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1. 发明专利

JPWO2011129351A1 ＭＥＭＳデバイスおよびその製造方法有权
公开(公告)号：JPWO2011129351A1
公开(公告)日：2013-07-18
申请号：JP2012510664
申请日：2011-04-13
申请人：学校法人立命館
发明人：鈴木　健一郎 , 健一郎鈴木 , 晃正玉野 , 晃正玉野 , 岡田　光広 , 光広岡田 , 昌也競 , 昌也競
IPC分类号： H03H3/007 , H03H9/24
CPC分类号： H03H3/0072 , B81B2201/0271 , B81C1/00182 , H03H9/2405 , H03H9/2452 , H03H2009/02496 , H03H2009/02519
摘要：【課題】MEMSデバイスの製造方法において、基板表面と振動部材下面とが十分に狭い間隙で対向した構造を容易に製造可能とする。【解決手段】MEMSデバイスの製造方法は、SOI基板を用意する工程S1と、第1シリコン層をパターニングして、外枠部と、かさ上げ対向部と、かさ上げ対向部と外枠部の3以上の箇所とをそれぞれ接続する支持梁部とを形成する工程S2と、上記かさ上げ対向部と第2シリコン層との間に位置する中間絶縁層をエッチング除去することによって上記かさ上げ対向部と上記第2シリコン層とが互いに離隔した状態を作り出す工程S3と、上記外枠部および上記かさ上げ対向部に対して一括して基材を貼り付ける工程S4と、上記第2シリコン層をパターニングすることによって浮き構造体を形成し、さらに上記支持梁部を分断して上記かさ上げ対向部を孤立させる工程S5とを含む。【選択図】図1

2. 发明专利

JP5453705B2 Resonator 有权
公开(公告)号：JP5453705B2
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：JP2011519921
申请日：2010-06-23
申请人：学校法人立命館
发明人：健一郎鈴木 , 晃正玉野 , 光広岡田 , 昌也競
IPC分类号： H03H9/24
CPC分类号： H03H9/02259 , H03H9/02338 , H03H9/2457 , H03H2009/0244 , H03H2009/02519

3. 发明专利

JPWO2011129352A1 ＭＥＭＳデバイスおよびその製造方法有权
公开(公告)号：JPWO2011129352A1
公开(公告)日：2013-07-18
申请号：JP2012510665
申请日：2011-04-13
申请人：学校法人立命館
发明人：鈴木　健一郎 , 健一郎鈴木 , 晃正玉野 , 晃正玉野 , 岡田　光広 , 光広岡田 , 昌也競 , 昌也競
IPC分类号： H03H3/007 , B81B3/00 , B81C1/00 , H03H9/24
CPC分类号： H03H3/0072 , B81B2201/0271 , B81C1/00182 , H03H9/2405 , H03H9/2452
摘要：【課題】MEMSデバイスの製造方法において、基板表面と振動部材下面とが十分に狭い間隙で対向した構造を容易に製造可能とする。【解決手段】MEMSデバイスの製造方法は、基材に固定された浮き構造体としての振動部2と、振動部2の一部の領域に対して離隔対向しているかさ上げ対向部5とを備えるMEMSデバイスを製造する方法であって、SOI基板を用意する工程と、第1シリコン層をパターニングして、外枠部とかさ上げ対向部5とを形成し、かつ、かさ上げ対向部5には貫通孔18を形成する工程と、中間絶縁層の一部をエッチング除去することによってかさ上げ対向部5と第2シリコン層とが互いに離隔した状態を作り出す工程と、一括して被覆するように基材を貼り付ける工程と、前記第2シリコン層をパターニングすることによって振動部2を形成し、さらにかさ上げ対向部5を孤立させる工程とを含む。【選択図】図3

