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61. 发明专利

JP2010226096A Laser device and extreme ultraviolet light source device 有权
标题翻译：激光器件和极光超光源光源器件
公开(公告)号：JP2010226096A
公开(公告)日：2010-10-07
申请号：JP2010037108
申请日：2010-02-23
申请人： Gigaphoton Inc , Komatsu Ltd , ギガフォトン株式会社 , 株式会社小松製作所
发明人： NOWAK KRZYSZTOF , OTA TAKESHI , WAKABAYASHI OSAMU
IPC分类号： H01S3/131 , H01L21/027 , H01S3/00 , H01S3/082 , H01S3/134 , H05G2/00
CPC分类号： H01S3/235 , G03F7/70033 , H01S3/005 , H01S3/08031 , H01S3/1307 , H01S3/2232 , H01S3/2375 , H01S3/2383 , H01S5/0654 , H01S5/0687 , H01S5/141 , H01S5/4012 , H01S5/4025
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To make high speed and precision laser energy control in a wide dynamic range. SOLUTION: A laser device and extreme ultraviolet light source device is provided with: a regenerative amplifier (9) for outputting a single or multi vertical mode laser light; a preamplifier (PA) and main amplifier (MA); a master oscillator that is a semiconductor laser (4) for oscillating the single or multi vertical mode laser light so as to input the single or multi vertical mode laser light into the regenerative amplifier (9), preamplifier (PA) and main amplifier (MA) in the range of amplifying line of the regenerative amplifier (9), preamplifier (PA) and main amplifier (MA); and a semiconductor laser system (8) that carries out not only wavelength control of the master oscillator so that the wavelength of the single or multi vertical mode laser light emitted from the semiconductor laser (4) is matched to the amplifying line of the regenerative amplifier (9), preamplifier (PA) and main amplifier (MA) but also waveform control for adjusting the pulse waveform and/or pulse output timing of the single or multi vertical mode laser light. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：在宽动态范围内实现高速和精确的激光能量控制。
解决方案：激光装置和极紫外光源装置具有：再生放大器（9），用于输出单个或多个垂直模式激光; 前置放大器（PA）和主放大器（MA）; 主振荡器，其是用于振荡单个或多个垂直模式激光以将单个或多个垂直模式激光输入到再生放大器（9），前置放大器（PA）和主放大器（MA）的半导体激光器（4））在再生放大器（9），前置放大器（PA）和主放大器（MA）的放大线的范围内; 以及半导体激光器系统（8），其不仅执行主振荡器的波长控制，使得从半导体激光器（4）发射的单个或多个垂直模式激光的波长与再生放大器的放大线匹配（9），前置放大器（PA）和主放大器（MA），还有用于调整单个或多个垂直模式激光的脉冲波形和/或脉冲输出定时的波形控制。版权所有（C）2011，JPO＆INPIT

63. 发明专利

JP2010171375A Laser device and extreme ultraviolet light source device 有权
标题翻译：激光器件和极光超光源光源器件
公开(公告)号：JP2010171375A
公开(公告)日：2010-08-05
申请号：JP2009211072
申请日：2009-09-11
申请人： Gigaphoton Inc , ギガフォトン株式会社
发明人： WAKABAYASHI OSAMU , ENDO AKIRA , NOWAK KRZYSZTOF , SUGANUMA TAKASHI , MORIYA MASATO
IPC分类号： H01L21/027 , H01S3/104 , H01S5/14
CPC分类号： H01S3/2316 , B82Y20/00 , G03F7/70033 , H01S3/0007 , H01S3/107 , H01S3/2232 , H01S3/235 , H01S5/02284 , H01S5/0654 , H01S5/06837 , H01S5/0687 , H01S5/141 , H01S5/3402 , H01S5/4012 , H01S5/4062 , H01S5/4087
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser device and an extreme ultraviolet light source device, in which handling of a master oscillator to an amplifier is easy and efficient amplification is achieved even in the amplifier using CO 2 gas for achieving a high output as an amplification medium. SOLUTION: The extreme ultraviolet light source device includes a semiconductor laser 61 outputting one or more longitudinal mode laser light, a pre-amplifier PA and a main amplifier MA amplifying the longitudinal mode laser light with a wavelength contained in one or more amplification wavelength bands S1-S7, and a longitudinal mode controller 4 and a longitudinal mode actuator 5 controlling the semiconductor laser 61 so that the wavelength of the longitudinal mode laser light output from the semiconductor laser 61 is contained in the amplification wavelength bands S1-S7. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：为了提供激光装置和极紫外光源装置，其中即使在使用CO 2的放大器中也能够实现对放大器的主振荡器的处理是容易且有效的放大， SB>气体，用于实现作为放大介质的高输出。解决方案：极紫外光源装置包括输出一个或多个纵模激光的半导体激光器61，前置放大器PA和主放大器MA，其放大具有一个或多个放大中包含的波长的纵模激光控制半导体激光器61的纵向模式控制器4和纵模模式控制器4，使得从半导体激光器61输出的纵模激光的波长被包含在放大波长带S1-S7中。版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

