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1. 发明专利

JP2019219549A 光偏向器审中-公开
公开(公告)号：JP2019219549A
公开(公告)日：2019-12-26
申请号：JP2018117689
申请日：2018-06-21
申请人：スタンレー電気株式会社
发明人：櫻井誠 , 渡辺直 , 秋山慶太 , 竹原優志 , 小山孝明 , 浅利友隆
IPC分类号： G02B26/08 , B81B3/00 , G02B26/10
摘要：【課題】応力がかかる部分の配線の亀裂剥離の発生を抑制した光偏向器を提供する。【解決手段】光偏向器2は、領域Uに設けられて、第1圧電アクチュエータ10a,10bの変形量に応じた電圧を検出する圧電センサ30a,30bと、薄膜を積層した積層構造で構成され、圧電センサ30a,30bと接続された信号配線32a,32bを備えている。信号配線32a,32bの積層構造は、枠体8の一面側に形成されたSiO x 層22、その上面に形成されたSiN膜24、その上面に形成されたAlNd膜26、及びAlNd膜26を被覆する外層膜28を有し、領域Uの信号配線32a,32bは、外層膜28が枠体8(基板20)を被覆しないように形成されている。【選択図】図5B

2. 发明专利

JP2018120085A 光走査装置审中-公开
公开(公告)号：JP2018120085A
公开(公告)日：2018-08-02
申请号：JP2017011273
申请日：2017-01-25
申请人：スタンレー電気株式会社
发明人：渡辺直
IPC分类号： G02B26/08 , B81B3/00 , G02B26/10
摘要：【課題】基準出射方向を確立して、ミラー部の往復回動制御を的確化することができる光走査装置を提供する。【解決手段】外側アクチュエータ7は、ミアンダパターンで結合し個々に圧電膜をもつ複数のカンチレバー15を有する。複数のカンチレバー15に固定枠4からミラー部2の方への配置順に番号No.1〜No.5を付ける。制御部22は、No.1及びNo.2のカンチレバー15の圧電膜には、反射光を基準出射方向Roに向ける較正用電圧Vrを印加し、No.3〜5のカンチレバー15の圧電膜には、ミラー部2を第2軸線27の周りに往復回動させる往復回動用電圧Vcを印加する。【選択図】図1

3. 发明专利

JP2015169745A 光偏向器审中-公开
标题翻译：光偏转器
公开(公告)号：JP2015169745A
公开(公告)日：2015-09-28
申请号：JP2014043482
申请日：2014-03-06
申请人：スタンレー電気株式会社
发明人：渡辺直
IPC分类号： B81B3/00 , G02B26/10
摘要：【課題】圧電膜と電極膜との剥離を防止して、信頼性及び安定性を高めた光偏向器を提供する。【解決手段】外枠支持体と、ミラー部と、前記ミラー部の中心を通る第1軸線上で一端部が該ミラー部と結合され、かつ、他端部が前記外枠支持体と結合された1対のトーションバーと、前記トーションバーを前記第1軸線回りに往復回転させるように、先端部が該トーションバーと結合され、かつ、少なくとも一部分が前記外枠支持体と結合された圧電アクチュエータ10a、10bとを備えた圧電駆動方式のMEMS型光偏向器において、圧電アクチュエータの先端部(区画線91、92の付近)のPZT圧電膜を、該圧電アクチュエータの他の部分のPZT圧電膜より薄く形成する。【選択図】図7
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够防止压电膜和电极膜之间的剥离并且能够提高可靠性和稳定性的光偏转器。解决方案：压电驱动型MEMS型光偏转器包括：外框架支撑体; 镜子部分; 一对扭杆，其一端在通过镜部分的中心的第一轴线上连接到镜部分，并且其另一端联接到外框架支撑体; 以及压电致动器10a，10b，其末端连接到扭杆上，用于通过围绕第一轴线的往复旋转来旋转扭杆，并且其至少一部分联接到外框架支撑体。压电致动器的末端（在隔室线91,92附近）的PZT压电薄膜比压电致动器的其它部分上的PZT压电薄膜薄。