4. 发明专利

JPWO2010150821A1 共振器有权
公开(公告)号：JPWO2010150821A1
公开(公告)日：2012-12-10
申请号：JP2011519921
申请日：2010-06-23
申请人：学校法人立命館
发明人：鈴木　健一郎 , 健一郎鈴木 , 晃正玉野 , 晃正玉野 , 岡田　光広 , 光広岡田 , 昌也競 , 昌也競
IPC分类号： H03H9/24
CPC分类号： H03H9/02259 , H03H9/02338 , H03H9/2457 , H03H2009/0244 , H03H2009/02519
摘要：共振器(101)は、平坦な上面を有する基材(10)と、基材(10)の上面に形成された電極パターン(4)と、基材(10)の上面から離隔するようにして基材(10)に相対的に固定され、側方に延在する振動部(2)と、振動部(2)にねじり振動を発生させるために、基材(10)の上面に固定され、平坦な上面を有し、電極パターン(4)と電気的に接続されている電極ブロック部(5)とを備える。

5. 发明专利

JPWO2010147156A1 共振器およびその製造方法有权
公开(公告)号：JPWO2010147156A1
公开(公告)日：2012-12-06
申请号：JP2011519818
申请日：2010-06-16
申请人：学校法人立命館
发明人：鈴木　健一郎 , 健一郎鈴木 , 晃正玉野 , 晃正玉野 , 岡田　光広 , 光広岡田 , 昌也競 , 昌也競
IPC分类号： H03H9/24 , H03H3/007
CPC分类号： H03H3/0072 , H03H9/1057 , H03H9/2463 , H03H2009/02519
摘要：【課題】ねじり振動を利用した共振器において、基板表面と振動部材下面とが十分に狭い間隙で対向した構造を有し、容易に製造可能な共振器とする。【解決手段】共振器は、平坦な主表面1uを有する基材1と、主表面1uに固定された層状のアンカ部2a,2bと、導電性を有する層状の振動付与部3と、アンカ部2a,2bの上面に対して絶縁膜5を介して接合され2次元的に展開する梁状かつ層状の振動部材4と、振動付与部3に対して電気的に接続されており、上から見て振動部材に被覆される領域の外側にまで延在している引出配線6とを備え、振動付与部3の上面3uは、振動部材4の下面4wとの間に電位差を生じさせることによって振動部材4の少なくとも一部に対してねじり振動を発生させることができるように、振動部材4の下面4wの一部に対して、絶縁膜5の厚さとほぼ等しい距離の間隙11を介して対向している。【選択図】図2

6. 发明专利

JP4965962B2 Micro-mechanical resonator 有权
公开(公告)号：JP4965962B2
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：JP2006279356
申请日：2006-10-13
申请人：三洋電機株式会社 , 学校法人立命館
发明人：光広岡田 , 晃正玉野 , 健一郎鈴木 , 寛範長崎
IPC分类号： H03H9/24 , B81B3/00 , H03H9/00
CPC分类号： H03H9/2463 , H03H9/02259 , H03H2009/02496

7. 发明专利

JP5376472B2 Resonator and manufacturing method thereof 有权
公开(公告)号：JP5376472B2
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：JP2011519818
申请日：2010-06-16
申请人：学校法人立命館
发明人：健一郎鈴木 , 晃正玉野 , 光広岡田 , 昌也競
IPC分类号： H03H9/24 , H03H3/007
CPC分类号： H03H3/0072 , H03H9/1057 , H03H9/2463 , H03H2009/02519
摘要： Disclosed is an easily-producible resonator which uses torsional vibration and has a structure wherein the substrate surface and vibration member lower surface face each other with a sufficiently narrow gap in between. The resonator is provided with a base material (1) which has a flat main surface (1u), layered anchor parts (2a,2b) which are fixed to the main surface (1u), a layered vibrating imparting part (3) which is conductive, a beam-like layered vibration member (4) which is joined to the upper surface of the anchor parts (2a, 2b) with an insulating film (5) disposed therebetween and expands two-dimensionally, and a lead-out conductor (6) which is electrically connected to the vibrating imparting part (3) and extends to the outer side of the region that is covered by the vibration member when seen from above. The upper surface (3u) of the vibrating imparting part (3) faces a portion of the lower surface (4w) of the vibration member (4) with a gap (11), in between, having a distance that is approximately equal to the thickness of the insulating film (5), so that torsional vibration can be generated at at least a portion of the vibration member (4) by the generation of a potential difference between the upper surface (3u) vibrating imparting part (3) and the lower surface (4w) of the vibration member (4).

