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1. 发明专利

JP6616116B2 非接触式の給電システム有权
公开(公告)号：JP6616116B2
公开(公告)日：2019-12-04
申请号：JP2015150369
申请日：2015-07-30
申请人：株式会社アルバック
发明人：鈴木傑之 , 川久保大輔 , 南展史 , 武者和博 , 川口崇文
IPC分类号： B25J19/00 , H01L21/677 , B65G49/07 , H02J50/05

2. 发明专利

JPWO2017002340A1 基板搬送方法有权
公开(公告)号：JPWO2017002340A1
公开(公告)日：2018-04-05
申请号：JP2017526170
申请日：2016-06-23
申请人：株式会社アルバック
发明人：鈴木傑之 , 川久保大輔 , 南展史 , 武者和博
IPC分类号： H02J50/05 , B25J15/06 , B25J19/00 , B65G49/07 , H01L21/677 , H02J50/80
CPC分类号： B25J15/06 , B25J19/00 , B65G49/07 , H01L21/677 , H02J50/05
摘要：別途の通信機器を用いることなく、非接触給電を行う際に通信も行い得るように非接触式給電システムを構成する。給電システムPSは、一対の電極5a,5b間で機械的に分離されるキャパシタ5と、キャパシタの一方の電極に接続される給電回路ユニット6と、キャパシタの他方の電極に接続される受電回路ユニット7とを備える。給電回路ユニットが、キャパシタと共に直列共振回路を構成する発振器61と振幅変調を加える変調器62と第1の制御手段63とを有し、互いに異なる振幅に変調された搬送波をキャパシタの一方の電極に供給する。受電回路ユニットが、整流回路72と、直流電圧を給電対象電極4a,4bに選択的に印加する切換回路73と第2の制御手段75とを有する。第2の制御手段は、電力供給用搬送波を供給している間に供給される制御信号用搬送波を基に切換回路の作動を制御する。

3. 发明专利

JP5727823B2 回転駆動装置有权
公开(公告)号：JP5727823B2
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：JP2011056270
申请日：2011-03-15
申请人：株式会社アルバック
发明人：武者和博 , 南展史
IPC分类号： B65G49/07 , H02K9/22 , B25J19/00 , H01L21/677

4. 发明专利

JP2021064712A 基板搬送装置、および、基板搬送方法有权
公开(公告)号：JP2021064712A
公开(公告)日：2021-04-22
申请号：JP2019188732
申请日：2019-10-15
申请人：株式会社アルバック
发明人：武者和博 , 南展史 , 鈴木傑之
IPC分类号： B25J9/10 , H01L21/677
摘要：【課題】基板の位置精度を保ちつつ、基板の搬送効率を向上可能にした基板搬送装置、および、基板搬送方法を提供する。【解決手段】アーム11を上昇させてエンドエフェクター12に基板Sを受け取らせる駆動部20と、駆動部20の出力を制御してアーム11の上昇速度を設定する制御装置30と、を備え、エンドエフェクター12とアーム11との高さの差が位置差分であり、エンドエフェクター12が基板Sに当たるときからエンドエフェクター12が基板Sを受け取り終わるまでの期間が過渡期間であり、制御装置30は、位置差分の加速度、および、加加速度のいずれか一方の振幅を過渡期間前よりも過渡期間で小さくする上昇速度の上限値を、過渡期間における上昇速度の上限値とする。【選択図】図1

5. 发明专利

JP2017034780A 非接触式の給電システム审中-公开
标题翻译：非接触类型馈电系统
公开(公告)号：JP2017034780A
公开(公告)日：2017-02-09
申请号：JP2015150369
申请日：2015-07-30
申请人：株式会社アルバック
发明人：鈴木傑之 , 川久保大輔 , 南展史 , 武者和博 , 川口崇文
IPC分类号： B25J19/00 , H01L21/677 , B65G49/07 , H02J50/00
摘要：【課題】非接触式給電システムを簡単な構成で残留電荷の影響を受けずに確実にワークを脱離できるように構成する。【解決手段】本発明の給電システムPSは、給電回路ユニット2と、互いに対向配置される一対の電極間で機械的に分離されたキャパシタ4と、受電回路ユニット5とを備える。受電回路ユニットが、直流電圧に変換すると共に制御用電圧を出力する変換回路51と、スイッチング素子を有して吸着用電極に第1極性または第2極性の直流電圧を印加する電圧印加回路52と、受電回路制御部53と、変換回路から制御用電圧が入力され、第1極性または第2極性の直流電圧のいずれが印加されたかを記憶する記憶部55とを備える。受電回路制御部が、記憶部からの出力を受けて第1極性または第2極性の直流電圧が交互に吸着用電極に印加されるように、スイッチング素子を制御する。【選択図】図2
摘要翻译：公开被配置，而不会受到残余电荷的非接触电力供给系统以简单的结构可靠地工作可被消除。本发明的电源系统PS包括电源电路部2，电容器4，其被机械地一对相对设置的电极间分离，并且电力接收电路单元5。接收电路部，其输出一个控制电压和所述DC电压转换，电压施加电路52用于施加第一极性或直流电压施加到吸附电极的第二极性的转换电路51具有开关元件包括电力接收电路控制部53，控制电压从转换电路输入，和用于存储一个被施加到第一极性或DC电压的所述第二极性的存储单元55。输入电路控制单元，使得第一极性或DC电压的响应于来自所述存储单元的输出的第二极性施加到吸附电极交替地控制开关元件。 .The

