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    • 9. 发明专利
    • 検出器および荷電粒子線装置
    • 探测器和充电颗粒光束装置
    • JP2015005351A
    • 2015-01-08
    • JP2013128576
    • 2013-06-19
    • 日本電子株式会社Jeol Ltd
    • KANEKO TAKESHI
    • H01J37/244
    • G01T1/2008H01J37/244H01J37/28H01J2237/2443
    • 【課題】低加速電圧から高加速電圧まで幅広い範囲で高い検出感度を有することができる検出器を提供する。【解決手段】検出器100は、荷電粒子線を検出するための検出器であって、荷電粒子線を光に変換する第1発光部10と、第1発光部10を透過した荷電粒子線を光に変換する第2発光部20と、第1発光部10で発生した光および第2発光部20で発生した光を検出する光検出部30と、を含み、第1発光部10は、粉末のシンチレーターであり、第2発光部20は、単結晶のシンチレーターである。【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种能够在从低加速电压到高加速电压的宽范围内具有高检测灵敏度的检测器。解决方案:用于检测带电粒子束的检测器100包括:第一发光部分 10,用于将带电粒子束转换成光; 用于将透过第一发光部分10的带电粒子束转换为光的第二发光部分20; 以及用于检测在第一发光部分10中产生的光和在第二发光部分20中产生的光的光检测部分30.第一发光部分10是粉状闪烁体,第二发光部分20是 单晶闪烁体。
    • 10. 发明专利
    • Mass spectroscope
    • 质谱仪
    • JP2014182070A
    • 2014-09-29
    • JP2013057952
    • 2013-03-21
    • Jeol Ltd日本電子株式会社
    • KOU JYUNKEI
    • G01N27/62H01J49/42
    • PROBLEM TO BE SOLVED: To achieve a shorter measurement time.SOLUTION: One of (1) the method of determining an order of measurement to execute a sequence method so that a temperature control part which is expected to require a shorter time for reaching a preset temperature is measured earlier, as the time required for reaching the preset temperature between measures can be estimated by calculation if rates of temperature rise and temperature fall of the temperature control part are recorded in a storage medium in advance and retained, and (2) the method of controlling a sequence so that a measurement having a temperature condition to which a temperature control part can transit from a temperature condition of the measurement currently in progress in the shortest time is determined by calculation from among all unmeasured measurements, on the basis of data of the rates of temperature rise and temperature fall of the temperature control part, and the determined unmeasured measure which requires the shortest time is selected as a measure to be executed next, is adopted.
    • 要解决的问题:实现更短的测量时间。解决方案:(1)确定测量顺序以执行顺序方法的方法之一,使得期望需要较短时间达到预设的温度控制部分 由于温度控制部的温度上升和温度下降的速度被预先记录在存储介质中并被保留,所以可以通过计算来估计达到预定温度所需要的时间的温度,并且(2) 控制序列的方法,使得具有温度控制部分能够以最短时间从当前正在进行的测量的温度条件转移到的温度条件的测量通过从所有未测量的测量结果中的数据,基于数据 的温度控制部分的温度升高和温度下降的速率,以及确定的未测量的测量 选择最短时间作为下一步执行的措施。