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1. 发明专利

JP2018116696A 冷却水温度制御装置审中-公开
公开(公告)号：JP2018116696A
公开(公告)日：2018-07-26
申请号：JP2017248994
申请日：2017-12-26
申请人：ギガフォトン株式会社
发明人：川筋康文 , 小森正純 , 若林理
IPC分类号： F25D17/02 , G05D23/00
摘要：【課題】温度調節対象部の温度を短時間で安定させる冷却水温度制御装置を得る。【解決手段】冷却水温度制御装置は、第1流入部、第2流入部および流出部を有し、各流入部から流入する冷却水の流量比率を調節して流出させる三方弁と、冷却水供給部の出口と前記第1流入部とを接続する第1送り用配管と、前記流出部と温度調節対象部の入口とを接続する第2送り用配管と、温度調節対象部の出口と冷却水供給部の入口とを接続する戻し用配管と、戻し用配管と前記第2流入部とを接続する戻し側バイパス用配管と、三方弁から温度調節対象部に冷却水を送るポンプと、第2送り用配管を流れる冷却水の温度を測定する温度センサと、第2送り用配管に設けられたヒータと、第1流入部から流入する冷却水供給量を最大にするよう三方弁を制御すると共にヒータをオンにする第1の制御、およびポンプを駆動しながら前記流量比率を調節する第2の制御を実施する制御部とを備える。【選択図】図3

2. 发明专利

JP6910948B2 レーザ装置、及び計測装置有权
公开(公告)号：JP6910948B2
公开(公告)日：2021-07-28
申请号：JP2017514174
申请日：2016-04-21
申请人：ギガフォトン株式会社
发明人：野極誠二 , 川筋康文
IPC分类号： H01S3/10 , H01S3/00 , H01S5/06 , H05G2/00 , G03F7/20 , H01S3/223 , H01S5/042

3. 发明专利

JP6381520B2 極端紫外光生成装置及びパルスレーザ光の集光ビーム計測装置审中-公开
公开(公告)号：JP6381520B2
公开(公告)日：2018-08-29
申请号：JP2015506552
申请日：2013-12-10
申请人：ギガフォトン株式会社
发明人：溝口計 , 川筋康文 , 若林理
IPC分类号： G03F7/20 , H05G2/00
CPC分类号： H05G2/008 , G03F7/70033 , G03F7/7085 , G21K1/067 , H05G2/003 , H05G2/005

4. 发明专利

JP6513088B2 EUV光生成システム及びEUV光生成システムの制御方法有权
公开(公告)号：JP6513088B2
公开(公告)日：2019-05-15
申请号：JP2016531331
申请日：2015-06-26
申请人：ギガフォトン株式会社
发明人：川筋康文 , 高岡直弥 , 横塚俊雄
IPC分类号： H01S3/23 , G03F7/20 , H01S3/134

5. 发明专利

JP6170928B2 スラブ型増幅器、それを含むレーザ装置および極短紫外光生成装置有权
公开(公告)号：JP6170928B2
公开(公告)日：2017-07-26
申请号：JP2014536741
申请日：2013-09-05
申请人：ギガフォトン株式会社
发明人：クリストフノバック , 菅沼崇 , 斎藤隆志 , 川筋康文
IPC分类号： H01S3/00 , H01S3/034 , H01S3/10
CPC分类号： H01S3/034 , H01S3/076 , H01S3/2232 , H01S3/2366 , H01S2301/02 , H01S3/03 , H01S3/0971 , H01S3/2316 , H01S3/2325 , H01S3/2375 , H05G2/008

6. 发明专利

JPWO2016171195A1 レーザ装置、及び計測装置审中-公开
公开(公告)号：JPWO2016171195A1
公开(公告)日：2018-02-22
申请号：JP2017514174
申请日：2016-04-21
申请人：ギガフォトン株式会社
发明人：野極誠二 , 川筋康文
IPC分类号： H01S5/042 , G03F7/20 , H01S3/00 , H01S3/10 , H01S3/223 , H01S5/06 , H05G2/00
CPC分类号： H01S3/0941 , H01S3/10 , H01S3/10007 , H01S3/101 , H01S3/104 , H01S3/23 , H01S3/235 , H01S5/068 , H05G2/00 , H05G2/008
摘要：本開示によるレーザ装置は、供給電流に応じて、供給電流の電流立ち上がりタイミングから第1の遅延時間が経過した発振開始タイミングにおいてレーザ光を出力する量子カスケードレーザと、レーザ光の光路上に配置され、所定波長の光を選択的に増幅して、ターゲットが供給されるプラズマ生成領域を含むチャンバに向けて、増幅されたレーザ光を出力する増幅器と、第1の遅延時間及び供給電流の電流波形、並びに量子カスケードレーザの素子温度を含む複数の発振パラメータに基づいて、発振開始タイミングから第2の遅延時間が経過した目標タイミングでレーザ光の波長が所定波長と等しくなるように、レーザ光の出力を指示するレーザ出力指令の出力タイミングから電流立ち上がりタイミングまでの第3の遅延時間を制御するレーザコントローラとを備えてもよい。

7. 发明专利

JP6283036B2 レーザ装置、及びレーザ装置にチャンバを増設する方法有权
公开(公告)号：JP6283036B2
公开(公告)日：2018-02-21
申请号：JP2015548955
申请日：2013-11-25
申请人：ギガフォトン株式会社
发明人：川筋康文
IPC分类号： H01S3/23 , H01S3/02 , H01S3/10
CPC分类号： H01S3/02 , H01S3/005 , H01S3/0071 , H01S3/2308 , H05G2/003 , H05G2/008

8. 发明专利

JP6270310B2 冷却水温度制御装置有权
公开(公告)号：JP6270310B2
公开(公告)日：2018-01-31
申请号：JP2012212763
申请日：2012-09-26
申请人：ギガフォトン株式会社
发明人：川筋康文 , 小森正純 , 若林理
IPC分类号： G05D23/00 , F25D17/02
CPC分类号： F28F27/02 , F28F27/00 , F28F2250/08 , G05D23/1917 , G21K1/062 , H05G2/008

9. 发明专利

JP6215334B2 レーザ装置及び極端紫外光生成システム有权
公开(公告)号：JP6215334B2
公开(公告)日：2017-10-18
申请号：JP2015538742
申请日：2013-09-27
申请人：ギガフォトン株式会社
发明人：黒澤義明 , 川筋康文
IPC分类号： H01S3/02 , H01S3/00 , H01L21/027 , H05G2/00 , G03F7/20 , H01S3/23
CPC分类号： H01S3/2316 , G03F7/70041 , H01S3/107 , H01S3/2232 , H05G2/003 , H05G2/005 , H05G2/008 , H01S2301/02 , H01S3/005 , H01S3/034 , H01S3/10061

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