基本信息:
- 专利标题： 真空装置
- 申请号：JP2019506749 申请日：2018-11-26
- 公开(公告)号：JP6515254B1 公开(公告)日：2019-05-15
- 发明人： 鈴木 傑之 , 武者 和博 , 松崎 淳介 , 田宮 慎太郎 , 南 展史 , 中尾 裕利
- 申请人： 株式会社アルバック
- 申请人地址： 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地
- 专利权人： 株式会社アルバック
- 当前专利权人： 株式会社アルバック
- 当前专利权人地址： 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地
- 代理人： 石島 茂男; 阿部 英樹
- 优先权： JP2018003377 2018-01-12
- 国际申请： JP2018043350 JP 2018-11-26
- 主分类号： C23C14/34
- IPC分类号： C23C14/34 ; H01L21/677
摘要：
基板の破損がなく短時間で真空雰囲気から大気圧雰囲気に変更できる真空装置を提供する。処理対象物10と給排気口9との間に第一の整流板5を配置し、給排気口9から吹き出される昇圧用ガスが搬送対象物10に衝突しないようにする。蓋部材16の壁面と搬送対象物10との間に第二の整流板6を設け、昇圧用ガスを、搬送対象物10の中の基板7よりも高い上側貫通孔13と、その基板7よりも低い下側貫通孔23とから、基板7と第一の整流板5の間と、基板7とステージ15の間とに導入させ、基板7が浮き上がらないようにする。
公开/授权文献:
- JPWO2019138702A1 真空装置 公开/授权日：2020-01-16