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1. 发明专利

JP2005521038A High-resolution spectra measurement device 审中-公开
公开(公告)号：JP2005521038A
公开(公告)日：2005-07-14
申请号：JP2003576905
申请日：2003-01-15
申请人：サイマー, インコーポレイテッドCymer, Inc.
发明人：アレキサンダーアイエルショフ , リチャードエルサンドストローム , スコットティースミス , ウィリアムエヌパートロ , イゴアーヴイフォーメンコフ , ダニエルジェイダブリュブラウン
IPC分类号： G01J3/26 , G01J1/42 , G01J3/12 , G01J3/22 , G01J3/36 , G01J9/00 , G01J9/02 , G21K1/06 , H01S3/134 , H01S3/137
CPC分类号： G01J3/26 , G01J1/4257 , G01J3/02 , G01J3/0205 , G01J3/12 , G01J3/1804 , G01J3/22 , G01J9/02
摘要：高分解能スペクトル測定装置である。好ましい実施形態は、紫外範囲の非常に狭いスリット機能を与え、集積回路リソグラフィに使用される狭帯域エキシマレーザのバンド幅を測定するのに非常に有用である。レーザからの光が拡散器に合焦され、拡散器から出た拡散光がエタロンを照射する。エタロンから出た光の一部が、エタロンの縞パターンで配置されたスリットへ集められ、向けられる。スリットを通過した光が平行にされて、平行にされた光が、波長に従って光を分散させるほぼリトロー構成で配置された格子を照射する。選択されたエタロン縞に対応する波長を表す分散された光の一部が、第２のスリットを通過して、光検出器によってモニタされる。エタロン及び格子が同じ正確な波長にチューニングされる場合、スリット機能は、約０．０３４ｐｍ（ＦＷＨＭ）及び約０．０９１ｐｍ（９５パーセント積分）のような非常に狭いものとして定められる。レーザビームのバンド幅は、レーザビームの一部を絶縁体に向け、モノクロメータのスリット波長を含む範囲にわたるレーザ波長を走査することによって、非常に正確に測定することができる。第２の実施形態において、第２のスリット及び光検出器がフォトダイオードアレイと取り替えられ、レーザビームのバンド幅は、フォトダイオードアレイからの走査データの組を分析することによって決められる。代替的に、レーザ波長は、格子分光計のスペクトル範囲の中央付近に固定することができ、エタロンを走査することができる。

2. 发明专利

JP2006516329A Gas cell 有权
公开(公告)号：JP2006516329A
公开(公告)日：2006-06-29
申请号：JP2006500748
申请日：2004-01-15
申请人：センセエアーアーベー
发明人：マーチン、ハンス、ゲラン、エヴァルト
IPC分类号： G01N21/03 , G01J3/22 , G01N21/31 , G01N21/35
CPC分类号： G01N21/3504 , G01J3/22 , G01N21/314 , G01N2021/3137 , G01N2021/317
摘要：本発明はガスＧの存在を確立し、および／またはガスの濃度を決定するよう適合され、ガス・センサに含まれたガス・セルに関する。光反射特性のある壁部分で制限され、前記ガスの容量（Ｇ）を閉じ込めるようにされ、さらに光線束３ａ'をキャビティ関連および対向する壁部分の間で反射する方向に放射するよう適合された光源３を含むキャビティ２'でガス・セルは構成される。光線束３ａ”は凹壁鏡面２ｂ'で反射し、ガス試料（Ｇ）に対応する吸収波長を検出する機能のある１つ以上の受光器４，５に向かうよう適合された光線で構成される。凹曲壁鏡面２ｂ'で、光源３から斜めに受光した発散光線束３ａ'を、表面構造がリトロー配置にされた平面格子に割り当てたキャビティ関連の壁面２ｇ'の方向に反射させる。光線束３ａ”は格子のブレーズ角付近の角度で平面壁面２ｇ'に当たり、それで、選択されたガス試料（Ｇ）に対応し光線束３ａ”に存在する吸収波長を前記平面壁面２ｇ”でストレートに反対方向に回折反射させ、さらに前記曲鏡面２ｂ'で再度反射させて、前記受光器４，５のそれぞれの方向に向ける。

