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    • 90. 发明专利
    • 半導体レーザ素子及び半導体レーザ素子の製造方法
    • 半导体激光元件和半导体激光元件制造方法
    • JP2016154203A
    • 2016-08-25
    • JP2015088507
    • 2015-04-23
    • 住友電工デバイス・イノベーション株式会社
    • 石浦 正巳
    • G02B5/18H01L21/3065H01S5/12
    • H01S5/2275H01S5/1206H01S5/0202H01S5/0265H01S5/1014H01S5/1203H01S5/1231H01S5/2222H01S5/305H01S5/34306
    • 【課題】回折格子に起因するエピタキシャル成長におけるエピ層の欠陥が活性領域に入り込む現象を抑えることができる半導体レーザ素子及び半導体レーザ素子の製造方法を提供する。 【解決手段】n型InPクラッド層3の内部には、第1回折格子14及び第2回折格子15が形成されている。第2回折格子15は、第1回折格子14の光導波方向における両端に連続して形成されており、第2回折格子15の端のうち第1回折格子14と連続する側の端とは反対側の端は、劈開面(出射面)13に達している。第2回折格子が第1回折格子の両端に形成されているので、第1回折格子14の両端におけるエピタキシャル成長におけるエピ層の欠陥発生を抑えることができ、欠陥が活性層4内における活性領域に入り込むという現象を抑えることができる。その結果、レーザ発振効率への影響を抑えることできる。 【選択図】図2
    • 要解决的问题:提供一种半导体激光元件和半导体激光元件制造方法,其可以抑制由衍射光栅引起的外延生长中的外延层的缺陷到达有源区域的现象。解决方案:半导体激光元件包括 形成在n型InP包层3内的第一衍射光栅14和第二衍射光栅15.第二衍射光栅15以连续的方式在光波导方向上由第一衍射光栅14的两端形成。 第二衍射光栅15的与连续到第一衍射光栅14的端部相反的一侧的端部分别到达解理面(发射面)13。 由于第二衍射光栅形成在第一衍射光栅的两端,所以能够抑制第一衍射光栅14两端的外延生长中的外延层的缺陷的产生,因此,缺陷达到活性的现象 可以抑制有源层4中的区域。 因此,对激光效率的影响可以减弱。选择图:图2