6. 发明专利

JP2020001893A 真空処理装置审中-公开
公开(公告)号：JP2020001893A
公开(公告)日：2020-01-09
申请号：JP2018123617
申请日：2018-06-28
申请人：株式会社アルバック
发明人：鈴木傑之 , 武者和博 , 松崎淳介 , 南展史
IPC分类号： C23C14/56 , C23C16/54 , H01L21/677 , B65G49/07 , B65G49/06
摘要：【課題】環状の搬送経路を有する真空処理装置において、基板搬入搬出機構と基板保持器搬送機構との間で基板保持器の受け渡しを行う際の搬送経路に対し直交する方向に関する位置ずれを簡素で且つ廉価な構成で防止することができる技術を提供する。【解決手段】真空槽2内に鉛直面に対する投影形状が一連の環状となるように形成され基板保持器を搬送する搬送経路を有する。一対の被駆動軸12とそれぞれ接触して駆動することにより基板保持器11を搬送経路に沿う方向に搬送し、基板搬入搬出機構6と基板保持器搬送機構3との間で基板保持器11の受け渡しを行う基板保持器受け渡し機構7を設ける。基板保持器受け渡し機構7は、基板搬入搬出機構6と基板保持器搬送機構3との間で基板保持器11の受け渡しを行う際に搬送経路に対してそれぞれ直交する方向に関して位置決めを行う一対の位置決め部を有する。【選択図】図2

7. 发明专利

JP6515254B1 真空装置有权
公开(公告)号：JP6515254B1
公开(公告)日：2019-05-15
申请号：JP2019506749
申请日：2018-11-26
申请人：株式会社アルバック
发明人：鈴木傑之 , 武者和博 , 松崎淳介 , 田宮慎太郎 , 南展史 , 中尾裕利
IPC分类号： C23C14/34 , H01L21/677
摘要：基板の破損がなく短時間で真空雰囲気から大気圧雰囲気に変更できる真空装置を提供する。処理対象物10と給排気口9との間に第一の整流板5を配置し、給排気口9から吹き出される昇圧用ガスが搬送対象物10に衝突しないようにする。蓋部材16の壁面と搬送対象物10との間に第二の整流板6を設け、昇圧用ガスを、搬送対象物10の中の基板7よりも高い上側貫通孔13と、その基板7よりも低い下側貫通孔23とから、基板7と第一の整流板5の間と、基板7とステージ15の間とに導入させ、基板7が浮き上がらないようにする。

8. 发明专利

JP6298933B2 基板搬送方法有权
公开(公告)号：JP6298933B2
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：JP2017526170
申请日：2016-06-23
申请人：株式会社アルバック
发明人：鈴木傑之 , 川久保大輔 , 南展史 , 武者和博
IPC分类号： H02J50/80 , H02J50/05
CPC分类号： B25J15/06 , B25J19/00 , B65G49/07 , H01L21/677 , H02J50/05

9. 发明专利

JP6182692B2 静電チャック付き搬送ロボットの制御システム有权
公开(公告)号：JP6182692B2
公开(公告)日：2017-08-16
申请号：JP2017521682
申请日：2016-05-24
申请人：株式会社アルバック
发明人：鈴木傑之 , 川久保大輔 , 南展史 , 武者和博
IPC分类号： H02J50/90 , B25J15/00 , B65G49/07 , H01L21/677
CPC分类号： B25J15/00 , B65G49/07 , H01L21/677 , H02J50/90

10. 发明专利

JP2017011819A 非接触式の給電システム审中-公开
标题翻译：非接触类型馈电系统
公开(公告)号：JP2017011819A
公开(公告)日：2017-01-12
申请号：JP2015122946
申请日：2015-06-18
申请人：株式会社アルバック
发明人：鈴木傑之 , 川久保大輔 , 南展史 , 武者和博
IPC分类号： H01L21/677 , B25J19/00 , H02J50/00
摘要：【課題】搬送ロボットに複数の吸着用電極が設けられている場合でも、簡単な構成で各吸着用電極に給電できて低コストの非接触式の給電システムを提供する。【解決手段】給電回路ユニット2と、この給電回路ユニットに夫々接続される少なくとも2個のキャパシタ4とを備える。各キャパシタは、一対の電極間41,42で機械的に分離され、一方の電極を固定配置し、他方の電極を搬送ロボットの可動部分に設ける。一のキャパシタ4aを給電回路ユニットからの交流電圧を整流して直流電圧に変換する変換回路ユニット2に接続し、第2のキャパシタ4bを交流電力の入力で切り換わるスイッチング素子を有する第1の切換回路ユニットに接続し、変換回路ユニットが第1の切換回路ユニットを介して吸着用電極に接続する。【選択図】図2
摘要翻译：甲即使设置多个抽吸电极的输送机械手，以提供非接触型低成本可以在吸引电极以简单的结构来供电的供电系统。它设置有供电电路部2，和至少两个电容器4分别连接到电源电路单元。每个电容器被机械地通过一对电极分离41和42之间，固定地布置的一个电极，设置在另一方的电极，以传送机器人的可动部。一个由整流从连接到转换电路单元2，用于将所述直流电压的电源电路部的交流电压的电容器4a，具有切口的第一开关切换开关元件，并在输入的交流电源，第二电容器4b的连接到所述电路单元，转换器单元通过第一开关电路单元连接到所述抽吸电极。 .The

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