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    • 10. 发明专利
    • 半導体装置およびその製造方法
    • 半导体器件及其制造方法
    • JP2016022550A
    • 2016-02-08
    • JP2014147547
    • 2014-07-18
    • パナソニックIPマネジメント株式会社
    • 樋口 裕一新井 秀幸
    • B81C1/00H01L23/02G01J1/02H03H9/24H03H3/007G01C19/5656G01C19/5663B81B7/02
    • 【課題】製造プロセスが容易で、かつ、真空度の高い中空封止構造を有する半導体装置及びその製造方法を提供する。 【解決手段】基板1の一主面上に形成された保護膜2と、保護膜2と基板1との間に形成された空間部5と、空間部5内に配置され、基板1および保護膜2から離間する部分を有するセンサ部と、保護膜2の上面から空間部5に到達する貫通孔6と、保護膜2上に形成され、貫通孔6上を封止する封止膜3と、を備える。空間部5は減圧状態にあり、封止膜3の貫通孔6上での膜厚は、封止膜3の保護膜2上での膜厚よりも小さい。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种具有易于制造工艺的半导体器件和具有高真空度的中空密封结构,以及该器件的制造方法。一种半导体器件,包括:形成在一个主体上的保护膜2 基板1的表面; 形成在保护膜2和基板1之间的空间部分5; 传感器部分布置在空间部分5中并且具有与基板1和保护膜2间隔开的部分; 从保护膜2的上表面延伸到基板1和保护膜2的空间部5的通孔6; 以及形成在保护膜2上方用于密封通孔6的密封膜3。空间部分5处于抽真空压力状态,并且密封膜3在通孔6上的膜厚度小于膜厚度 的保护膜上的密封膜3。选择的图示:图1