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1. 发明专利

JP4679572B2 Precision positioning device 有权
公开(公告)号：JP4679572B2
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：JP2007507980
申请日：2005-03-16
申请人：平田機工株式会社
发明人：徹典大田黒
IPC分类号： G12B5/00 , H01L41/083 , H01L41/09 , H02N2/00
CPC分类号： G12B5/00 , H02N2/028

2. 发明专利

JP4267742B2 Ceiling conveying device and logistics line system using the same 有权
公开(公告)号：JP4267742B2
公开(公告)日：2009-05-27
申请号：JP6704899
申请日：1999-03-12
申请人：平田機工株式会社
发明人：徹典大田黒 , 勝義橘
IPC分类号： B65G1/04

3. 发明专利

JPWO2005055315A1 基板位置決めシステム有权
公开(公告)号：JPWO2005055315A1
公开(公告)日：2007-06-28
申请号：JP2005515990
申请日：2004-12-03
申请人：平田機工株式会社
发明人：徹典大田黒 , 徹典大田黒 , 清二松田 , 清二松田
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/027
CPC分类号： H01L21/68
摘要：本発明は、半導体製造処理に用いられるウエハ等の基板に塵等が付着することを防止し、短時間で精度よく基板の向きを調整する基板位置決めシステムを提供する。本発明の好適な実施形態である基板処理システムAでは、複数のローラ220により、ウエハWの周縁を他方向から押圧することで、その中心位置合わせを行う。そして、当該ローラ220による中心位置合わせ状態を維持したまま、当接部材210の当接部211をウエハWの切り欠きWaに当接させ、当接部材210を弧状に移動することでウエハWを回転してその向きを調整する。

4. 发明专利

JPWO2013144997A1 停止装置及び一時停止方法有权
标题翻译：停止装置和暂停方法
公开(公告)号：JPWO2013144997A1
公开(公告)日：2015-08-03
申请号：JP2014506992
申请日：2012-03-27
申请人：平田機工株式会社
发明人：文吾松本 , 文吾松本 , 徹典大田黒 , 徹典大田黒
IPC分类号： B65G47/88
CPC分类号： B65G47/29 , B65G13/00 , B65G43/00 , B65G47/8823 , B65G47/883
摘要：本発明の停止装置は、搬送中のワーク(W)に所定の停止位置で当接してワークの搬送を停止させる当接位置と、退避位置との間で、停止位置よりもワークの搬送方向で下流側の第1回動軸(56)回りに回動自在な揺動ユニット(10)と、駆動ユニット(30)と、揺動ユニット(10)に対して、当接位置に位置させる方向に付勢力を付与する弾性部材(40)と、を備える。揺動ユニット(10)が、第1回動軸(56)回りに回動自在な揺動部(11)と、ワークに当接する当接部を有すると共に第1回動軸(56)と平行な第2回動軸(112)を介して揺動部(11)に回動自在に連結され、揺動ユニット(10)が前記退避位置へ回動するに伴って第1回動軸(56)と当接部との距離が短くなるよう、揺動部(11)に対して回動する可動部(12)とを備える。
摘要翻译：本发明的止动装置，该接触位置在上运输过程中在工件（W）的预定的停止位置停止与工件的输送的接触，一个缩回位置之间，在比止动位置的工作的输送方向在下游侧上的第一枢转轴线（56）可转动的摆动装置围绕（10），所述驱动单元（30），相对于所述振荡部（10），在一个方向上定位到接触位置它包括弹性构件（40）赋予作用力，所述。平行振荡部（10），一个第一枢轴（56）绕自由摆动的单元（11），第一枢转轴线（56），并具有与工件接触的接触部命名经由手摆动部的第二枢轴（112）WO（11）可旋转地2两个链接，摆动单元（10）蛾缩回位置屁转向两次与手第一枢转轴线（56 ），并使得接触部分之间的距离减小，包括相对于所述振荡部（11）和（12）旋转的可动部。

5. 发明专利

JP4698674B2 Work suction head 有权
公开(公告)号：JP4698674B2
公开(公告)日：2011-06-08
申请号：JP2007529416
申请日：2005-08-05
申请人：平田機工株式会社
发明人：徹典大田黒 , 武則平川
IPC分类号： B25J15/06
CPC分类号： B25J15/0616 , B25J17/0208 , B65G47/91 , Y10T279/11 , Y10T279/3481