3. 发明专利

JP2005500527A Convolution method for the measurement of laser bandwidth 有权
公开(公告)号：JP2005500527A
公开(公告)日：2005-01-06
申请号：JP2003521302
申请日：2002-07-25
申请人：サイマー, インコーポレイテッドCymer, Inc.
发明人：アレクサンダーアイエルショフ , リチャードエルサンドストロム , スティーヴンハース , トーマスホフマン
IPC分类号： G01J1/42 , G01J3/02 , G01J3/12 , G01J3/18 , G01J3/22 , G01J3/26 , G01J3/28 , G01J3/36 , G01J9/02
CPC分类号： G01J3/26 , G01J1/4257 , G01J3/02 , G01J3/027 , G01J3/12 , G01J3/1809 , G01J3/22 , G01J3/28 , G01J9/02
摘要：本発明は、レーザーの帯域幅が分光計のスリット関数に比べて大きくない環境の下で、分光計を使って得られた帯域幅データに基づいて、超狭帯域レーザービームの帯域幅データを計算するための、簡単で信頼でき、使い易い方法を提供する。分光計のスリット関数が求められる（２０）。レーザービームのスペクトルデータは、分光計を使って測定され、レーザービームのスペクトルと分光計のスリット関数のコンボルーションを表す、測定されたレーザービームのスペクトルを作る（７６）。この測定されたレーザースペクトルは、次に、分光計のスリット関数と数学的にコンボルブされ、二重にコンボルブされたスペクトルが作られる。真のレーザー帯域幅を表す帯域幅値は、測定されたレーザースペクトルと二重にコンボルブされたスペクトルから求められる。真のレーザー帯域幅は、「測定されたレーザー帯域幅の２倍」と、対応する「二重にコンボルブされた帯域幅」の間の差を求めることによって算定されるのが望ましい。本方法は、「測定されたレーザー帯域幅の２倍」が２つのレーザー帯域幅と２つの分光計のスリット関数帯域幅とを表し、「二重にコンボルブされた帯域幅」が１つのレーザー帯域幅と２つの分光計のスリット関数帯域幅とを表すので、真のレーザー帯域幅を上手く見積もることができる。而して、この差が、真のレーザー帯域幅を表すことになる。好適な実施形態では、測定された帯域幅のパラメータは、半値全幅帯域幅と９５％の積分帯域幅である。
【選択図】図１

4. 发明专利

JP6192006B2 分光装置、検出装置、光源装置、反応装置及び測定装置有权
公开(公告)号：JP6192006B2
公开(公告)日：2017-09-06
申请号：JP2013120520
申请日：2013-06-07
申请人：国立大学法人東京大学 , キヤノン株式会社
发明人：助川隆 , 小林洋平 , 小澤陽 , 遠藤護 , 五神真
IPC分类号： G01J3/36 , G01J3/10 , G01N21/75 , G01J3/22
CPC分类号： G02B27/1086 , G01J1/0411 , G01J1/0414 , G01J1/0425 , G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/0221 , G01J3/0291 , G01J3/18 , G01J3/1804 , G01J3/22 , G01J3/2823 , G01N21/75 , G02B5/18 , G01J2003/1861 , G01J3/0218 , G02B2005/1804

