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1. 发明专利

JP2015005351A 検出器および荷電粒子線装置有权
标题翻译：探测器和充电颗粒光束装置
公开(公告)号：JP2015005351A
公开(公告)日：2015-01-08
申请号：JP2013128576
申请日：2013-06-19
申请人：日本電子株式会社 , Jeol Ltd
发明人： KANEKO TAKESHI
IPC分类号： H01J37/244
CPC分类号： G01T1/2008 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/2443
摘要：【課題】低加速電圧から高加速電圧まで幅広い範囲で高い検出感度を有することができる検出器を提供する。【解決手段】検出器100は、荷電粒子線を検出するための検出器であって、荷電粒子線を光に変換する第1発光部10と、第1発光部10を透過した荷電粒子線を光に変換する第2発光部20と、第1発光部10で発生した光および第2発光部20で発生した光を検出する光検出部30と、を含み、第1発光部10は、粉末のシンチレーターであり、第2発光部20は、単結晶のシンチレーターである。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够在从低加速电压到高加速电压的宽范围内具有高检测灵敏度的检测器。解决方案：用于检测带电粒子束的检测器100包括：第一发光部分 10，用于将带电粒子束转换成光; 用于将透过第一发光部分10的带电粒子束转换为光的第二发光部分20; 以及用于检测在第一发光部分10中产生的光和在第二发光部分20中产生的光的光检测部分30.第一发光部分10是粉状闪烁体，第二发光部分20是单晶闪烁体。

2. 发明专利

JP2012209050A Electron microscope and three-dimensional image construction method 有权
标题翻译：电子显微镜和三维图像构造方法
公开(公告)号：JP2012209050A
公开(公告)日：2012-10-25
申请号：JP2011072366
申请日：2011-03-29
申请人： Jeol Ltd , 日本電子株式会社
发明人： KANEKO TAKESHI
IPC分类号： H01J37/22 , H01J37/26
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electron microscope and a three-dimensional image construction method capable of enhancing the image quality of a three-dimensional image obtained by a CT method.SOLUTION: In the electron microscope 100, an image acquisition unit 24 performs a first processing of acquiring a first inclination image series by acquiring the transmission electron microscope image of a specimen S before a marker is formed at each inclination angle, and a second processing of acquiring a second inclination image series by acquiring the transmission electron microscope image of a specimen on which a marker is formed at each inclination angle. A three-dimensional image construction unit 26 performs alignment processing of aligning a plurality of transmission electron microscope images constituting the first inclination image series based on the second inclination image series, and performs three-dimensional construction processing of the plurality of transmission electron microscope images constituting the first inclination image series thus aligned.
摘要翻译：要解决的问题：提供能够提高通过CT方法获得的三维图像的图像质量的电子显微镜和三维图像构造方法。解决方案：在电子显微镜100中，图像获取单元24执行通过在每个倾斜角形成标记之前获取样本S的透射电子显微镜图像来获取第一倾斜图像序列的第一处理，以及通过以每个倾斜角获取其上形成标记的样本的透射电子显微镜图像来获取第二倾斜图像序列的第二处理。三维图像构造单元26执行基于第二倾斜图像序列对构成第一倾斜图像序列的多个透射电子显微镜图像的对准处理，并且对构成的多个透射电子显微镜图像进行三维构造处理第一倾斜图像系列由此对齐。版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

3. 发明专利

JP2015026596A 検出器および荷電粒子線装置有权
标题翻译：探测器和充电颗粒光束装置
公开(公告)号：JP2015026596A
公开(公告)日：2015-02-05
申请号：JP2014051170
申请日：2014-03-14
申请人：日本電子株式会社 , Jeol Ltd
发明人： KANEKO TAKESHI
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/28
摘要：【課題】シンチレーターで発生した光を効率よく光検出部に転送して、高い検出感度を有することができる検出器を提供する。【解決手段】検出器100は、荷電粒子線の照射により試料で散乱された散乱荷電粒子線EB2を検出し、前記試料を透過した透過荷電粒子線EB1を通過させる検出器であって、透過荷電粒子線EB1を通過させるための第1貫通孔12が設けられ、散乱荷電粒子線EB2を光に変換するシンチレーター10と、シンチレーター10で発生した光を第1開口から入射させて第2開口から射出する管部20と、第2開口から射出された光を導くライトガイド30と、ライトガイド30で導かれた光を検出する光検出部40と、を含み、管部20には、透過荷電粒子線EB1を通過させるための第2貫通孔26が設けられている。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够通过有效地将闪烁体中产生的光转移到光电检测器来实现高检测灵敏度的检测器。解决方案：检测器100通过带电粒子束的照射来检测样品散射的散射带电粒子束EB 并且允许穿过样品的透射带电粒子束EB传播通过。检测器包括：闪烁体10，其具有用于使透射带电粒子束EB通过并将散射的带电粒子束EBin转换为光的第一通孔12; 允许在闪烁体10中产生的光通过第一开口进入以通过第二开口发射的管部分20; 用于引导通过第二开口发射的光的光导30; 以及用于检测由导光体30引导的光的光检测部40.用于使透射带电粒子束EB贯通的第二通孔26设置在管部20中。