6. 发明专利

JPWO2003105216A1 容器搬送システム审中-公开
公开(公告)号：JPWO2003105216A1
公开(公告)日：2005-10-13
申请号：JP2004512188
申请日：2003-01-14
申请人：平田機工株式会社
发明人：徹典大田黒 , 徹典大田黒
IPC分类号： H01L21/68 , B65G47/10 , B65G49/00 , B65G49/07 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67727 , H01L21/6773 , H01L21/67733 , H01L21/67736 , H01L21/67769
摘要：クリーンルーム内でウエハ等の基板を収納した容器8を搬送する容器搬送システムであって、複数の処理装置5−1、5−2、5−3・・・に略並行に配置されて、容器8を搬送する搬送装置7と、クリーンルーム内上方の天井空間を自由に移動することができる移載装置9とを備え、複数の処理装置5−1、5−2、5−3・・・は、通路の少なくとも片側に配列されて、通路に面する側にインターフェイス装置6−1、6−2、6−3・・・をそれぞれ備え、インターフェイス装置6−1、6−2、6−3・・・は、容器8を一時受けて、基板を容器8の内部から処理装置5−1、5−2、5−3・・・の内部に、また、その逆に、密閉された雰囲気下で移動させることができるようにされており、移載装置9が、搬送装置7と複数の処理装置5−1、5−2、5−3・・・との間または複数の処理装置5−1、5−2、5−3・・の間で容器8の受渡しを行なうようにされている。この容器搬送システムによれば、容器の搬送能力、搬送処理能力、フットプリント、容器のストック機能、ソート機能等がさらに改良された容器搬送システムを提供することができる。

7. 发明专利

JP4717065B2 Micro-gripper 有权
公开(公告)号：JP4717065B2
公开(公告)日：2011-07-06
申请号：JP2007510255
申请日：2005-03-25
申请人：平田機工株式会社
发明人：徹典大田黒
IPC分类号： B25J7/00 , B25J15/08 , B81B3/00
CPC分类号： B25J7/00 , B25J15/12

8. 发明专利

JP4237714B2 Drive unit isolation foup opener 有权
公开(公告)号：JP4237714B2
公开(公告)日：2009-03-11
申请号：JP2005064626
申请日：2005-03-08
申请人：平田機工株式会社
发明人：徹典大田黒
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/68

9. 发明专利

JP3699348B2 Drive unit isolation foup opener 有权
公开(公告)号：JP3699348B2
公开(公告)日：2005-09-28
申请号：JP2000364239
申请日：2000-11-30
申请人：平田機工株式会社
发明人：徹典大田黒
IPC分类号： B67B7/00 , B65G49/07 , H01L21/00 , H01L21/673 , H01L21/677 , H01L21/68
CPC分类号： H01L21/67265 , H01L21/6735 , H01L21/67772
摘要： A drive-section-isolated FOUP opener opens and closes a door of a FOUP which contains a plurality of semiconductor wafers. The FOUP opener includes a dock plate for carrying and positioning the FOUP; a dock moving mechanism for moving the dock plate to a position for detachment/attachment of the FOUP door; a port door including a mechanism for releasably holding the FOUP door; a port plate including an opening closed by the port door; a port door horizontal-movement mechanism for horizontally moving the port door; a sensor horizontal-movement mechanism for horizontally moving a sensor bracket, the sensor bracket carrying a mapping sensor; and a port-door-and-sensor vertical-movement mechanism for vertically moving the port door and the sensor bracket with the port door holding the FOUP door. A drive for the port door horizontal-movement mechanism, a drive for the sensor horizontal-movement mechanism, and a drive for the port-door-and-sensor vertical-movement mechanism are disposed opposite a clean room with respect to the port plate.

10. 发明专利

JP4298046B2 Article conveying assembly equipment and goods transport assembly method 有权
公开(公告)号：JP4298046B2
公开(公告)日：2009-07-15
申请号：JP8221699
申请日：1999-03-25
申请人：平田機工株式会社
发明人：徹典大田黒 , 勝義橘
IPC分类号： B23P19/04

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