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    • 7. 发明专利
    • 半導体発光装置とその製造方法
    • 半导体发光器件及其制造方法
    • JP2015177087A
    • 2015-10-05
    • JP2014053133
    • 2014-03-17
    • スタンレー電気株式会社
    • 斎藤 竜舞竹原 優志
    • H01L21/28H01L33/38
    • H01L33/44H01L33/382H01L33/405
    • 【課題】 半導体積層にビア孔を形成し、ビア孔底面に形成するコンタクト電極の面積を制限する際に生じる問題を解決する。 【解決手段】 半導体発光装置は、第1導電型を有する第1半導体層、活性層、第2導電型を有する第2半導体層の積層を含む半導体積層と、第2半導体層上に形成された第2電極と、第2半導体層表面から、第2半導体層、活性層を貫通し、第1半導体層に入り、側面に半導体積層を露出し、底面に第1半導体層を露出する凹部と、凹部の底面に開口を有し、凹部側面を覆う絶縁膜と、開口に露出した前記第1半導体層を掘り下げて形成したコンタクト領域と、コンタクト領域の内面を覆い、コンタクト領域に近接する絶縁膜縁上に回り込む部分を有する、第1半導体層側コンタクト電極と、第1半導体層側コンタクト電極を覆い、絶縁膜上に延在する、第1半導体層側高反射率電極とを有する。 【選択図】 図3
    • 要解决的问题:为了解决在半导体层叠层中形成通孔而发生的问题,并且形成在通孔的底面的接触电极的面积被限制。解决方案:半导体发光器件具有: 包含具有第一导电类型的第一半导体层的层叠层,具有第二导电类型的有源层和第二导体层的半导体层叠层; 形成在所述第二半导体层上的第二电极; 通过第二半导体层和有源层从第二半导体层的表面穿透的凹部进入第一半导体层,使半导体层叠层在侧面露出,并使底面露出第一半导体层; 绝缘膜,其在所述凹部的底面具有开口部并覆盖所述凹部的侧面; 通过挖掘暴露于所述开口的所述第一半导体层形成的接触区域; 第一半导体层侧接触电极,其覆盖接触区域的内表面,并且具有潜在接触接触区域的绝缘膜边缘上的部分; 以及覆盖第一半导体层侧接触电极并延伸到绝缘膜上的第一半导体层侧高反射率电极。