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    • 73. 发明专利
    • 加工装置
    • JP2018192412A
    • 2018-12-06
    • JP2017097439
    • 2017-05-16
    • 株式会社ディスコ
    • 浅井 宏平小西 洋輔
    • B24B37/34B24B7/04H01L21/304B08B1/04
    • 【課題】研磨工具が保持面に接触するときの衝撃を緩和し、該保持面の損傷を抑制する。 【解決手段】被加工物を保持面上に保持するチャックテーブルと、加工領域と、搬入出領域と、に該チャックテーブルを位置付けるチャックテーブル位置付けユニットと、該搬入出領域に位置付けられた該チャックテーブルの上方に配設され、該保持面を洗浄するチャックテーブル洗浄ユニットと、該チャックテーブルに接続され該保持面から噴出させる流体を該チャックテーブルに供給する流体供給ユニットと、を備え、該チャックテーブル洗浄ユニットは、該保持面に当接する研磨工具と、該研磨工具を回転させる回転ユニットと、該回転ユニットを該回転軸の軸方向に移動させる移動ユニットと、を備え、該制御ユニットは、該保持面を洗浄するとき、該研磨工具を回転させつつ下降させ、該研磨工具が該保持面に当接する際に、該保持面から該流体を噴射させる。 【選択図】図2