5. 发明专利

JP2014238308A 分光装置、検出装置、光源装置、反応装置及び測定装置有权
标题翻译：光谱设备，检测装置，光源装置，反应装置和测量装置
公开(公告)号：JP2014238308A
公开(公告)日：2014-12-18
申请号：JP2013120520
申请日：2013-06-07
申请人：国立大学法人東京大学 , Univ Of Tokyo , 国立大学法人東京大学 , キヤノン株式会社 , Canon Inc
发明人： SUKEGAWA TAKASHI , KOBAYASHI YOHEI , OZAWA AKIRA , ENDO MAMORU , IKAMI MAKOTO
IPC分类号： G01J3/22 , G01J3/10 , G01J3/36 , G01N21/75
CPC分类号： G02B27/1086 , G01J1/0411 , G01J1/0414 , G01J1/0425 , G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/0218 , G01J3/0221 , G01J3/0291 , G01J3/18 , G01J3/1804 , G01J3/22 , G01J3/2823 , G01J2003/1861 , G01N21/75 , G02B5/18 , G02B2005/1804
摘要：【課題】分光装置の小型化、高分解能化及び高効率化を実現するのに有利な技術を提供する。【解決手段】所定の波長を含む光を分光する分光装置であって、前記光が入射するスリット110と、前記スリットからの光をコリメートする第1光学系120と、前記第1光学系からの光を回折する透過型回折素子130と、前記透過型回折素子で回折された光を反射する第1ミラーと、前記第1ミラーで反射され、前記透過型回折素子で回折された光を反射する第2ミラーとを含み、前記第1ミラーと前記第2ミラーとの間において前記透過型回折素子を介して光を往復させるように配置される。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种有利于允许分光装置的尺寸减小，更高分辨率和更高效率的技术。解决方案：用于光谱分离包括预定波长的光的分光装置包括：光进入的狭缝110; 第一光学系统120准直来自狭缝的光; 透射型衍射元件130衍射来自第一光学系统的光; 反射由透射型衍射元件衍射的光的第一镜; 反射由第一反射镜反射并由透射型衍射元件衍射的光的第二镜。这种布置使得光通过透射型衍射元件在第一反射镜和第二反射镜之间来回移动。

6. 发明专利

JP4446314B2 Gas cell 有权
公开(公告)号：JP4446314B2
公开(公告)日：2010-04-07
申请号：JP2006500748
申请日：2004-01-15
申请人：センセエアーアーベー
发明人：マーチン、ハンス、ゲラン、エヴァルト
IPC分类号： G01N21/03 , G01J3/22 , G01N21/31 , G01N21/35
CPC分类号： G01N21/3504 , G01J3/22 , G01N21/314 , G01N2021/3137 , G01N2021/317

8. 发明专利

JP2004518954A High resolution etalon - grating monochromator spectrometer 审中-公开
公开(公告)号：JP2004518954A
公开(公告)日：2004-06-24
申请号：JP2002561909
申请日：2002-01-28
申请人：サイマー, インコーポレイテッドCymer, Inc.
发明人：アレクサンダーアイアーショフ , リチャードエルサンドストロム , スコットティースミス , イゴーヴィーフォメンコフ , ダニエルジェイダブリューブラウン
IPC分类号： G01J3/26 , G01J1/42 , G01J3/12 , G01J3/22 , G01J9/02 , G21K1/06 , H01S3/134 , H01S3/137
CPC分类号： G01J3/12 , G01J1/4257 , G01J3/22 , G01J3/26 , G01J9/02
摘要：高分解能エタロン−格子型分光器又はモノクロメータである。好ましい実施形態は、紫外範囲の非常に狭いスリット機能を与え、集積回路平板印刷法に用いられる狭帯域エキシマレーザのバンド幅測定に非常に有用である。レーザからの光が拡散器の中に合焦され、拡散器から出る拡散された光がエタロンを照射する。エタロンから出た光の一部が、エタロンの縞パターンで配置されたスリットの中に集められ、及び導かれる。スリットを通過する光が平行化され、該平行化された光が、波長に従って光を分散させるほぼリトロー構成で配置された格子を照射する。選択されたエタロン縞に対応する波長を表わす分散された光の一部が、第２スリットを通過し、光検出器によってモニタリングされる。エタロンと格子が同じ正確な波長に調整されるときには、スリット機能は、約０．０３４ｐｍ（ＦＷＨＭ）及び約０．０９１ｐｍ（９５パーセント積分）のように非常に狭いものとして定められる。エタロンと格子は、窒素又はヘリウムのようなガスが充満された漏れの無い容器の中に収容される。分光器の構成においては、分光器の波長スキャンは、スキャン中の容器内のガス圧を変化させることによって行われる。モノクロメータ構成においては、レーザビームのバンド幅は、レーザビームの一部をモノクロメータの中に導き、モノクロメータスリット波長を含む範囲にわたるレーザ波長をスキャンすることによって、非常に正確に測定することができる。

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