64. 发明专利

JP2010021518A Slab type laser apparatus 有权
标题翻译： SLAB型激光装置
公开(公告)号：JP2010021518A
公开(公告)日：2010-01-28
申请号：JP2009029011
申请日：2009-02-10
申请人： Gigaphoton Inc , Komatsu Ltd , ギガフォトン株式会社 , 株式会社小松製作所
发明人： NOWAK KRZYSZTOF , SUGANUMA TAKASHI , WAKABAYASHI OSAMU , ENDO AKIRA
IPC分类号： H01S3/081 , H01L21/027 , H05G2/00
CPC分类号： H01S3/076 , G03F7/70025 , G03F7/70033 , H01S3/005 , H01S3/0971 , H01S3/115 , H01S3/2232 , H01S3/2316 , H01S3/2325 , H01S3/235 , H01S3/2375 , H01S5/141 , H01S5/4087
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser apparatus having higher efficiency and capable of reducing an installation area, with respect to a slab type carbon dioxide gas (CO 2 ) laser apparatus for radiating a pulse laser. SOLUTION: The slab type laser apparatus includes: an oscillator unit 10 composed of a pair of resonator mirrors 11, 12 opposed to each other through part of a slab type gas laser medium unit 30, and a coupling device and configured so as to amplify laser light oscillated in the inside up to predetermined light intensity, drive the coupling device and make the laser light incident on an amplifier unit 20; and the amplifier unit 20 including an incident mirror 21 for deflecting the incident laser light and configured such that the laser light is reflected a plurality of times between turning mirrors 22, 23 opposed to each other through part of the slab type gas laser medium unit 30 to amplify the laser light up to laser light with a predetermined output and output the amplified laser light. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：相对于用于辐射脉冲的板式二氧化碳（CO 2 ）激光装置，提供具有更高效率并且能够减小安装面积的激光装置激光。板式激光装置包括：振荡器单元10，其由通过一部分板状气体激光介质单元30彼此相对的一对谐振镜11,12组成;耦合装置，其构造为放大在内部振荡的预定光强度的激光，驱动耦合装置并使激光入射到放大器单元20上; 并且放大器单元20包括用于偏转入射激光的入射反射镜21，并且被配置为使得激光在通过部分板状气体激光介质单元30彼此相对的转向镜22,23之间多次反射以预定的输出将激光放大至激光，并输出放大的激光。版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

65. 发明专利

JP3990034B2 Optical amplifying device 失效
公开(公告)号：JP3990034B2
公开(公告)日：2007-10-10
申请号：JP17575598
申请日：1998-06-23
申请人：イムラアメリカインコーポレイテッド
发明人：ジェーハータードナルド , イーファーマンマーチン
IPC分类号： H01S3/10 , G02F1/37 , H01S3/06 , H01S3/067 , H01S3/08 , H01S3/094 , H01S3/23 , H04B10/02 , H04B10/18
CPC分类号： H01S3/067 , G02F1/37 , H01S3/06712 , H01S3/06729 , H01S3/06745 , H01S3/06754 , H01S3/08022 , H01S3/094003 , H01S3/235

66. 发明专利

JP2006135298A Driver laser for extreme ultraviolet light source apparatus and lpp-type extreme ultraviolet light source apparatus 有权
标题翻译：极光紫外线光源装置和LPP型极光超紫外光源装置的驱动激光
公开(公告)号：JP2006135298A
公开(公告)日：2006-05-25
申请号：JP2005230619
申请日：2005-08-09
申请人： Gigaphoton Inc , Komatsu Ltd , ギガフォトン株式会社 , 株式会社小松製作所
发明人： ENDO AKIRA , ARIGA TATSUYA , SUGANUMA TAKASHI , MIURA TAISUKE
IPC分类号： H01S3/10 , H01L21/027 , H01S3/227 , H05G2/00
CPC分类号： H01S3/2308 , B82Y10/00 , G03F7/70033 , H01S3/0057 , H01S3/08004 , H01S3/08009 , H01S3/1075 , H01S3/108 , H01S3/1083 , H01S3/1103 , H01S3/2232 , H01S3/23 , H01S3/235
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To realize a driver laser for EUV light source apparatus which simultaneously achieves pulse shortening and multiline oscillation. SOLUTION: A driver laser comprises a short-pulse multiline oscillation CO 2 laser oscillator having a means for shortening pulses of a laser beam to be output, and a means for suppressing oscillation of an oscillation spectrum exhibiting an energy peak value; and at least one amplifier which inputs the laser beam with shortened pulses that is output by the short-pulse multiline oscillation CO 2 laser oscillator, and amplifies and outputs the input laser beam. COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI
摘要翻译：要解决的问题：实现同时实现脉冲缩短和多线振荡的EUV光源装置的驱动激光器。解决方案：驱动器激光器包括具有用于缩短要输出的激光束的脉冲的装置的短脉冲多行振荡CO 2 激光振荡器，以及用于抑制振荡频谱的振荡的装置表现出能量峰值; 以及至少一个放大器，其输入具有由短脉冲多行振荡CO 2 激光振荡器输出的缩短脉冲的激光束，并放大并输出输入的激光束。版权所有（C）2006，JPO＆NCIPI