8. 发明专利

JP5333950B2 Resonator and a resonator array 有权
公开(公告)号：JP5333950B2
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：JP2010501902
申请日：2009-03-03
申请人：学校法人立命館
发明人：健一郎鈴木 , 晃正玉野 , 光広岡田
IPC分类号： H03H9/24
CPC分类号： H03H9/2447 , H03H9/02244 , H03H2009/02519
摘要： [Subject] An object of the present invention is to provide a resonator readily achieving a high resonance frequency without extreme downsizing and allowing for a high Q factor. [Solving Means] A resonator includes: a substrate serving as a base; a first beam having opposite ends fixed to the substrate via fixed connection portions, and having a vibration receiving location for providing linear reciprocating motion in a direction perpendicular to the longitudinal direction thereof; and second beams, branching toward one side from a plurality of branching locations different from the vibration receiving location in the first beam, for generating torsional vibration in accordance with the linear reciprocating motion. The resonator further includes a plurality of third beam, extending from the plurality of branching locations to a side opposite to the plurality of second beams, for generating torsional vibration.

9. 发明专利

JPWO2009110442A1 共振器および共振器アレイ有权
公开(公告)号：JPWO2009110442A1
公开(公告)日：2011-07-14
申请号：JP2010501902
申请日：2009-03-03
申请人：三洋電機株式会社 , 学校法人立命館
发明人：鈴木　健一郎 , 健一郎鈴木 , 晃正玉野 , 晃正玉野 , 岡田　光広 , 光広岡田
IPC分类号： H03H9/24
CPC分类号： H03H9/2447 , H03H9/02244 , H03H2009/02519
摘要：【課題】寸法の極端な縮小をしなくても共振周波数を容易に高くすることができ、Q値を高くすることができる共振器を提供する。【解決手段】共振器112は、基材としての基板12と、両端が固定接続部14a,14bを介して基板12に固定されていて、長手方向に垂直な方向に直線往復運動を付与するための振動入力箇所3を途中に有する第1梁2と、第1梁2のうち振動入力箇所3とは異なる複数の分岐箇所4a,4bから一方の側に分岐する、前記直線往復運動を元にねじり振動を発生させるための第2梁5a,5bとを備える。さらに、共振器112は、複数の分岐箇所4a,4bから複数の第2梁5a,5bとは反対の側に延在する、ねじり振動を発生させるための複数の第3梁6a,6bを備える。【選択図】図14

10. 发明专利

JPWO2009104541A1 マイクロメカニカル共振器审中-公开
公开(公告)号：JPWO2009104541A1
公开(公告)日：2011-06-23
申请号：JP2009554296
申请日：2009-02-16
申请人：三洋電機株式会社 , 学校法人立命館
发明人：鈴木　健一郎 , 健一郎鈴木 , 晃正玉野 , 晃正玉野 , 岡田　光広 , 光広岡田
IPC分类号： H03H9/24 , B81B3/00
CPC分类号： H03H9/2436 , H03H3/0072 , H03H2009/02519
摘要：マイクロメカニカル共振器(1)は、高誘電体基板(2)と、一方端が高誘電体基板(2)に固定された固定端であり、他方端が自由端であるねじり振動体(11)とを備える。ねじり振動体(11)は、略円板状の形状であり下面が基板(2)に固定される固定端であり、上面が固定されていない自由端である。固定端端面の円中心と自由端端面の円中心とを結ぶ軸(ねじり振動軸)を中心としてねじり振動をする。これにより、製造容易でかつ高Q値化が図られたマイクロメカニカル共振器が実現できる。

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