4. 发明专利

JP2012204041A Electron microscope and three-dimensional image construction method 有权
标题翻译：电子显微镜和三维图像构造方法
公开(公告)号：JP2012204041A
公开(公告)日：2012-10-22
申请号：JP2011065445
申请日：2011-03-24
申请人： Jeol Ltd , 日本電子株式会社
发明人： KANEKO TAKESHI
IPC分类号： H01J37/22 , H01J37/26
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electron microscope and a three-dimensional image construction method capable of enhancing the picture quality of a three-dimensional image obtained by the CT method.SOLUTION: The electron microscope comprises specimen inclination means for inclining a specimen in multiple steps, image acquisition means for acquiring a transmission electron microscope image TI obtained at each inclination angle θ set by the specimen inclination means, and three-dimensional image construction means for constructing the three-dimensional image of a specimen based on the transmission electron microscope image TI acquired at each inclination angle θ. The width b of the region of a transmission electron microscope image TI used for constructing the three-dimensional image of a specimen is changed in a direction perpendicular to an inclination axis according to the inclination angle θ.
摘要翻译：要解决的问题：提供能够提高通过CT方法获得的三维图像的图像质量的电子显微镜和三维图像构造方法。电子显微镜包括用于多个台阶倾斜试样的试样倾斜装置，用于获取由试样倾斜装置设定的每个倾斜角度θ获得的透射电子显微镜图像TI的图像获取装置和三维图像构造基于以每个倾斜角度θ获取的透射电子显微镜图像TI构造样本的三维图像的装置。用于构造样本的三维图像的透射电子显微镜图像TI的区域的宽度b根据倾斜角度θ在垂直于倾斜轴线的方向上改变。版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

5. 发明专利

JP2012167951A Method for producing needle-like sample for electronic microscope 有权
标题翻译：用于生产电子显微镜的针状样品的方法
公开(公告)号：JP2012167951A
公开(公告)日：2012-09-06
申请号：JP2011027390
申请日：2011-02-10
申请人： Jeol Ltd , 日本電子株式会社
发明人： KANEKO TAKESHI
IPC分类号： G01N1/28
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for producing a needle-like sample for an electronic microscope which allows the needle-like sample to be simply produced.SOLUTION: The method for producing the needle-like sample to be observed by the electronic microscope includes: a step for placing a target sample on a placing sample; a step for fixing the target sample on the placing sample; a step for applying a converged ion beam to the target sample and the placing sample and producing a thin sample composed of the target sample and the placing sample; a step for soaking the thin sample in a solution and dissolving the placing sample to leave only the target sample; and a step for extracting the left target sample from the solution.
摘要翻译：解决的问题：提供一种电子显微镜的针状样品的制造方法，其能够简单地制造针状样品。解决方案：用于制造由电子显微镜观察的针状样品的方法包括：将靶样品放置在放置样品上的步骤; 将目标样品固定在放置样品上的步骤; 将会聚离子束施加到目标样品和放置样品并产生由目标样品和放置样品组成的薄样品的步骤; 将薄样品浸泡在溶液中并溶解放置样品以仅留下目标样品的步骤; 以及从溶液中提取左目标样品的步骤。版权所有（C）2012，JPO＆INPIT

6. 发明专利

JP2011129500A Three-dimensional image acquisition method and device of sample using tomography method 有权
标题翻译：三维图像获取方法和使用方法的样本设备
公开(公告)号：JP2011129500A
公开(公告)日：2011-06-30
申请号：JP2010111850
申请日：2010-05-14
申请人： Jeol Ltd , 日本電子株式会社
发明人： KANEKO TAKESHI
IPC分类号： H01J37/28 , G01N23/225 , H01J37/22 , H01J37/26
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a three-dimensional image acquisition method and device of a sample wherein a tomography method to improve resolution is used. SOLUTION: In a scanning transmission electron microscope, a three-dimensional image acquisition module to acquire three-dimensional image of the sample is installed, a first three-dimensional image of the sample is acquired by using the three-dimensional image acquisition module, then a second three-dimensional image of the sample is acquired by turning back the sample and using the three-dimensional image acquisition module, and the three-dimensional image of the sample is acquired from the acquired first three-dimensional image and the acquired second three-dimensional image of the sample. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种三维图像获取方法和样品的装置，其中使用提高分辨率的断层摄影方法。解决方案：在扫描透射电子显微镜中，安装用于获取样品的三维图像的三维图像获取模块，通过使用三维图像采集获得样品的第一三维图像模块，则通过返回样本并使用三维图像获取模块来获取样本的第二三维图像，并且从所获取的第一立体图像获取样本的三维图像，并且获得样品的第二个三维图像。版权所有（C）2011，JPO＆INPIT

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