基本信息:
- 专利标题： 球面収差補正装置、球面収差補正方法、および荷電粒子線装置
- 专利标题（英）：Spherical aberration correction apparatus, spherical aberration correction method and charged particle beam device
- 专利标题（中）：球形屈光度校正装置，球形抛光校正方法和充电颗粒光束装置
- 申请号：JP2013153367 申请日：2013-07-24
- 公开(公告)号：JP2015026431A 公开(公告)日：2015-02-05
- 发明人： SAWADA HIDEAKI , JIMBO YU
- 申请人： 日本電子株式会社 , Jeol Ltd
- 专利权人： 日本電子株式会社,Jeol Ltd
- 当前专利权人： 日本電子株式会社,Jeol Ltd
- 优先权： JP2013153367 2013-07-24
- 主分类号： H01J37/153
- IPC分类号： H01J37/153
摘要：
【課題】像および回折図形の少なくとも一方の真円度のずれの補正と軸上収差の補正とを個別に行うことができる球面収差補正装置を提供する。【解決手段】球面収差補正装置100は、像および回折図形を取得する荷電粒子線装置用の球面収差補正装置であって、多段の六極子場を発生させる六極子場発生部110と、前記多段の六極子場の少なくとも1つに、前記像および前記回折図形の少なくとも一方の真円度のずれを補正する八極子場を重畳する八極子場重畳部120と、荷電粒子線を偏向させる偏向部130と、を含む。【選択図】図1
摘要（中）：
要解决的问题：提供一种能够单独校正图像和衍射图案和轴向像差中的至少一个中的圆度的偏差的球面像差校正装置。解决方案：提供了一种用于带电粒子束装置的球面像差校正装置100 用于捕获图像和衍射图案，并且包括：用于产生多级六极场的六极场产生部分110; 用于将校正图像和衍射图案中的至少一个的圆形度的偏差的八极场叠加在多级六极场中的至少一个上的八极场叠加部分120; 以及用于偏转带电粒子束的偏转部分130。
公开/授权文献:
- JP6077960B2 球面収差補正装置、球面収差補正方法、および荷電粒子線装置 公开/授权日：2017-02-08
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01J | 放电管或放电灯 |
| ------H01J37/00 | 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,如为了对其检验或加工的 |
| --------H01J37/02 | .零部件 |
| ----------H01J37/04 | ..电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置 |
| ------------H01J37/153 | ...用以校正图像缺陷的电子或离子光学装置，如像散校正装置 |