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    • 6. 发明专利
    • 薄板移送装置及び薄板清掃システム
    • 薄板转移装置和薄板清洁系统
    • JP2015030548A
    • 2015-02-16
    • JP2013158742
    • 2013-07-31
    • 株式会社 ハリーズHallys Corp株式会社 ハリーズ
    • HAGIWARA YASUHISAEBISU KATSUYAAOYAMA HIROSHIHAYASHIDA TORU
    • B65H15/00B08B1/04B65G49/06B65H5/00
    • 【課題】薄板を効率よく反転できる薄板移送装置を提供することを課題とする。【解決手段】本発明の薄板移送装置は、所定の第1受渡領域において薄板の一方の面を吸着し、所定の第2受渡領域において薄板を解放する吸着部と、この吸着部が一端側に付設されているアームと、このアームの他端側を支持し、吸着部に吸着されているときの薄板と平行な平面上に位置する回転軸を中心に回転可能な回転部とを備える。複数の吸着部及びアームが、回転部を中心に略対称に配置されており、第1受渡領域と第2受渡領域とが回転軸を中心に略対称に位置するとよい。回転部とアームとの間に設けられ、回転部に対してアームを吸着部の吸引方向に突出又は後退する突出機構を備え、吸着部が、第1受渡領域において、突出機構がアームを後退させることによって薄板よりも下方に退避し、突出機構がアームを突出させることによって薄板を持ち上げるとよい。【選択図】図3
    • 要解决的问题:提供一种能够有效地反转薄板的薄板转印装置。解决方案:本发明的薄板转印装置包括:抽吸部,其在第一预定输送区域中吸附薄板的一个表面 并且在第二预定输送区域中释放薄板; 一个臂,其一个端部侧设有吸入部; 以及支撑臂的另一端侧的旋转部,能够绕位于与被吸​​引部吸引的薄板平行的平面上的旋转轴旋转。 多个抽吸部件和臂相对于旋转部分大致对称​​地布置,并且第一传送区域和第二传送区域可以相对于旋转轴线大致对称。 突出机构设置在旋转部和臂之间,并且相对于旋转部在吸引部的吸入方向上使臂伸出或缩回。 在第一输送区域中,当突出机构退避臂时,吸引部分从薄板向下退回,并且当突起机构突出臂时提升薄板。
    • 7. 发明专利
    • 透明板清掃システム
    • 透明板清洁系统
    • JP2015029922A
    • 2015-02-16
    • JP2013158753
    • 2013-07-31
    • 株式会社 ハリーズHallys Corp株式会社 ハリーズ
    • HAGIWARA YASUHISAEBISU KATSUYAAOYAMA HIROSHIHAYASHIDA TORU
    • B08B1/02B65G49/06G02F1/13G03F7/20H01L21/027H01L21/677
    • 【課題】透明板の両面を完全に清掃できる透明板清掃システムを提供する。【解決手段】本発明の透明板清掃システムは、透明板の一方の面を清掃する第1クリーニング装置、透明板の他方の面を清掃する第2クリーニング装置、及び透明板を第1クリーニング装置から第2クリーニング装置に移送する移送装置を備え、移送装置が、透明板を移送中に反転する。移送装置が、透明板の他方の面に接触して透明板を保持する保持部を有するとよい。第1クリーニング装置が、透明板を第1清掃領域から第1受渡領域まで搬送する第1搬送部を有し、第2クリーニング装置が、透明板を第2受渡領域から第2清掃領域まで搬送する第2搬送部を有し、保持部が、第1受渡領域で透明板の他方の面を吸着し、移送装置が、保持部を第1受渡領域から第2受渡領域側に移動させつつ透明板を反転させるよう、所定の回転軸を中心に回転する回転部をさらに有するとよい。【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种可以完全清洁透明板的两个表面的透明板清洁系统。解决方案:透明板清洁系统包括用于清洁透明板的一个表面的第一清洁装置,用于清洁的第二清洁装置 透明板的另一个表面,以及用于将透明板从第一清洁装置转移到第二清洁装置的转印装置。 转印装置在转印过程中反转透明板。 转印装置可以包括用于通过与透明板的另一表面接触来保持透明板的保持部件。 第一清洁装置包括用于将透明板从第一清洁区域输送到第一输送区域的第一输送部件。 第二清洁装置包括用于将透明板从第二输送区域输送到第二清洁区域的第二输送部件。 保持部吸附第一输送区域中的透明板的另一面。 传送装置优选地包括围绕预定旋转轴线旋转的旋转部件,使得透明板在从第一传送区域传送到第二传送区域侧的同时反转。