4. 发明专利

JP2019139046A 2次元光偏向器审中-公开
公开(公告)号：JP2019139046A
公开(公告)日：2019-08-22
申请号：JP2018021668
申请日：2018-02-09
申请人：スタンレー電気株式会社
发明人：渡辺直 , 秋山慶太
IPC分类号： G02B26/08 , B81B3/00 , H01L41/09 , G02B26/10
摘要：【課題】アウタアクチュエータの動特性の悪化を抑制できかつインナフレームの破断を防止した2次元光偏向器を提供する。【解決手段】2次元光偏向器は、ミラー1と、インナフレーム2’と、2つの半リング状圧電アクチュエータ3a、3bとによって構成されている。ミラー1と半リング状圧電アクチュエータ3a、3bとはトーションバー4a、4bによって連結され、半リング状圧電アクチュエータ3a、3bとインナフレーム2’とはフィックス部5a、5bによって連結されている。アウタフレームとインナフレーム2’との間にミアンダ状圧電アクチュエータを連結する。インナフレーム2’にはチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)よりなる圧電層507を長さ方向に部分的に設ける。【選択図】図1

5. 发明专利

JP2021189189A 光走査装置审中-公开
公开(公告)号：JP2021189189A
公开(公告)日：2021-12-13
申请号：JP2020090522
申请日：2020-05-25
申请人：スタンレー電気株式会社
发明人：渡辺直
IPC分类号： G02B26/08 , B81B3/00 , H02N2/14 , G02B26/10
摘要：【課題】特別の圧電センサを追加することなく、回転軸の回りのミラー部の振れ角が小さいときも十分な出力電圧が得られ、高精度に振れ角を検出できるようにした光走査装置を提供する。【解決手段】光走査装置10は、ミラー部31及びHアクチュエータ33を有する光偏向器30と、Hアクチュエータ33の第1組39及び第2組40の圧電区画部分に対し、第1駆動期間では第1駆動電圧及び第2駆動電圧の両方を供給し、第2駆動期間では、第1組39及び第2組40の一方の組の圧電区画部分にのみ駆動電圧を供給する。検出部50は、第2駆動期間には、他方の組の圧電区画部分の出力電圧に基づいて振れ角γを検出する。【選択図】図1

6. 发明专利

JP6808506B2 光走査装置有权
公开(公告)号：JP6808506B2
公开(公告)日：2021-01-06
申请号：JP2017011273
申请日：2017-01-25
申请人：スタンレー電気株式会社
发明人：渡辺直
IPC分类号： G02B26/08 , B81B3/00 , G02B26/10

7. 发明专利

JP2017102412A 光偏向器审中-公开
公开(公告)号：JP2017102412A
公开(公告)日：2017-06-08
申请号：JP2015238037
申请日：2015-12-04
申请人：スタンレー電気株式会社
发明人：渡辺直
IPC分类号： G02B26/08 , B81B3/00 , G02B26/10
摘要：【課題】光偏向器において、ミラー部の往復回動の駆動力を低減させることなく、ミラー部の回動角を検出するセンサの出力増大を図る。【解決手段】光偏向器1は、ミラー部2と、ミラー部2から延び出るトーションバー5bを両側から共働して往復回動させるサブアクチュエータ11c,11dと、サブアクチュエータ11c,11dにおいてアクチュエータ力発生用の第1圧電膜層とは分離して形成された第2圧電膜層の両面間電圧を出力する圧電センサ13c,13dと、圧電センサ13cの第2圧電膜層の一面側及び他面側をそれぞれ圧電センサ13dの第2圧電膜層の他面側及び一面側に接続するセンサ間配線24a,24bとを備える。【選択図】図2

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