67. 发明专利

JP6434985B2 レーザ装置及び極端紫外光生成装置审中-公开
公开(公告)号：JP6434985B2
公开(公告)日：2018-12-05
申请号：JP2016556065
申请日：2014-10-27
申请人：ギガフォトン株式会社
发明人：野極誠二
IPC分类号： H01S5/062 , H01S5/022
CPC分类号： H05G2/008 , G03F7/70025 , G03F7/70033 , H01L21/027 , H01S3/2232 , H01S3/2316 , H01S3/235 , H01S3/2366 , H01S5/02415 , H01S5/042 , H01S5/0617 , H01S5/12 , H01S5/3402 , H01S5/4012 , H01S5/50 , H05G2/003

68. 发明专利

JP2018189970A 極端紫外光生成システム审中-公开
公开(公告)号：JP2018189970A
公开(公告)日：2018-11-29
申请号：JP2018124739
申请日：2018-06-29
申请人：ギガフォトン株式会社
发明人：柳田達哉 , 若林理
IPC分类号： H05G2/00 , G03F7/20
CPC分类号： H05G2/008 , H01S3/005 , H01S3/0602 , H01S3/08054 , H01S3/107 , H01S3/1115 , H01S3/1611 , H01S3/1643 , H01S3/1673 , H01S3/2232 , H01S3/2308 , H01S3/2316 , H01S3/235 , H05G2/006
摘要：【課題】極端紫外光生成システムを提供する。【解決手段】チャンバ2と、チャンバ内のプラズマ生成領域に向けてターゲットを出力するように構成されたターゲット生成部26と、ターゲットに、第1プリパルスレーザ光P1、第2プリパルスレーザ光P2及びメインパルスレーザ光Mがこの順で照射されるように、第1プリパルスレーザ光、第2プリパルスレーザ光及びメインパルスレーザ光を生成するレーザシステムと、第2プリパルスレーザ光のフルーエンスが、1J/cm 2 以上、且つ、メインパルスレーザ光のフルーエンス以下となるように、レーザシステムを制御する制御部50と、を含む。【選択図】図2

69. 发明专利

JPWO2016171195A1 レーザ装置、及び計測装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2016171195A1
公开(公告)日：2018-02-22
申请号：JP2017514174
申请日：2016-04-21
申请人：ギガフォトン株式会社
发明人：野極誠二 , 川筋康文
IPC分类号： H01S5/042 , G03F7/20 , H01S3/00 , H01S3/10 , H01S3/223 , H01S5/06 , H05G2/00
CPC分类号： H01S3/0941 , H01S3/10 , H01S3/10007 , H01S3/101 , H01S3/104 , H01S3/23 , H01S3/235 , H01S5/068 , H05G2/00 , H05G2/008
摘要：本開示によるレーザ装置は、供給電流に応じて、供給電流の電流立ち上がりタイミングから第1の遅延時間が経過した発振開始タイミングにおいてレーザ光を出力する量子カスケードレーザと、レーザ光の光路上に配置され、所定波長の光を選択的に増幅して、ターゲットが供給されるプラズマ生成領域を含むチャンバに向けて、増幅されたレーザ光を出力する増幅器と、第1の遅延時間及び供給電流の電流波形、並びに量子カスケードレーザの素子温度を含む複数の発振パラメータに基づいて、発振開始タイミングから第2の遅延時間が経過した目標タイミングでレーザ光の波長が所定波長と等しくなるように、レーザ光の出力を指示するレーザ出力指令の出力タイミングから電流立ち上がりタイミングまでの第3の遅延時間を制御するレーザコントローラとを備えてもよい。

70. 发明专利

JP6080476B2 パルス光発生装置有权
标题翻译：脉冲光发生器
公开(公告)号：JP6080476B2
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：JP2012226205
申请日：2012-10-11
申请人：浜松ホトニクス株式会社
发明人：大石真吾 , 藤本正俊 , 山岸彰伍 , 森口俊治
IPC分类号： H01S3/107
CPC分类号： H01S3/235 , H01S3/107 , H01S3/0064 , H01S3/10038

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