)日：2020-11-12
申请号：JP2019088043
申请日：2019-05-08
申请人：株式会社ディスコ
发明人：山中聡 , 宮本弘樹
IPC分类号： B24B7/04 , B24B37/10 , B24B49/12 , B23Q17/24 , H01L21/304 , H01L21/677 , B24B41/06
摘要：【課題】カセットからの被加工物の搬出や加工装置内における被加工物の搬送ができなかったり、被加工物を破損させたりするといった問題が生じることがない加工装置を提供する。【解決手段】加工装置2は、少なくとも2種類のサイズの被加工物Wを選択的に保持できるチャックテーブル4と、加工手段6と、カセット8から被加工物Wを搬出する搬出手段12によって搬出され、仮置き手段14に仮置きされた被加工物Wをチャックテーブル4まで搬送する搬送手段16とを備え、制御手段90は、カメラ88が撮像したカセット8の画像と画像記憶部98に記憶されたカセット8の画像とを比較し、カメラ88が撮像したカセット8が、サイズ選定部96によって選定された被加工物Wのサイズに応じたカセット8であるか否かを判断する判断部100を備えている。【選択図】図1

5. 发明专利

JP6598668B2 研削装置有权
公开(公告)号：JP6598668B2
公开(公告)日：2019-10-30
申请号：JP2015248750
申请日：2015-12-21
申请人：株式会社ディスコ
发明人：山中聡
IPC分类号： B24B49/04 , B24B49/02 , B24B51/00 , H01L21/304 , B24B7/04

6. 发明专利

JP2019177461A 被加工物の研削方法审中-公开
公开(公告)号：JP2019177461A
公开(公告)日：2019-10-17
申请号：JP2018068908
申请日：2018-03-30
申请人：株式会社ディスコ
发明人：山中聡 , 宮本弘樹
IPC分类号： B24B41/06 , H01L21/304 , B24B7/04
摘要：【課題】研削装置のチャックテーブルを交換することなく様々な寸法の被加工物を加工可能な被加工物の研削方法を提供する。【解決手段】ポーラス状の吸引面を有するチャックテーブルと、チャックテーブルによって保持された被加工物を研削する研削砥石とを備えた研削装置を用いて、被加工物を研削する被加工物の研削方法であって、吸引面の全体を覆うことが可能であり、被加工物が配置される領域にチャックテーブルによって被加工物を吸引保持するための吸引路を備える支持プレートを準備する支持プレート準備ステップと、チャックテーブルによって支持プレートを吸引保持し、支持プレートを研削砥石で研削する支持プレート研削ステップと、支持プレートを介して、吸引面の一部のみを覆うことが可能な被加工物をチャックテーブルによって吸引保持する吸引ステップと、吸引ステップで吸引保持した被加工物を研削砥石で研削する研削ステップと、を備える。【選択図】図1

7. 发明专利

JP2019125755A 保持装置审中-公开
公开(公告)号：JP2019125755A
公开(公告)日：2019-07-25
申请号：JP2018007135
申请日：2018-01-19
申请人：株式会社ディスコ
发明人：山中聡
IPC分类号： B23Q3/08 , B24B41/06 , H01L21/304 , F16K1/00 , H01L21/683
摘要：【課題】テーブル保持面がウェーハサイズに応じた面積に自動で切り換わるようにする。【解決手段】テーブル30の中央吸引領域に管31を介し連通される吸引源39と、外周吸引領域に管32を介し連結され外周吸引領域と吸引源39とを選択連通するバルブ機構4とを備え、バルブ機構4は、部屋41と、部屋41に連通口を介し連通する部屋42と、連通口を開閉する手段49と、を含み、開閉手段49は、部屋41に連通口に対向し形成される部屋43と、連通口と接近離間する方向に移動しつつ部屋43の容積を変える蓋44と、蓋44を連通口と接近する方向に移動させる力を備える弾性部材45と、蓋44に連結し連通口に貫入するシャフト46と、シャフト46先端に装着され部屋42に位置し連通口を開閉する弁47とを備え、部屋42は管33を介し吸引源39に連結し、部屋43は管34を介し吸引源39に連結し、外周吸引領域に連通する管32は部屋41に連結する保持装置3。【選択図】図2

8. 发明专利

JP2018194104A ロータリジョイントとロータリジョイントの製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2018194104A
公开(公告)日：2018-12-06
申请号：JP2017098961
申请日：2017-05-18
申请人：株式会社ディスコ
发明人：山中聡
IPC分类号： F16L27/08
摘要：【課題】回転軸とケースとの間に最適な隙間を形成できるようにする。【解決手段】ロータリジョイント1は、円柱状の回転軸2と、樹脂で筒状に形成されたパッキン3,3aと、回転軸2を支持するベアリング4が装着されるベアリング装着部50を有するケース5とを備え、ケース5は、2つのパッキン3,3aを回転軸2の軸心方向に離間させ空間を形成して装着するための第1のパッキン装着部53と第2のパッキン装着部54とを備え、第1のパッキン装着部53に装着されたパッキン3および第2のパッキン装着部54に装着されたパッキン3bの内側面とベアリング装着部50に装着されたベアリング4に支持される回転軸2の外側面22aとの間に形成される極小隙間がシールとなるため、高精度な部品や高度な組み立て技術を要することなく、シール性の高いロータリジョイント1を提供することができる。【選択図】図1

9. 发明专利

JP2018187730A 保持テーブル审中-公开
公开(公告)号：JP2018187730A
公开(公告)日：2018-11-29
申请号：JP2017093493
申请日：2017-05-10
申请人：株式会社ディスコ
发明人：山中聡
IPC分类号： B24B41/06 , H01L21/304 , B24B53/02
摘要：【課題】構成の簡略化、保持した円板ワークの加工の正常化を図ること。【解決手段】保持テーブル(10)は、基台テーブル(11)より小径で上面に円板ワーク(W)を保持する保持面(12)を有するワーク保持テーブル(13)と、ワーク保持テーブルの外側で基台テーブルの環状上面に配設される環状テーブル(15)と、環状テーブルを昇降させるシリンダ(22)と、環状テーブルを昇降方向に案内するガイド(21)とを備えている。環状テーブルに研削砥石用のドレッシングボード(24)を設けることで、保持テーブルと共にドレッシングボードを回転しつつ、保持された円板ワークの研削と研削砥石のドレッシングとを並行して行うことができる。これにより、ドレッシングボードのみの回転機構を省略して構成を簡略化でき、ドレッシングボードと研削砥石との接触位置を変化させてドレッシングボードが溝状に削れなくなり、加工の正常化を図ることができる。【選択図】図4

10. 发明专利

JP2018144183A チャックテーブル审中-公开
公开(公告)号：JP2018144183A
公开(公告)日：2018-09-20
申请号：JP2017042608
申请日：2017-03-07
申请人：株式会社ディスコ
发明人：山中聡
IPC分类号： B24B41/06
摘要：【課題】チャックテーブルの交換を容易に行えるようにする。【解決手段】本発明に係るチャックテーブル2は、保持手段1を構成する基台10に装着するための円板20と、円板20の上面中央に装着するための保持プレート24とを備え、保持プレート24は、円板20に対して着脱可能な構成にしたため、例えば研磨加工にともなってポーラス板240の吸引力が低下したら、円板20から保持プレート24を取り外して、ポーラス板240のみを交換することができる。よって、吸引力が低下したポーラス板240を洗浄したり研削したりする必要がなく、また、交換するのがポーラス板240のみであるため比較的安価で済む。このように、本発明によれば、吸引性能が低下したチャックテーブル2の交換作業を容易に行える。【選択図】図1

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